一种单晶炉用主炉室腔体制造技术

本技术的一种单晶炉用主炉室腔体，涉及单晶炉主炉室结构领域，包括主炉室本体，主炉室本体顶端安装有阀盖，且主炉室本体的内部中上方转动安装有石墨坩埚本体，石墨坩埚本体的底端中部位置连接有传动连轴、传动连轴与固定在底座上的电机传动连接，所述石墨坩埚本体的内部下方轴心位置固定安装着内桶，内桶的下部由筛网构成，石墨坩埚本体内壁固定着螺旋上料叶片。本技术的一种单晶炉用主炉室腔体，在主炉室腔体内壁固定着螺旋叶片，加大料液搅拌流动幅度，提升料液受热均匀使用时间，同时螺旋叶片随着炉体的转动能够将料液向上提升至螺旋叶片顶部时通过挡板截断使得料液进入到内桶中再由底部的筛网流出，筛网对料液进行过滤，提升效率。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及单晶炉主炉室结构领域，具体为一种单晶炉用主炉室腔体。

技术介绍

1、单晶炉是一种在惰性气体氮气、氦气为主环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备，多晶体硅料经加热熔化,待温度合适后。经过骸籽晶浸入，熔接，引晶，放肩，转肩等，经收尾等步骤，完成一根单晶锭的拉制，主炉室能够对多晶材料的热处理提供对应的加工场所。目前市面上的主炉室在配合单晶炉实现对应的热处理加工操作时，主炉室腔体内壁较为光滑，料液混合速度较慢导致受热不均耗时较长，也无法对加热中的料液进行过滤处理。

技术实现思路

1、本技术旨在针对
技术介绍
中存在的不足，而提供一种单晶炉用主炉室腔体，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。

2、本技术的一种单晶炉用主炉室腔体，包括主炉室本体，其所述主炉室本体的顶端位置密封安装有阀盖，且主炉室本体的内部中上方转动安装有石墨坩埚本体，所述石墨坩埚本体的底端中部位置连接有传动连轴、传动连轴与固定在底座上的电机传动连接，所述石墨坩埚本体的内部下方轴心位置固定安装着内桶，内桶的下部本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种单晶炉用主炉室腔体，包括主炉室本体（1），其特征在于所述主炉室本体（1）的顶端位置密封安装有阀盖（2），且主炉室本体（1）的内部中上方转动安装有石墨坩埚本体（3），所述石墨坩埚本体（3）的底端中部位置连接有传动连轴（4）、传动连轴（4）与固定在底座（5）上的电机（6）传动连接，所述石墨坩埚本体（3）的内部下方轴心位置固定安装着内桶（7），内桶（7）的下部由筛网（8）构成，所述石墨坩埚本体（3）内壁固定着螺旋上料叶片（9），石墨坩埚本体（3）的外围均布着加热器（10）固定在主炉室本体（1）的内壁上，阀盖（2）的顶端中部位置连接有转接管口（15）。

2.如权利要求1所述的...

【技术特征摘要】

1.一种单晶炉用主炉室腔体，包括主炉室本体（1），其特征在于所述主炉室本体（1）的顶端位置密封安装有阀盖（2），且主炉室本体（1）的内部中上方转动安装有石墨坩埚本体（3），所述石墨坩埚本体（3）的底端中部位置连接有传动连轴（4）、传动连轴（4）与固定在底座（5）上的电机（6）传动连接，所述石墨坩埚本体（3）的内部下方轴心位置固定安装着内桶（7），内桶（7）的下部由筛网（8）构成，所述石墨坩埚本体（3）内壁固定着螺旋上料叶片（9），石墨坩埚本体（3）的外围均布着加热器（10）固定在主炉室本体（1...

【专利技术属性】
技术研发人员：姜旭阳，
申请(专利权)人：浙江奔博精密机械有限公司，
类型：新型
国别省市：