下载一种封闭式液相外延炉旋转搅拌下片装置及方法的技术资料

文档序号:41118200

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本发明提供了一种封闭式液相外延炉旋转搅拌下片装置及方法,该装置包括搅拌筒、穿装在搅拌筒上的夹具以及安设于炉膛口的双层盖板,所述夹具的卡爪置于搅拌筒内,其高度小于搅拌筒的高度,所述夹具的上端穿出搅拌筒外向上延伸并与连接杆相连,所述夹具与搅拌筒...
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