【技术实现步骤摘要】
本技术涉及校准装配,具体涉及一种调节机构及校准装置。
技术介绍
1、采用测量显微镜等检测件校准工件(特别是芯片等小件)的位置时,一般先将工件放置在检测件的检测平台上,然后利用检测件获取工件的图像以判断工件的位置是否准确,若工件放置的位置存在偏差,则人工重新摆放工件,直至工件的位置放置准确。然而,人工重复摆放工件的劳动强度大,导致工件的调节效率低,且人工作业的精度低。
技术实现思路
1、鉴于以上内容,有必要提供一种调节机构及校准装置,以提高调节效率和调节精度。
2、本技术实施例提供一种调节机构,应用于检测机构,所述检测机构包括检测平台以及相对所述检测平台设置的检测件,所述调节机构包括:
3、底座,与所述检测平台连接;
4、转动件,设于所述底座上并与所述底座转动连接;
5、承载件,设于所述检测平台上并用于承载工件,且所述承载件的一端用于与所述转动件相抵持;
6、调节件,活动连接所述底座并用于抵推所述转动件;
7、弹性件,设于所述底座,且所述弹性件的两端分别抵持所述底座及所述转动件;其中,
8、所述调节件转动时可抵推所述转动件转动,以使所述转动件抵推所述承载件相对所述检测平台移动并压缩所述弹性件,从而调节位于所述承载件上的工件相对所述检测件的位置。
9、采用上述调节机构配合检测机构作业时,调节件在转动过程中抵推转动件,以使得转动件推动承载件相对检测件移动,从而实现对位于承载件上工件相对检测件的
10、在一些实施例中,所述底座包括:
11、固定件,与所述检测平台连接;
12、联动件,所述联动件的一端连接所述固定件背离所述检测平台的一侧,所述联动件的另一端并活动插设于所述转动件。
13、在一些实施例中,所述固定件包括:
14、固定体,与所述检测平台及所述联动件连接;
15、两个安装体,均连接所述固定体,并位于所述联动件的两侧,其中一个所述安装体与所述调节件活动连接,另一个所述安装体抵持于所述弹性件。
16、在一些实施例中,两个所述安装体以所述联动件为中心呈对称设置。
17、在一些实施例中,所述固定体上开设有收容槽,所述收容槽与远离所述调节件的所述安装体相对设置,以用于收容部分所述弹性件。
18、在一些实施例中,所述转动件包括:
19、转动体,设于所述底座上并与所述底座转动连接;
20、两个推动体,连接于所述转动体的两端,其中一个所述推动体用于抵持所述调节件,另一个所述推动体用于抵持所述弹性件。
21、在一些实施例中,所述转动件还包括:
22、导向体,与抵持于所述弹性件的所述推动体连接,用于插设于所述弹性件。
23、在一些实施例中,所述转动体开设有减重槽,所述减重槽设于两个所述推动体之间。
24、在一些实施例中,所述转动体的宽度小于所述底座的宽度,以使所述转动体与所述底座形成台阶结构。所述承载件包括承载体、连接体及抵持体,所述承载体用于活动设于所述检测平台,所述连接体的两端分别连接所述承载体及所述抵持体,所述抵持体用于活动设于所述底座并与所述转动体相对应。
25、本技术实施例还提供一种校准装置,包括:
26、上述实施例所述的调节机构;
27、检测机构,包括检测平台、支架以及检测件,所述检测平台与所述底座连接,所述支架的一端连接所述检测平台,所述检测件连接所述支架的另一端,并与所述检测平台间隔设置,所述承载件设于所述检测平台和所述检测件之间,并用于承载工件。
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1.一种调节机构,应用于检测机构,所述检测机构包括检测平台以及相对所述检测平台设置的检测件,其特征在于,所述调节机构包括:
2.如权利要求1所述的调节机构,其特征在于,所述底座包括:
3.如权利要求2所述的调节机构,其特征在于,所述固定件包括:
4.如权利要求3所述的调节机构,其特征在于,
5.如权利要求3所述的调节机构,其特征在于,
6.如权利要求1所述的调节机构,其特征在于,所述转动件包括:
7.如权利要求6所述的调节机构,其特征在于,所述转动件还包括:
8.如权利要求6所述的调节机构,其特征在于,
9.如权利要求6所述的调节机构,其特征在于,
10.一种校准装置,其特征在于,包括:
【技术特征摘要】
1.一种调节机构,应用于检测机构,所述检测机构包括检测平台以及相对所述检测平台设置的检测件,其特征在于,所述调节机构包括:
2.如权利要求1所述的调节机构,其特征在于,所述底座包括:
3.如权利要求2所述的调节机构,其特征在于,所述固定件包括:
4.如权利要求3所述的调节机构,其特征在于,
5.如权利要...
【专利技术属性】
技术研发人员:周海,喻双柏,孙炎权,
申请(专利权)人:基本半导体无锡有限公司,
类型:新型
国别省市:
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