【技术实现步骤摘要】
本申请属于等离子体清洗，涉及一种具有弹性连接门板的等离子体清洗腔。
技术介绍
1、等离子体是由部分电子被剥夺后的原子及原子团被电离后产生的正负离子组成的离子化气体状物质，常被视为是除去固、液、气外，物质存在的第四态。
2、等离子体广泛应用于清洗，清洗过程是，在真空的腔体内压力到达一定范同时充入氧、氩、氢等工艺气体，利用高电压将工艺气体电离，生成等离子体，活性等离子体对被清洗物进行物理轰击与化学活化，使被清洗物表面物质变成粒子和气态物质，经过抽真空排出，从而达到清洗目的。
3、现有技术中的等离子体清洗设备的清洗腔，门板大多是直接采用铰接方式进行连接，在门板闭合时由于铰接的一端与腔体的位置是固定，门板容易因密封件原因出现过紧或过松的问题，过紧会使门不容易扣合，过松会导致密封不严产生泄漏。
技术实现思路
1、为克服相关技术中存在的问题，本申请旨在提供一种具有弹性连接门板的等离子体清洗腔，门板采用弹性连接在腔体上进行转动打开或闭合，保证了门板与腔体闭合的密封性。
2、本申请是通过如下的技术方案来实现的。
3、本申请的技术方案是提供一种具有弹性连接门板的等离子体清洗腔，包括腔体和门板，门板与腔体可闭合形成封闭的用于容置被清洗物的内腔；
4、门板的侧边设有两个相对应的铰接座，两个铰接座之间枢接有铰接耳板，铰接耳板上设有第一通孔；腔体上设有固定板，固定板内部设有与第一通孔同轴的第二通孔，第二通孔内设有弹簧，在第二通孔与第一通孔之间通过螺
5、本技术方案的技术效果，门板采用铰接方式与弹性连接在腔体上进行转动打开或闭合，实现了门板与腔体的弹性连接，保证了门板与腔体闭合的密封性。
6、上述技术方案的实施方式中，铰接耳板的第一通孔内远离固定板一侧的内壁形成有第一阻挡面，螺杆的头部被阻挡于第一阻挡面上；第二通孔内远离铰接耳板一侧的内壁形成有第二阻挡面，弹簧的两端抵触于第二阻挡面与螺杆的螺母之间。
7、上述技术方案的实施方式中，固定板的第二通孔的内壁还形成有第三阻挡面，第三阻挡面用于阻挡限制螺杆的螺母向铰接耳板一侧运动。
8、上述技术方案的实施方式中，固定板的第二通孔包括供螺杆穿过的第一段、容纳弹簧的第二段和容纳螺杆的螺母的第三段，第二阻挡面位于第一段和第二段的交界处，第三阻挡面第二段和第三段的交界处，其中第三段的截面呈现与螺母的形状相配合的正多边形，以防止螺母产生转动。
9、上述技术方案的实施方式中，固定板的第二通孔在远离铰接耳板一侧的出口安装有盖板，盖板用于阻挡限制螺杆的螺母离开第二通孔。
10、上述技术方案的实施方式中，门板的内侧面设有密封件，在门板的中部设有透明的观察视窗，通过观察视窗可观察内腔的情况。
11、应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本申请。
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1.一种具有弹性连接门板的等离子体清洗腔，其特征在于，包括腔体和门板，门板与腔体可闭合形成封闭的用于容置被清洗物的内腔；
2.根据权利要求1所述的具有弹性连接门板的等离子体清洗腔，其特征在于，铰接耳板的第一通孔内远离固定板一侧的内壁形成有第一阻挡面，螺杆的头部被阻挡于第一阻挡面上；第二通孔内远离铰接耳板一侧的内壁形成有第二阻挡面，弹簧的两端抵触于第二阻挡面与螺杆的螺母之间。
3.根据权利要求2所述的具有弹性连接门板的等离子体清洗腔，其特征在于，固定板的第二通孔的内壁还形成有第三阻挡面，第三阻挡面用于阻挡限制螺杆的螺母向铰接耳板一侧运动。
4.根据权利要求3所述的具有弹性连接门板的等离子体清洗腔，其特征在于，固定板的第二通孔包括供螺杆穿过的第一段、容纳弹簧的第二段和容纳螺杆的螺母的第三段，第二阻挡面位于第一段和第二段的交界处，第三阻挡面第二段和第三段的交界处，其中第三段的截面呈现与螺母的形状相配合的正多边形，以防止螺母产生转动。
5.根据权利要求2所述的具有弹性连接门板的等离子体清洗腔，其特征在于，固定板的第二通孔在远离铰接耳板一侧的
6.根据权利要求1所述的具有弹性连接门板的等离子体清洗腔，其特征在于，门板的内侧面设有密封件，在门板的中部设有透明的观察视窗，通过观察视窗可观察内腔的情况。
...【技术特征摘要】
1.一种具有弹性连接门板的等离子体清洗腔，其特征在于，包括腔体和门板，门板与腔体可闭合形成封闭的用于容置被清洗物的内腔；
2.根据权利要求1所述的具有弹性连接门板的等离子体清洗腔，其特征在于，铰接耳板的第一通孔内远离固定板一侧的内壁形成有第一阻挡面，螺杆的头部被阻挡于第一阻挡面上；第二通孔内远离铰接耳板一侧的内壁形成有第二阻挡面，弹簧的两端抵触于第二阻挡面与螺杆的螺母之间。
3.根据权利要求2所述的具有弹性连接门板的等离子体清洗腔，其特征在于，固定板的第二通孔的内壁还形成有第三阻挡面，第三阻挡面用于阻挡限制螺杆的螺母向铰接耳板一侧运动。
4.根据权利要求3所述的具有弹...
【专利技术属性】
技术研发人员：张波，
申请(专利权)人：深圳市嘉铭半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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