【技术实现步骤摘要】
本申请属于等离子体处理相关，涉及一种用于等离子体处理设备的夹具。
技术介绍
1、相关技术中，等离子体是由部分电子被剥夺后的原子及原子团被电离后产生的正负离子组成的离子化气体状物质，常被视为是除去固、液、气外，物质存在的第四态。
2、等离子体表面处理常见包括等离子体清洗、等离子体活化和等离子体聚合等类型，现有技术中，在对片状产品进等离子体清洗处理时，需要对产品进行移动运送，大多数用于运送片状产品的夹具功能单一，无法满足多功能要求。
技术实现思路
1、为克服相关技术中存在的问题，本申请旨在提供一种用于等离子体处理设备的夹具，其结构相对简单，能够对片状产品进行夹取、推送及抽拉等功能，以实现对片状产品的运送。
2、本申请是通过如下的技术方案来实现的。
3、本技术方案是提供一种用于等离子体处理设备的夹具，包括第一夹持件、第二夹持件和驱动件，所述驱动件用于驱使所述第一夹持件和所述第二夹持件沿第一方向进行打开或夹紧；
4、所述第一夹持件设有第一夹板部和第一连杆部，所述第一夹持件在所述第一夹板部与所述第一连杆部的交界处还设有平行于第一方向的第一侧挡面；所述第二夹持件设有第二夹板部和第二连杆部，所述第二夹持件在所述第二夹板部与所述第二连杆部的交界处还设有平行于第一方向的第二侧挡面；
5、所述第一夹板部与所述第二夹板部相对平行设置，所述第一连杆部与所述第二连杆部相互错开设置，及所述第一侧挡面与所述第二侧挡面同平面设置。
6、本技术
7、作为该技术方案的一个实施方式，所述第一连杆部在靠近所述第一夹板部的一侧设有第一凸起部，所述第一凸起部向第一方向凸起延伸，并且以扩增所述第一侧挡面。
8、作为该技术方案的一个实施方式，所述第二连杆部在靠近所述第二夹板部的一侧设有第二凸起部，所述第二凸起部向第一方向凸起延伸，并且以扩增所述第二侧挡面。
9、作为该技术方案的一个实施方式所述第一夹持件还设有第一导杆部，所述第一导杆部上设有沿第一方向延伸的凹槽；所述第二夹持件还设有第二导杆部，所述第二导杆部设置于所述凹槽内进行滑动。
10、作为该技术方案的一个实施方式，所述第一夹持件包括两个相对称的第一夹臂，两个所述第一夹臂为一体结构，所述第一夹臂上依次连续设有所述第一导杆部、所述第一连杆部和所述第一夹板部；
11、所述第二夹持件包括两个相对称的第二夹臂，两个所述第二夹臂为一体结构，所述第二夹臂上依次连续设有所述第二导杆部、所述第二连杆部和所述第二夹板部。
12、作为该技术方案的一个实施方式，所述驱动件为手指气缸，所述第一夹持件和所述二夹持件分别与所述手指气缸的两个手指相连接。
13、应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本申请。
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1.一种用于等离子体处理设备的夹具，其特征在于，包括第一夹持件、第二夹持件和驱动件，所述驱动件用于驱使所述第一夹持件和所述第二夹持件沿第一方向进行打开或夹紧；
2.根据权利要求1所述的用于等离子体处理设备的夹具，其特征在于，所述第一连杆部在靠近所述第一夹板部的一侧设有第一凸起部，所述第一凸起部向第一方向凸起延伸，并且以扩增所述第一侧挡面。
3.根据权利要求2所述的用于等离子体处理设备的夹具，其特征在于，所述第二连杆部在靠近所述第二夹板部的一侧设有第二凸起部，所述第二凸起部向第一方向凸起延伸，并且以扩增所述第二侧挡面。
4.根据权利要求3所述的用于等离子体处理设备的夹具，其特征在于，所述第一夹持件还设有第一导杆部，所述第一导杆部上设有沿第一方向延伸的凹槽；所述第二夹持件还设有第二导杆部，所述第二导杆部设置于所述凹槽内进行滑动。
5.根据权利要求4所述的用于等离子体处理设备的夹具，其特征在于，所述第一夹持件包括两个相对称的第一夹臂，两个所述第一夹臂为一体结构，所述第一夹臂上依次连续设有所述第一导杆部、所述第一连杆部和所述第一夹板部；p>
6.根据权利要求1所述的用于等离子体处理设备的夹具，其特征在于，所述驱动件为手指气缸，所述第一夹持件和所述二夹持件分别与所述手指气缸的两个手指相连接。
...【技术特征摘要】
1.一种用于等离子体处理设备的夹具，其特征在于，包括第一夹持件、第二夹持件和驱动件，所述驱动件用于驱使所述第一夹持件和所述第二夹持件沿第一方向进行打开或夹紧；
2.根据权利要求1所述的用于等离子体处理设备的夹具，其特征在于，所述第一连杆部在靠近所述第一夹板部的一侧设有第一凸起部，所述第一凸起部向第一方向凸起延伸，并且以扩增所述第一侧挡面。
3.根据权利要求2所述的用于等离子体处理设备的夹具，其特征在于，所述第二连杆部在靠近所述第二夹板部的一侧设有第二凸起部，所述第二凸起部向第一方向凸起延伸，并且以扩增所述第二侧挡面。
4.根据权利要求3...
【专利技术属性】
技术研发人员：张波，
申请(专利权)人：深圳市嘉铭半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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