一种等离子体清洗设备制造技术

本申请涉及一种等离子体清洗设备，包括：真空清洗装置，包括密闭腔体和设于密闭腔体内部的第一轨道组，第一轨道组上设有用于承载片状产品的第一料槽，真空清洗装置用于对第一轨道组上的片状产品进行等离子体清洗；轨道运送装置，包括可活动的第二轨道组和设有第二轨道组上方的夹具，第二轨道组设有用于承载片状产品的第二料槽，第二轨道组在运动后可使第二料槽与第一轨道组的第一料槽相对接，夹具可沿第二轨道组的输送方向运动，夹具用于推动第二料槽内的片状产品移动进入第一料槽中或用于夹取第一料槽中的片状产品抽拉移动进入第二料槽；料盒装置，包括有用于存储片状产品的料盒。包括有用于存储片状产品的料盒。包括有用于存储片状产品的料盒。

【技术实现步骤摘要】
一种等离子体清洗设备


[0001]本申请属于等离子处理设备
，涉及一种用于等离清洗设备。

技术介绍

[0002]相关技术中，等离子体是由部分电子被剥夺后的原子及原子团被电离后产生的正负离子组成的离子化气体状物质，常被视为是除去固、液、气外，物质存在的第四态。
[0003]等离子体表面处理常见包括等离子体清洗、等离子体活化和等离子体聚合等类型，现有技术中等离子体清洗设备大多是采用人工操作进行上下料，无法做到自动上料、自动清洗及自动下料的效果。

技术实现思路

[0004]为克服相关技术中存在的问题，本申请旨在提供一种等离子体清洗设备，能够实现对于片状产品的自动上料、自动清洗及自动下料。
[0005]本申请是通过如下的技术方案来实现的。
[0006]本技术方案是提供一种等离子体清洗设备，包括：
[0007]真空清洗装置，包括密闭腔体和设于密闭腔体内部的第一轨道组，第一轨道组上设有用于承载片状产品的第一料槽，真空清洗装置用于对第一轨道组上的片状产品进行等离子体清洗；
[0008]轨道运送装置，包括可活动的第二轨道组和设有第二轨道组上方的夹具，第二轨道组设有用于承载片状产品的第二料槽，第二轨道组在运动后可使第二料槽与第一轨道组的第一料槽相对接，夹具可沿第二轨道组的输送方向运动，夹具用于推动第二料槽内的片状产品移动进入第一料槽中或用于夹取第一料槽中的片状产品抽拉移动进入第二料槽；
[0009]料盒装置，包括有用于存储片状产品的料盒；
[0010]其中，夹具还用于推动第二料槽内的片状产品移动进入料盒中或用于夹取料盒的片状产品抽拉移动进入第二料槽。
[0011]本技术方案的技术效果是，真空清洗装置内通过第一轨道组来承载片状产品，输送运装置通过第二轨道组进行片状产品的运送，使得第一轨道组与第二轨道组以相对接，利用夹具来实现对于片状产品的自动上料、自动清洗及自动下料；采用第一料槽和第二料槽进行承载和运送片状产品，相比于传统的吸取方式，结构更加简单，可以适用于表面不平整不能吸取的产品。
[0012]在该技术方案的一个具体实施方式中，第二轨道组包括相互平行的第二固定轨道和第二调节轨道，第二调节轨道和第二固定轨道的相对侧均设有相对应的第二料槽，第二调节轨道上的第二料槽和对应的第二固定轨道上的第二料槽共同承载片状产品。
[0013]在该技术方案的一个具体实施方式中，第二固定轨道设有上下排布的两条第二料槽，第二调节轨道上设有上下排布的两条第二料槽，四个第二料槽构成上下两层结构，以分别用于片状产品的进料与出料。
[0014]在该技术方案的一个具体实施方式中，轨道运送装置还包括轨道升降组件和轨道移动组件，第二轨道组安装在轨道移动组件上，轨道移动组件安装在轨道升降组件上，轨道升降组件设有机架上；
[0015]轨道移动组件用于驱使第二轨道组进行水平移动，轨道升降组件用于驱使轨道移动组件及第二轨道组进行升降运动。
[0016]在该技术方案的一个具体实施方式中，轨道运送装置还包括夹具运动组件，夹具运动组件安装在轨道升降组件上与第二轨道组同步进行升降运动，夹具安装于夹具运动组件上；夹具运动组件用于驱使夹具进行水平移动及进行升降运动。
[0017]在该技术方案的一个具体实施方式中，夹具包括第一夹持件、第二夹持件和第一驱动件，第一驱动件用于驱使第一夹持件和第二夹持件沿第一方向进行打开或夹紧；
[0018]第一夹持件设有第一夹板部和第一连杆部，第一夹持件在第一夹板部与第一连杆部的交界处还设有平行于第一方向的第一侧挡面；第二夹持件设有第二夹板部和第二连杆部，第二夹持件在第二夹板部与第二连杆部的交界处还设有平行于第一方向的第二侧挡面；
[0019]第一夹板部与第二夹板部相对平行设置，第一连接杆部与第二连杆部相互错开设置，及第一侧挡面与第二侧挡面同平面设置。
[0020]在该技术方案的一个具体实施方式中，第一夹持件还设有第一导杆部，第一导杆部上设有沿第一方向延伸的凹槽；第二夹持件还设有第二导杆部，第二导杆部设置于凹槽内进行滑动；
[0021]第一夹持件包括两个相对称的第一夹臂，两个第一夹臂为一体结构，第一夹臂上依次连续设有第一导杆部、第一连杆部和第一夹板部；
[0022]第二夹持件包括两个相对称的第二夹臂，两个第二夹臂为一体结构，第二夹臂上依次连续设有第二导杆部、第二连杆部和第二夹板部。
[0023]在该技术方案的一个具体实施方式中，料盒装置还包括料盒固定板和料盒运动组件，料盒可拆卸地设置于料盒固定板上，料盒固定板设于料盒运动组件上；
[0024]料盒的数量为多个，料盒运动组件用于驱使多个料盒进行水平移动，以切换不同料盒与第二轨道组相对接，分别实现上料与收料。
[0025]在该技术方案的一个具体实施方式中，真空清洗装置包括设于密闭腔体内部的电极板和整流板，电极板设于第一轨道组的下方且与等离子体发生器的正极电连接，整流板设于第一轨道组的上方且与等离子体发生器的负极电连接；
[0026]密闭腔体上设有真空接头和进气接头，真空接头用于连接抽气装置，进气接头用于接入等离子体清洗用的气体。
[0027]在该技术方案的一个具体实施方式中，密闭腔体包括相互扣合的下壳体和上壳体，第一轨道组设于下壳体上，下壳体固定在机架上；
[0028]真空清洗装置还包括开合组件，上壳体安装在壳体开合组件上，开合组件用于驱动上壳体进行升降运动，以实现与下壳体的打开或闭合。
[0029]应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本申请。
附图说明
[0030]通过结合附图对本申请示例性实施方式进行更详细的描述，本申请的上述以及其它目的、特征和优势将变得更加明显，其中，在本申请示例性实施方式中，相同的参考标号通常代表相同部件。
[0031]图1是本申请一实施例中示出的等离子体清洗设备的结构示意图。
[0032]图2是本申请一实施例中示出的等离子体清洗设备的侧面结构示意图。
[0033]图3是本申请一实施例中示出的真空清洗装置的结构示意图。
[0034]图4是本申请一实施例中示出的真空清洗装置的爆炸结构示意图。
[0035]图5是本申请一实施例中示出的第一轨道组的安装结构示意图。
[0036]图6是本申请一实施例中示出的轨道运送装置的结构示意图。
[0037]图7是本申请一实施例中示出的轨道运送装置的正面结构示意图。
[0038]图8是本申请一实施例中示出的夹具的结构示意图。
[0039]图9是图1示出的夹具的局部结构放大示意图。
[0040]图10是本申请一实施例中示出的夹具的正视结构示意图。
[0041]图11是本申请一实施例中示出的夹具的爆炸结构示意图。
[0042]附图标记说明：
[0043]1‑
夹具；11
‑
第一夹持件；111<本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种等离子体清洗设备，其特征在于，包括：真空清洗装置，包括密闭腔体和设于密闭腔体内部的第一轨道组，第一轨道组上设有用于承载片状产品的第一料槽，真空清洗装置用于对第一轨道组上的片状产品进行等离子体清洗；轨道运送装置，包括可活动的第二轨道组和设有第二轨道组上方的夹具，第二轨道组设有用于承载片状产品的第二料槽，第二轨道组在运动后可使第二料槽与第一轨道组的第一料槽相对接，夹具可沿第二轨道组的输送方向运动，夹具用于推动第二料槽内的片状产品移动进入第一料槽中或用于夹取第一料槽中的片状产品抽拉移动进入第二料槽；料盒装置，包括有用于存储片状产品的料盒；其中，夹具还用于推动第二料槽内的片状产品移动进入料盒中或用于夹取料盒的片状产品抽拉移动进入第二料槽。2.根据权利要求1所述的等离子体清洗设备，其特征在于，第二轨道组包括相互平行的第二固定轨道和第二调节轨道，第二调节轨道和第二固定轨道的相对侧均设有相对应的第二料槽，第二调节轨道上的第二料槽和对应的第二固定轨道上的第二料槽共同承载片状产品。3.根据权利要求2所述的等离子体清洗设备，其特征在于，第二固定轨道设有上下排布的两条第二料槽，第二调节轨道上设有上下排布的两条第二料槽，四个第二料槽构成上下两层结构，以分别用于片状产品的进料与出料。4.根据权利要求1所述的等离子体清洗设备，其特征在于，轨道运送装置还包括轨道升降组件和轨道移动组件，第二轨道组安装在轨道移动组件上，轨道移动组件安装在轨道升降组件上，轨道升降组件设有机架上；轨道移动组件用于驱使第二轨道组进行水平移动，轨道升降组件用于驱使轨道移动组件及第二轨道组进行升降运动。5.根据权利要求4所述的等离子体清洗设备，其特征在于，轨道运送装置还包括夹具运动组件，夹具运动组件安装在轨道升降组件上与第二轨道组同步进行升降运动，夹具安装于夹具运动组件上；夹具运动组件用于驱使夹具进行水平移动及进行升降运动。6.根据权利要求1所述的等离子体清洗设备，其特征在于，夹具包括第一夹持件、第二夹持件和第一驱动件，第...

【专利技术属性】
技术研发人员：张波，
申请(专利权)人：深圳市嘉铭半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：