【技术实现步骤摘要】
本申请属于等离子体清洗，涉及一种具有快拆电极板的等离子体清洗腔。
技术介绍
1、等离子体是由部分电子被剥夺后的原子及原子团被电离后产生的正负离子组成的离子化气体状物质，常被视为是除去固、液、气外，物质存在的第四态。
2、等离子体广泛应用于清洗，清洗过程是，在真空的腔体内压力到达一定范同时充入氧、氩、氢等工艺气体，利用高电压将工艺气体电离，生成等离子体，活性等离子体对被清洗物进行物理轰击与化学活化，使被清洗物表面物质变成粒子和气态物质，经过抽真空排出，从而达到清洗目的。
3、现有技术中用于等离子体清洗的腔体，用于放电的电极板通常是固定不可调节的，电极板之间的空间无法有效利用，不能适应不同尺寸被清洗物的要求，势必会影响等离子体清洗的作业效率。
技术实现思路
1、为克服相关技术中存在的问题，本申请旨在提供一种具有快拆电极板的等离子体清洗腔，能够使电极板可速拆卸与安装，并且调整电极板的位置，以提高空间的利用，适应不同尺寸被清洗物的要求。
2、本申请是通过如下的技术方案来实现的。
3、本申请的技术方案是一种具有快拆电极板的等离子体清洗腔，包括腔体和门板，门板枢接于腔体上，门板与腔体可闭合形成封闭的用于容置被清洗物的内腔；
4、腔体内部设有第一电极板、第二电极板、托板和第一电极连接板，托板竖直设于腔体的内腔两侧壁上，两个托板的相对侧均设有相互对应的水平方向的多个凹槽，第一电极板和第二电极板均活动的放置于托板的凹槽内，并且第一电极板与托
5、第一电极连接板设于腔体的内腔后侧，第一电极连接板上设有第一插接孔，第一电极连接板在背离第一电极板的一侧设有第一接触块和第一弹性压片，第一电极板上设有第一插板，第一插板穿过第一插接孔放置于第一接触块上，第一弹性压片抵触于第一插板上以将第一插板压紧于第一接触块上，第一电极板与第一电极连接板电性连接。
6、本技术方案的技术效果是，通过第一电极板和第二电极板均活动的放置于托板的凹槽，使第一电极板和第二电极板可拆卸调整，根据被清洗物来调节放置第一电极板和第二电极板，有效利用内腔的空间；第一电极板作为正电压一端，通过第一电极连接板的结构，保证了第一电极连接板和第一电极板的电性连接。
7、在该技术方案的实施方式，第一电极板形成有第一连接部，第一插板连接在第一连接部的表面，第一连接部的端部抵顶于第一电极连接板上，以限定第一电极板的位置。
8、在该技术方案的实施方式，第一电极连接板背离第一电极板的一侧通过绝缘的支撑脚安装在腔体的内腔后侧壁上，腔体的外壁设有电极接头，电极接头与第一电极连接板电性连接。
9、在该技术方案的实施方式，腔体内部还设有第二电极连接板，第二电极连接板设于腔体的内腔后侧；
10、第二电极连接板上设有第二插接孔，第二电极连接板在背离第二电极板的一侧设有第二接触块和第二弹性压片，第二电极板上设有第二插板，第二插板穿过第二插接孔放置于第二接触块上，第二弹性压片抵触于第二插板上以将第二插板压紧于第二接触块上，第二电极板与第二电极连接板电性连接。
11、在该技术方案的实施方式，第一电极板的侧边均设有滚轮，托板在位于每个凹槽的下方设有支撑轮，第一电极板的滚轮配合于凹槽内，托板的支撑轮用于承载第一电极板的侧边。
12、在该技术方案的实施方式，第二电极板的侧边均设有滚轮，托板在位于每个凹槽的下方设有支撑轮，第二电极板的滚轮配合于凹槽内，托板的支撑轮用于承载第二电极板的侧边。
13、应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本申请。
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1.一种具有快拆电极板的等离子体清洗腔，其特征在于，包括腔体和门板，门板枢接于腔体上，门板与腔体可闭合形成封闭的用于容置被清洗物的内腔；
2.根据权利要求1所述的具有快拆电极板的等离子体清洗腔，其特征在于，第一电极板形成有第一连接部，第一插板连接在第一连接部的表面，第一连接部的端部抵顶于第一电极连接板上，以限定第一电极板的位置。
3.根据权利要求2所述的具有快拆电极板的等离子体清洗腔，其特征在于，第一电极连接板背离第一电极板的一侧通过绝缘的支撑脚安装在腔体的内腔后侧壁上，腔体的外壁设有电极接头，电极接头与第一电极连接板电性连接。
4.根据权利要求1所述的具有快拆电极板的等离子体清洗腔，其特征在于，腔体内部还设有第二电极连接板，第二电极连接板设于腔体的内腔后侧；
5.根据权利要求1所述的具有快拆电极板的等离子体清洗腔，其特征在于，第一电极板的侧边均设有滚轮，托板在位于每个凹槽的下方设有支撑轮，第一电极板的滚轮配合于凹槽内，托板的支撑轮用于承载第一电极板的侧边。
6.根据权利要求5所述的具有快拆电极板的等离子体清洗腔，其特征
...【技术特征摘要】
1.一种具有快拆电极板的等离子体清洗腔，其特征在于，包括腔体和门板，门板枢接于腔体上，门板与腔体可闭合形成封闭的用于容置被清洗物的内腔；
2.根据权利要求1所述的具有快拆电极板的等离子体清洗腔，其特征在于，第一电极板形成有第一连接部，第一插板连接在第一连接部的表面，第一连接部的端部抵顶于第一电极连接板上，以限定第一电极板的位置。
3.根据权利要求2所述的具有快拆电极板的等离子体清洗腔，其特征在于，第一电极连接板背离第一电极板的一侧通过绝缘的支撑脚安装在腔体的内腔后侧壁上，腔体的外壁设有电极接头，电极接头与第一电极连接板电性连接。
...【专利技术属性】
技术研发人员：张波，
申请(专利权)人：深圳市嘉铭半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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