【技术实现步骤摘要】
本申请属于等离子体清洗，涉及一种改进门板的进气通道的等离子体清洗腔。
技术介绍
1、等离子体是由部分电子被剥夺后的原子及原子团被电离后产生的正负离子组成的离子化气体状物质，常被视为是除去固、液、气外，物质存在的第四态。
2、等离子体广泛应用于清洗，清洗过程是，在真空的腔体内压力到达一定范同时充入氧、氩、氢等工艺气体，利用高电压将工艺气体电离，生成等离子体，活性等离子体对被清洗物进行物理轰击与化学活化，使被清洗物表面物质变成粒子和气态物质，经过抽真空排出，从而达到清洗目的。
3、现有的用于等离子体清洗的腔体，其电极通常设置在腔体内的侧部或上下部，而抽真空的排出口设置在背部，而工艺气体的进入口设置在侧部或上下部，导致工艺气体在腔体内不均匀的流动，处于不同位置被清洗物的清洗效果存在差异。
技术实现思路
1、为克服相关技术中存在的问题，本申请旨在提供一种一种改进门板的进气通道的等离子体清洗腔，能够将工艺气体的进入口设置于腔体前部的门板上。
2、本申请是通过如下的技术方案来实现的。
3、本技术方案是提供一种改进门板的进气通道的等离子体清洗腔，包括腔体和门板，门板与腔体闭合可形成封闭的内腔；门板的内部设有第一气道，第一气道的第一出口位于门板的内侧面且与内腔相连通，第一气道的第一入口位于门板的侧面；
4、还包括设于门板侧面的第一铰接耳座，第一铰接耳座绕铰接轴线转动使门板打开或关闭，第一铰接耳座的内部设有第二气道，第二气道的第二出口与第一
5、本技术方案的技术效果是，通过在门板内设置第一气道，使工孔气体能够从门板一侧进入内腔；在第一铰接耳座上设有二气道且其入口铰接轴线，避免了气管接在门板，防止经常开启门板导到气管弯曲而使寿命变短，由于气管具有一定轴向扭曲能力，气管接于第一铰接耳座与铰接轴线同轴相比于连接门板上，更加耐用，而且避免气管影响外观美观。
6、作为上述技术方案的实施方式，等离子体清洗腔还包括铰接凸耳和第二铰接耳座，铰接凸耳与腔体相连接，第二铰接耳座设于门板上，第一铰接耳座与第二铰接耳座之间设有与铰接轴线同轴的转轴，铰接凸耳套设于转轴上。
7、作为上述技术方案的实施方式，腔体相对于门板的后侧壁设有抽气孔，抽气孔用于连接抽气装置，腔体内的气体通过抽气孔排出。
8、作为上述技术方案的实施方式，第一气道的第一出口具有一个或多个，多个的第一气道的出口以门板中心呈圆周均布设置。
9、作为上述技术方案的实施方式，腔体的内部设有分别与等离子体发生器电性连接的正极板和负极板，门板远离第一铰接耳座的一侧设有锁扣件，门板通过锁扣件与腔体进行锁定。
10、应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本申请。
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1.一种改进门板的进气通道的等离子体清洗腔，其特征在于，包括腔体和门板，门板与腔体闭合可形成封闭的内腔；门板的内部设有第一气道，第一气道的第一出口位于门板的内侧面且与内腔相连通，第一气道的第一入口位于门板的侧面；
2.根据权利要求1所述的改进门板的进气通道的等离子体清洗腔，其特征在于，还包括铰接凸耳和第二铰接耳座，铰接凸耳与腔体相连接，第二铰接耳座设于门板上，第一铰接耳座与第二铰接耳座之间设有与铰接轴线同轴的转轴，铰接凸耳套设于转轴上。
3.根据权利要求1所述的改进门板的进气通道的等离子体清洗腔，其特征在于，腔体相对于门板的后侧壁设有抽气孔，抽气孔用于连接抽气装置，腔体内的气体通过抽气孔排出。
4.根据权利要求1所述的改进门板的进气通道的等离子体清洗腔，其特征在于，第一气道的第一出口具有一个或多个，多个的第一气道的出口以门板中心呈圆周均布设置。
5.根据权利要求1所述的改进门板的进气通道的等离子体清洗腔，其特征在于，腔体的内部设有分别与等离子体发生器电性连接的正极板和负极板，门板远离第一铰接耳座的一侧设有锁扣件。
【技术特征摘要】
1.一种改进门板的进气通道的等离子体清洗腔，其特征在于，包括腔体和门板，门板与腔体闭合可形成封闭的内腔；门板的内部设有第一气道，第一气道的第一出口位于门板的内侧面且与内腔相连通，第一气道的第一入口位于门板的侧面；
2.根据权利要求1所述的改进门板的进气通道的等离子体清洗腔，其特征在于，还包括铰接凸耳和第二铰接耳座，铰接凸耳与腔体相连接，第二铰接耳座设于门板上，第一铰接耳座与第二铰接耳座之间设有与铰接轴线同轴的转轴，铰接凸耳套设于转轴上。
3.根据权利要求1所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：张波，
申请(专利权)人：深圳市嘉铭半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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