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本申请涉及一种改进门板的进气通道的等离子体清洗腔，包括腔体和门板，门板与腔体闭合可形成封闭的内腔；门板的内部设有第一气道，第一气道的第一出口位于门板的内侧面且与内腔相连通，第一气道的第一入口位于门板的侧面；还包括设于门板侧面的第一铰接耳座，...
该专利属于深圳市嘉铭半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市嘉铭半导体科技有限公司授权不得商用。

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