面向半导体制造设备功能仿真的参数变化规律模拟系统技术方案

本发明专利技术提出一种面向半导体制造装备功能仿真的运行参数变化规律模拟系统，包括：系统界面接口，ＰＩＤ变化规律模块，所述ＰＩＤ变化规律模块包括保存ＰＩＤ配置参数的结构体，用户自定义变化规律模块，所述用户自定义变化规律模块包括保存用户自定义变化规律的配置参数的结构体，和变化规律线程管理模块，所述变化规律线程管理模块针对一个参数变化规律开启一个线程，并在变化条件满足后自动结束所述线程，以及根据哈希表对所述线程进行管理以开启或结束变化规律线程。本发明专利技术具有配置简单、适应性强、贴近实际的特点，而且克服了同一个设备属性参数在不同的变化规律之间进行切换的问题。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体制造
，特别涉及一种面向半导体制造装备功能仿真的 运行参数变化规律模拟系统。
技术介绍
在集成电路制造装备功能仿真过程中，面临着很多种不同类型的设备模型，而每 种模型内部又有多种属性参数，其中整型与浮点型属性参数在仿真运行过程中可能有很多 种不同类型的变化规律。在集成电路制造装备功能仿真过程中，最为常见的属性参数变化 规律为PID(比例-积分-微分)控制曲线变化规律，这就涉及PID控制算法的设计问题。 在实际的制造设备中，工艺环境复杂多变，要想设计出一种通用可配置的属性参数变化规 律模拟子系统，除了 PID、PI算法外，还需要用户根据设备实际运行情况配置特定的参数属 性变化规律。在实际的集成电路制造装备运行环境中，参数的变化规律可以分为如下面列举的 几种类型。1、PID 类型PID控制算法是工业界用途最为广泛的变量控制算法。PID控制器问世已经有70 年，它以结构简单、稳定性好、调节方便、工作可靠成为工业控制的主要技术之一。当控制对 象的结构和参数不能确定，或不能得到精确的属性模型，控制理论的其它方法都难以使用 时，系统控制器的结构和参数必须通过经验和现场本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种面向半导体制造装备功能仿真的运行参数变化规律模拟系统，其特征在于，包括：系统界面接口，所述系统界面接口向其他仿真系统提供统一界面以使其他仿真系统对所述运行参数变化规律模拟系统进行调用；ＰＩＤ变化规律模块，所述ＰＩＤ变化规律模块包括保存ＰＩＤ配置参数的结构体，其中的ＰＩＤ类提供ＰＩＤ调用接口，其中，其他仿真系统通过所述传递合适的参数调用该函数以求取设备属性参数下一时刻的数值；用户自定义变化规律模块，所述用户自定义变化规律模块包括保存用户自定义变化规律的配置参数的结构体，其中，Ｃｕｓｔｏｍ类对外提供调用接口，用户传递合适的参数给所述调研接口以获得设备属性参数下一时刻的数值；和变化规律线程管理模...

【技术特征摘要】
一种面向半导体制造装备功能仿真的运行参数变化规律模拟系统，其特征在于，包括系统界面接口，所述系统界面接口向其他仿真系统提供统一界面以使其他仿真系统对所述运行参数变化规律模拟系统进行调用；PID变化规律模块，所述PID变化规律模块包括保存PID配置参数的结构体，其中的PID类提供PID调用接口，其中，其他仿真系统通过所述传递合适的参数调用该函数以求取设备属性参数下一时刻的数值；用户自定义变化规律模块，所述用户自定义变化规律模块包括保存用户自定义变化规律的配置参数的结构体，其中，Custom类对外提供调用接口，用户传递合适的参数给所述调研接口以获得设备属性参数下一时刻的数值；和变化规律线程管理模块，所述变化规律线程管理模块针对一个参数变化规律开启一个线程，并在变化条件满足后自动结束所述线程，以及根据哈希表对所述线程进行管理以开启或结束变化规律线程。2.如权利要求1所述的面向半导体制造装备功能仿真的运行参数变化规律模拟系统， 其特征在于，所述PID配置参数包括P\I\D系统以及PID算法公式，且每个参数以字符串的 形式保存在所述结构体中。3.如权利要求1所述的面向半导体制造装备功能仿真的运行参数变化规律模拟系统， 其特征在于，所述用户自定义变化规律的配置参数包括变化时间、变化步长和变化公式，且 每个参数以字符串的形式保存在所述结构体中。4.如权利要求1所述的面向半导体制造装备功能仿真的运行参数变化规...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐华，王巍，李垒，
申请(专利权)人：清华大学，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]