System.ArgumentOutOfRangeException: 索引和长度必须引用该字符串内的位置。 参数名: length 在 System.String.Substring(Int32 startIndex, Int32 length) 在 zhuanliShow.Bind() 一种快速处理现场异常的方法、装置、设备及可读介质制造方法及图纸_技高网

一种快速处理现场异常的方法、装置、设备及可读介质制造方法及图纸

技术编号:40949213 阅读:2 留言:0更新日期:2024-04-18 20:23
本申请提供了一种快速处理现场异常的方法、装置、设备及可读介质。该方法包括:获取制造执行系统采集到的生产数据,基于过程控制系统识别生产数据异常点;通过失控行动计划系统接收异常点的数据信息;根据异常点的数据信息,通过预先设置好的处置方案,触发处置流程和处置内容,以指示现场人员进行异常处理;若识别到异常处理结果为处理成功,则失控行动计划系统将异常处理结果反馈至制造执行系统,供制造执行系统向过程控制系统进行生产数据异常点的处理结果反馈。本技术方案,能够通过指示现场人员进行异常处理,可以极大的提高异常处理效率,避免停止生成所带来的效益损失,同时也避免了异常点不能够及时得到处理造成批量生产不合格的产品。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及计算机,尤其涉及一种快速处理现场异常的方法、装置、设备及可读介质


技术介绍

1、近年来,随着科技水平的迅速发展,半导体行业得到了飞速的发展。在半导体制造领域,制造厂会通过统计过程控制系统(statics process control,spc)监控生产制造过程的异常波动,处理异常波动,提前防止批量生产不合格产品。

2、然而,专利技术人发现相关技术中至少存在如下技术问题:

3、目前公司spc系统检测出异常事件发生时,仅向责任人发出异常警告信息等待后续人工管控。这种做法会使处理滞后,造成直接的质量风险。因此现有技术中,采用spc系统监控过程工艺,其在生产过程中确定机台运行状况,并在出现异常事件的后续智能化处理上还有待提高。


技术实现思路

1、本申请的一个目的是提供一种快速处理现场异常的方法、装置、设备及可读介质,至少用以解决异常事件处理滞后且不够智能化的问题。本申请的目的在于:提供了一种新的快速处理现场异常的方法。该方法通过流程挖掘,当产品质量参数发生异常时,自动生成动态异常行动计划以便于控制后续制造流程。该系统通过工程师设计的处置方案转换为逻辑模型,针对spc系统的各类异常,自动弹出相对应的处置流程和模块,指导现场第一时间排查异常异常的来源,便于快速恢复生产。

2、为实现上述目的,本申请的一些实施例提供了以下几个方面:

3、第一方面,本申请的一些实施例还提供了一种快速处理现场异常的方法,所述方法包括:

4、获取制造执行系统采集到的生产数据,基于过程控制系统识别生产数据异常点;

5、通过失控行动计划系统接收所述异常点的数据信息;

6、根据所述异常点的数据信息,通过预先设置好的处置方案,触发处置流程和处置内容,以指示现场人员进行异常处理;

7、若识别到异常处理结果为处理成功,则失控行动计划系统将所述异常处理结果反馈至所述制造执行系统,供所述制造执行系统向过程控制系统进行生产数据异常点的处理结果反馈。

8、第二方面,本申请的一些实施例还提供了一种快速处理现场异常的装置,所述装置包括:

9、生产数据异常点识别模块,用于获取制造执行系统采集到的生产数据,基于过程控制系统识别生产数据异常点;

10、数据信息接收模块,用于通过失控行动计划系统接收所述异常点的数据信息;

11、现场处理模块,用于根据所述异常点的数据信息,通过预先设置好的处置方案,触发处置流程和处置内容,以指示现场人员进行异常处理;

12、处理结果反馈模块,用于若识别到异常处理结果为处理成功,则失控行动计划系统将所述异常处理结果反馈至所述制造执行系统,供所述制造执行系统向过程控制系统进行生产数据异常点的处理结果反馈。

13、第三方面,本申请的一些实施例还提供了一种计算机设备,所述设备包括:

14、一个或多个处理器;以及

15、存储有计算机程序指令的存储器,所述计算机程序指令在被执行时使所述处理器执行如上所述的快速处理现场异常的方法。

16、第四方面,本申请的一些实施例还提供了一种计算机可读介质,其上存储有计算机程序指令,所述计算机程序指令可被处理器执行以实现如上所述的快速处理现场异常的方法。

17、相较于现有技术,本申请实施例提供的方案中,获取制造执行系统采集到的生产数据,基于过程控制系统识别生产数据异常点;通过失控行动计划系统接收所述异常点的数据信息;根据所述异常点的数据信息,通过预先设置好的处置方案,触发处置流程和处置内容,以指示现场人员进行异常处理;若识别到异常处理结果为处理成功,则失控行动计划系统将所述异常处理结果反馈至所述制造执行系统,供所述制造执行系统向过程控制系统进行生产数据异常点的处理结果反馈。通过采用失控行动计划系统对异常点的数据信息匹配处置方案,以指示现场人员进行异常处理,可以极大的提高异常处理效率,避免停止生成所带来的效益损失,同时也避免了异常点不能够及时得到处理造成批量生产不合格的产品。

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【技术保护点】

1.一种快速处理现场异常的方法,其特征在于,所述方法包括:

2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,在通过失控行动计划系统接收所述异常点的数据信息之后,所述方法还包括:

3.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,在识别到异常处理结果为处理成功之后,所述方法还包括:

4.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,在根据所述异常点的数据信息,通过预先设置好的处置方案,触发处置流程和处置内容之后,所述方法还包括:

5.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,根据所述异常点的数据信息,通过预先设置好的处置方案,触发处置流程和处置内容,以指示现场人员进行异常处理,包括:

6.根据权利要求5所述的方法,其特征在于,根据所述异常点的数据信息,通过预先设置好的处置方案,确定目标处置流程,包括:

7.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,获取制造执行系统采集到的生产数据,基于过程控制系统识别生产数据异常点,包括:

8.一种快速处理现场异常的装置,其特征在于,所述装置包括:

9.一种计算机设备,其特征在于,所述设备包括:

10.一种计算机可读介质,其特征在于,其上存储有计算机程序指令,所述计算机程序指令可被处理器执行以实现如权利要求1-7中任意一项所述的快速处理现场异常的方法。

...

【技术特征摘要】

1.一种快速处理现场异常的方法,其特征在于,所述方法包括:

2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,在通过失控行动计划系统接收所述异常点的数据信息之后,所述方法还包括:

3.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,在识别到异常处理结果为处理成功之后,所述方法还包括:

4.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,在根据所述异常点的数据信息,通过预先设置好的处置方案,触发处置流程和处置内容之后,所述方法还包括:

5.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,根据所述异常点的数据信息,通过预先设置好的处置方案,触发处置流程和处置内容,以指示现场人员...

【专利技术属性】
技术研发人员:郁飞翁剑峰戴军
申请(专利权)人:上海中欣晶圆半导体科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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