防腐蚀性气体侵蚀的残气分析仪装置制造方法及图纸

本技术提供了一种防腐蚀性气体侵蚀的残气分析仪装置，包括：离子源部分、四极杆部分、检测器部分、电真空法兰以及电控系统；所述离子源部分、所述四极杆部分以及所述检测器部分依次连接，所述检测器部分连接所述电控系统，所述电控系统和所述检测器部分之间设置所述电真空法兰；所述四极杆部分包括：屏蔽套筒和四极杆；所述四极杆的外侧设置所述屏蔽套筒；所述检测器部分包括：金属安全罩和检测器；所述检测器的外侧设置所述金属安全罩。本申请通过对灯丝、电极等易受腐蚀的组件进行防腐蚀设计，延长了现有残气分析仪装置在腐蚀性气体环境中的使用寿命。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及残气分析仪装置，具体地，涉及防腐蚀性气体侵蚀的残气分析仪装置。

技术介绍

1、近年来我国半导体行业快速发展，在半导体制造等涉及特殊气体应用的行业中，气体检测涉及腐蚀性物质，如clf3等。传统残余气体分析设备以不锈钢材料为主，主要用于常见气体分析，无法长时间用于腐蚀性气体环境中的气体检测，在半导体制造等行业存在应用短板。

技术实现思路

1、针对现有技术中的缺陷，本技术的目的是提供一种防腐蚀性气体侵蚀的残气分析仪装置。

2、根据本技术提供的防腐蚀性气体侵蚀的残气分析仪装置，包括：离子源部分、四极杆部分、检测器部分、电真空法兰以及电控系统；

3、所述离子源部分、所述四极杆部分以及所述检测器部分依次连接，所述检测器部分连接所述电控系统，所述电控系统和所述检测器部分之间设置所述电真空法兰；

4、所述四极杆部分包括：屏蔽套筒和四极杆；

5、所述四极杆的外侧设置所述屏蔽套筒；

6、所述检测器部分包括：金属安全罩和检测器；

7、所述检测器的外侧设置所述金属安全罩。

8、优选地，所述屏蔽套筒一端固定连接所述离子源部分，另一端通过固定法兰固定连接所述金属安全罩。

9、优选地，所述电真空法兰的真空一侧连接所述金属安全罩，大气环境一侧连接所述电控系统。

10、优选地，所述电控系统上设置通讯接口、真空计接口以及电源接口。

11、优选地，所述屏蔽套筒的内径大于等于3.44倍的四极杆部分的场半径。

12、优选地，所述离子源部分包括：灯丝固定电极、灯丝、反射电极、推斥电极、聚焦电极以及引出电极；

13、所述灯丝固定在所述固定电极上，所述灯丝固定电极、所述反射电极、所述推斥电极和所述聚焦电极依次连接，连接处采用绝缘垫隔离。所述离子源部分的各电极之间通过电极物理结构设计与电学参数优化相互配合，实现离子产生、离子传输、离子聚焦，并将离子送至所述四极杆部分。

14、优选地，所述推斥电极由笼状结构侧面连接平板结构构成。

15、优选地，所述屏蔽套筒和所述金属安全罩上设置用于引线的孔。

16、优选地，所述灯丝固定电极、所述反射电极、所述平板结构、所述聚焦电极以及所述引出电极采用cr20ni 10材质，所述灯丝固定电极表面蒸镀ni层，所述灯丝采用钨丝或表面涂覆氧化钇的铱丝，所述笼状结构采用ptir10材质，所述四极杆的基材采用钼、316l不锈钢或惰性金属，所述屏蔽套筒和所述金属安全罩采用316l不锈钢，所述电真空法兰采用可伐合金材质。

17、与现有技术相比，本技术具有如下的有益效果：

18、1、本申请通过对灯丝、电极等易受腐蚀的组件进行防腐蚀设计，延长了现有残气分析仪装置在腐蚀性气体环境中的使用寿命。

19、2、本申请通过绝缘垫、屏蔽套筒以及金属安全罩等装置进一步提高了设备的安全性。

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【技术保护点】

1.一种防腐蚀性气体侵蚀的残气分析仪装置，其特征在于，包括：离子源部分(1)、四极杆部分(2)、检测器部分(3)、电真空法兰(4)以及电控系统(5)；

2.根据权利要求1所述防腐蚀性气体侵蚀的残气分析仪装置，其特征在于：所述屏蔽套筒(21)一端固定连接所述离子源部分(1)，另一端通过固定法兰(6)固定连接所述金属安全罩(31)。

3.根据权利要求1所述防腐蚀性气体侵蚀的残气分析仪装置，其特征在于：所述电真空法兰(4)的真空一侧连接所述金属安全罩(31)，大气环境一侧连接所述电控系统(5)。

4.根据权利要求1所述防腐蚀性气体侵蚀的残气分析仪装置，其特征在于：所述电控系统(5)上设置通讯接口(51)、真空计接口(52)以及电源接口(53)。

5.根据权利要求1所述防腐蚀性气体侵蚀的残气分析仪装置，其特征在于：所述屏蔽套筒(21)的内径大于等于3.44倍的四极杆部分(2)的场半径。

6.根据权利要求1所述防腐蚀性气体侵蚀的残气分析仪装置，其特征在于：所述推斥电极(14)由笼状结构(141)侧面连接平板结构(142)构成。p>

7.根据权利要求6所述防腐蚀性气体侵蚀的残气分析仪装置，其特征在于：所述灯丝固定电极(11)、所述反射电极(13)、所述平板结构(142)、所述聚焦电极(15)以及所述引出电极(16)采用Cr20Ni10材质，所述灯丝固定电极(11)表面蒸镀Ni层，所述灯丝(12)采用钨丝或表面涂覆氧化钇的铱丝，所述笼状结构(141)采用PtIr10材质，所述四极杆(22)的基材采用钼、316L不锈钢或惰性金属，所述屏蔽套筒(21)和所述金属安全罩(31)采用316L不锈钢，所述电真空法兰(4)采用可伐合金材质。

8.根据权利要求1所述防腐蚀性气体侵蚀的残气分析仪装置，其特征在于：所述屏蔽套筒(21)和所述金属安全罩(31)上设置用于引线的孔。

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【技术特征摘要】

1.一种防腐蚀性气体侵蚀的残气分析仪装置，其特征在于，包括：离子源部分(1)、四极杆部分(2)、检测器部分(3)、电真空法兰(4)以及电控系统(5)；

2.根据权利要求1所述防腐蚀性气体侵蚀的残气分析仪装置，其特征在于：所述屏蔽套筒(21)一端固定连接所述离子源部分(1)，另一端通过固定法兰(6)固定连接所述金属安全罩(31)。

3.根据权利要求1所述防腐蚀性气体侵蚀的残气分析仪装置，其特征在于：所述电真空法兰(4)的真空一侧连接所述金属安全罩(31)，大气环境一侧连接所述电控系统(5)。

4.根据权利要求1所述防腐蚀性气体侵蚀的残气分析仪装置，其特征在于：所述电控系统(5)上设置通讯接口(51)、真空计接口(52)以及电源接口(53)。

5.根据权利要求1所述防腐蚀性气体侵蚀的残气分析仪装置，其特征在于：所述屏蔽套筒(21)的内径大于等于3.44倍的四极杆部分(2)...

【专利技术属性】
技术研发人员：于佳佳，庞骏德，景加荣，侍尉，任维松，周旭，沈辉，
申请(专利权)人：上海裕达实业有限公司，
类型：新型
国别省市：