本实用新型专利技术提供了一种逆扩散式多抽气口分子泵，包括：泵体，所述泵体内设置有转子组件以及定子组件；所述转子组件包括驱动组件、内碳纤维筒以及外碳纤维筒，所述内碳纤维筒和所述外碳纤维筒间隔设置在所述驱动组件上，所述驱动组件通过所述定子组件进行驱动；所述内碳纤维筒位于所述外碳纤维筒内，所述泵体内侧壁上设置有内螺旋件和外螺旋件，所述内螺旋件位于所述内碳纤维筒内，所述外螺旋件位于所述内碳纤维筒和所述外碳纤维筒之间。本实用新型专利技术将转子组件优化设计，轻质高强，精度高，振动小。振动小。振动小。
【技术实现步骤摘要】
逆扩散式多抽气口分子泵
[0001]本技术涉及真空获得设备
，具体地，涉及一种逆扩散式多抽气口分子泵。
技术介绍
[0002]分子泵作为主流真空获得设备，是检漏仪等高端分析仪器的重要配套设备。该类仪器使用时，往往需要多个腔室都要达到相应真空状态，要求具备逆扩散能力(如检漏仪需要小分子气体逆扩散进主质谱腔室)，同时为保证分析精准度，转子运转稳定性、真空洁净度要求更高。若采用传统分子泵，需同时配备多台，使用成本高，不具备逆扩散能力，难以满足仪器使用需求，传统转子动力学特性差、机械轴承油脂挥发，影响仪器精度。
技术实现思路
[0003]针对现有技术中的缺陷，本技术的目的是提供一种逆扩散式多抽气口分子泵。
[0004]根据本技术提供的一种逆扩散式多抽气口分子泵，包括：泵体，所述泵体内设置有转子组件以及定子组件；
[0005]所述转子组件包括驱动组件、内碳纤维筒以及外碳纤维筒，所述内碳纤维筒和所述外碳纤维筒间隔设置在所述驱动组件上，所述驱动组件通过所述定子组件进行驱动；
[0006]所述内碳纤维筒位于所述外碳纤维筒内，所述泵体内侧壁上设置有内螺旋件和外螺旋件，所述内螺旋件位于所述内碳纤维筒内，所述外螺旋件位于所述内碳纤维筒和所述外碳纤维筒之间。
[0007]优选的，所述转子组件还包括多个动叶片，多个所述动叶片间隔设置在所述驱动组件上；
[0008]所述泵体内侧壁上设置有多个静叶片，多个所述静叶片间隔设置在所述泵体内侧壁上；
[0009]多个所述动叶片和多个所述静叶片相互交错设置。
[0010]优选的，所述驱动组件包括主轴结构、电机转子以及基础件；所述定子组件为电机定子；
[0011]所述主轴结构的两端转动设置在所述泵体上，所述电机转子和所述基础件设置在所述主轴结构上；所述电机转子位于所述电机定子内；
[0012]所述内碳纤维筒和所述外碳纤维筒间隔设置在所述基础件上；所述动叶片间隔设置在所述主轴结构上。
[0013]优选的，所述泵体内设置有中心柱，所述中心柱的一端设置有内磁环；
[0014]所述主轴结构靠近所述中心柱的一端设置有转动凹槽，所述转动凹槽的内侧壁上设置有外磁环，所述内磁环位于所述外磁环内；
[0015]所述内磁环和所述外磁环构成非触式永磁轴承结构，所述中心柱通过所述非触式
永磁轴承结构对所述主轴结构进行约束支承。
[0016]优选的，所述主轴结构包括第一主轴分件和第二主轴分件；
[0017]所述第一主轴分件设置在所述第二主轴分件的一端，所述第一主轴分件靠近所述中心柱设置，所述转动凹槽设置在所述第一主轴分件上；所述第二主轴分件的另一端转动设置在所述泵体上；
[0018]所述动叶片和所述基础件设置在所述第一主轴分件，所述电机转子设置在所述第二主轴分件上。
[0019]优选的，所述泵体包括泵壳和底座，所述底座设置在所述泵壳的一端；
[0020]所述底座上设置有轴承座，所述轴承座内设置有机械轴承，所述第二主轴分件的另一端通过所述机械轴承设置在所述轴承座上。
[0021]优选的，所述转子组件的转动轴线方向为第一方向，
[0022]所述静叶片和所述动叶片的长度方向沿第二方向设置，所述第二方向与所述第一方向相垂直；
[0023]所述内碳纤维筒和所述外碳纤维筒的中轴线沿所述第一方向设置。
[0024]优选的，所述静叶片和所述动叶片构成涡轮级结构；
[0025]所述内碳纤维筒和所述外碳纤维筒构成牵引级结构；
[0026]所述泵体上设置有第一进气口、第二进气口以及第三进气口；
[0027]所述第一进气口设置在所述泵体的一端；所述第二进气口对应所述涡轮级结构设置；所述第三进气口对应所述牵引级结构设置；
[0028]所述第一进气口用于正向进气，所述第二进气口用于逆扩散回流和正向进气，所述第三进气口用于逆扩散回流和正向进气。
[0029]优选的，所述泵体上设置有排气口，所述排气口对应所述内螺旋件设置。
[0030]优选的，所述静叶片和所述动叶片之间形成第一气体通道；
[0031]所述内碳纤维筒和所述外碳纤维筒之间形成第二气体通道；
[0032]所述第一进气口用于对所述第一气体通道正向进气；所述第二进气口通过所述第一气体通道正向进气和逆扩散回流；所述第三进气口通过所述第一通道逆扩散回流，所述第三进气口通过第二进气通道正向进气。
[0033]与现有技术相比，本技术具有如下的有益效果：
[0034]1、本技术将转子组件优化设计，轻质高强，精度高，振动小；非接触式永磁轴承作为转子组件上半部分高真空处的约束支承，无磨损，可靠性高，可提供更洁净的真空环境；
[0035]2、本技术的泵壳上的进气口可定制设计，接口灵活，可同时为多个腔室抽真空，具备逆扩散能力，完全匹配相关仪器需求，用户只需采购一台泵可起到以往2～3台泵的效果，有效降低使用成本。
附图说明
[0036]通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本技术的其它特征、目的和优点将会变得更明显：
[0037]图1为本技术的逆扩散式多抽气口分子泵的剖面结构示意图。
[0038]图中示出：
[0039]泵体1
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内螺旋件12
[0040]中心柱2
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外螺旋件13
[0041]内磁环3
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电机定子14
[0042]外磁环4
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电机转子15
[0043]第一主轴分件5
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轴承座16
[0044]第二主轴分件6
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机械轴承17
[0045]动叶片7
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底座18
[0046]静叶片8
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第一进气口19
[0047]基础件9
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第二进气口20
[0048]外碳纤维筒10
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第三进气口21
[0049]内碳纤维筒11排气口22
具体实施方式
[0050]下面结合具体实施例对本技术进行详细说明。以下实施例将有助于本领域的技术人员进一步理解本技术，但不以任何形式限制本技术。应当指出的是本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种逆扩散式多抽气口分子泵，其特征在于，包括：泵体(1)，所述泵体(1)内设置有转子组件以及定子组件；所述转子组件包括驱动组件、内碳纤维筒(11)以及外碳纤维筒(10)，所述内碳纤维筒(11)和所述外碳纤维筒(10)间隔设置在所述驱动组件上，所述驱动组件通过所述定子组件进行驱动；所述内碳纤维筒(11)位于所述外碳纤维筒(10)内，所述泵体(1)内侧壁上设置有内螺旋件(12)和外螺旋件(13)，所述内螺旋件(12)位于所述内碳纤维筒(11)内，所述外螺旋件(13)位于所述内碳纤维筒(11)和所述外碳纤维筒(10)之间。2.根据权利要求1所述的逆扩散式多抽气口分子泵，其特征在于，所述转子组件还包括多个动叶片(7)，多个所述动叶片(7)间隔设置在所述驱动组件上；所述泵体(1)内侧壁上设置有多个静叶片(8)，多个所述静叶片(8)间隔设置在所述泵体(1)内侧壁上；多个所述动叶片(7)和多个所述静叶片(8)相互交错设置。3.根据权利要求2所述的逆扩散式多抽气口分子泵，其特征在于，所述驱动组件包括主轴结构、电机转子(15)以及基础件(9)；所述定子组件为电机定子(14)；所述主轴结构的两端转动设置在所述泵体(1)上，所述电机转子(15)和所述基础件(9)设置在所述主轴结构上；所述电机转子(15)位于所述电机定子(14)内；所述内碳纤维筒(11)和所述外碳纤维筒(10)间隔设置在所述基础件(9)上；所述动叶片(7)间隔设置在所述主轴结构上。4.根据权利要求3所述的逆扩散式多抽气口分子泵，其特征在于，所述泵体(1)内设置有中心柱(2)，所述中心柱(2)的一端设置有内磁环(3)；所述主轴结构靠近所述中心柱(2)的一端设置有转动凹槽，所述转动凹槽的内侧壁上设置有外磁环(4)，所述内磁环(3)位于所述外磁环(4)内；所述内磁环(3)和所述外磁环(4)构成非触式永磁轴承结构，所述中心柱(2)通过所述非触式永磁轴承结构对所述主轴结构进行约束支承。5.根据权利要求4所述的逆扩散式多抽气口分子泵，其特征在于，所述主轴结构包括第一主轴分件(5)和第二主轴分件(6)；所述第一主轴分件(5)设置在所述第二主轴分件(6)的一端，所述第一主轴分件(5)靠近所述中心柱(2)设置，所述转动凹...
【专利技术属性】
技术研发人员：宁远涛，景加荣，黄涛，张延顺，陈琦，那莉莉，
申请(专利权)人：上海裕达实业有限公司，
类型：新型
国别省市：
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