主轴安装结构及分子泵制造技术

本发明专利技术提供了一种主轴安装结构及分子泵，包括：轴承、轴承座、波形弹簧、调整垫片以及减振圈；所述轴承设置在主轴的两端，所述轴承座上设置有第一安装凹槽，所述轴承位于所述第一安装凹槽内；所述第一安装凹槽的内周侧壁上设置有第二安装凹槽，所述减振圈设置在所述第二安装凹槽内，所述减振圈用于在所述轴承的径向方向对所述轴承进行减振；所述波形弹簧设置在所述第一安装凹槽的底部侧壁上，所述调整垫片设置在所述轴承和所述波形弹簧之间，所述波形弹簧用于限位所述主轴的轴向窜动。本发明专利技术的结构设计使得分子泵的主轴安装、减振和润滑结构异常紧凑，从而能够实现小体积下的主轴高速旋转和轴承的有效润滑。转和轴承的有效润滑。转和轴承的有效润滑。

【技术实现步骤摘要】
主轴安装结构及分子泵


[0001]本专利技术涉及泵设备
，具体地，涉及一种主轴安装结构及分子泵。

技术介绍

[0002]现有小型分子泵一般为立式轴系结构，主轴两端使用机械轴承或永磁轴承进行支撑并与轴承座进行安装，永磁轴承由于受限于自身体积大小，无法将主轴安装结构小型化，导致分子泵的尺寸无法进一步减小，无法应用于小型、便携式仪器的抽真空。

技术实现思路

[0003]针对现有技术中的缺陷，本专利技术的目的是提供一种主轴安装结构及分子泵。
[0004]根据本专利技术提供的一种主轴安装结构，包括：轴承、轴承座、波形弹簧、调整垫片以及减振圈；
[0005]所述轴承设置在主轴的两端，所述轴承座上设置有第一安装凹槽，所述轴承位于所述第一安装凹槽内；
[0006]所述第一安装凹槽的内周侧壁上设置有第二安装凹槽，所述减振圈设置在所述第二安装凹槽内，所述减振圈用于在所述轴承的径向方向对所述轴承进行减振；
[0007]所述波形弹簧设置在所述第一安装凹槽的底部侧壁上，所述调整垫片设置在所述轴承和所述波形弹簧之间，所述波形弹簧用于限位所述主轴的轴向窜动。
[0008]优选的，还包括轴承锁止螺母，所述轴承锁止螺母设置在所述主轴上，所述轴承通过所述轴承锁止螺母固定在所述主轴上，所述轴承锁止螺母与所述轴承的旋向相反。
[0009]优选的，还包括油棉组件，所述油棉组件设置在所述轴承座内，所述油棉组件用于所述主轴在旋转过程中实现吸油和回油。
[0010]优选的，所述油棉组件包括大油棉、小油棉以及带尖油棉；
[0011]所述大油棉和所述带尖油棉设置在所述轴承的一侧，所述带尖油棉的尖部与所述轴承锁止螺母接触，所述轴承能够从所述大油棉和所述带尖油棉上吸油；
[0012]所述小油棉设置在所述轴承的另一侧，所述小油棉用于收集流过所述轴承的油；
[0013]所述轴承座内设置有导油柱，所述小油棉通过所述导油柱与所述大油棉、所述带尖油棉连接，所述小油棉通过所述导油柱将收集的油导回所述大油棉、所述带尖油棉。
[0014]优选的，所述减振圈为邵氏硬度在NBR60的耐油丁腈橡胶。
[0015]优选的，所述减振圈的压缩率为50％～65％。
[0016]优选的，所述轴承座的表面镀有镍层。
[0017]优选的，还包括外碳纤维管和内碳纤维管；
[0018]所述内碳纤维管设置在所述主轴上，所述主轴与所述内碳纤维管的内侧壁相连接；
[0019]所述外碳纤维管设置在所述主轴上，所述外碳纤维管的内侧壁与所述主轴的内部定位凸台相连接；
[0020]所述主轴通过所述轴承和所述轴承座安装在泵体内。
[0021]优选的，所述内碳纤维管和所述外碳纤维管过盈安装在所述主轴上。
[0022]本专利技术还提供一种分子泵，包括上述的主轴安装结构。
[0023]与现有技术相比，本专利技术具有如下的有益效果：
[0024]1、本专利技术使用了两侧对称的卧式轴系结构，使用微型超高速陶瓷球轴承和弹性减振环的结构形式，能够实现分子泵的进一步小型化，解决小型、便携式仪器的装机需求；
[0025]2、本专利技术使分子泵轴系结构小型化，从而使分子泵的结构紧凑，能够放置在小型、便携式仪器的内部，用于仪器的抽真空；
[0026]3、本专利技术采用精确计算的减振结构，分子泵正常工作时振动不平衡量小于0.1微米，并具有一定的抗冲击能力；
[0027]4、本专利技术使用可循环的油路系统，实现轴承长时间超高速运转。
附图说明
[0028]通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本专利技术的其它特征、目的和优点将会变得更明显：
[0029]图1为主轴通过本专利技术的主轴安装结构安装在泵体上的结构示意图；
[0030]图2为图1的局部放大图；
[0031]图3为突出显示外碳纤维管、内碳纤维管的结构示意图。
[0032]图中示出：
[0033]轴承1
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大油棉701
[0034]轴承座2
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小油棉702
[0035]波形弹簧3
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带尖油棉703
[0036]调整垫片4
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主轴8
[0037]减振圈5
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外碳纤维管9
[0038]轴承锁止螺母6
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内碳纤维管10
[0039]油棉组件7
具体实施方式
[0040]下面结合具体实施例对本专利技术进行详细说明。以下实施例将有助于本领域的技术人员进一步理解本专利技术，但不以任何形式限制本专利技术。应当指出的是，对本领域的普通技术人员来说，在不脱离本专利技术构思的前提下，还可以做出若干变化和改进。这些都属于本专利技术的保护范围。
[0041]实施例1：
[0042]如图1～3所示，本实施例提供一种主轴安装结构，包括：轴承1、轴承座2、波形弹簧3、调整垫片4以及减振圈5。
[0043]轴承1设置在主轴8的两端，轴承座2上设置有第一安装凹槽，轴承1位于第一安装凹槽内，第一安装凹槽的内周侧壁上设置有第二安装凹槽，减振圈5设置在第二安装凹槽内，减振圈5用于在轴承1的径向方向对轴承1进行减振，波形弹簧3设置在第一安装凹槽的底部侧壁上，调整垫片4设置在轴承1和波形弹簧3之间，波形弹簧3用于限位主轴8的轴向窜
动。轴承座2的表面镀有镍层。
[0044]减振圈5为邵氏硬度在NBR60的耐油丁腈橡胶。减振圈5的压缩率为50％～65％。
[0045]本实施例的主轴安装结构还包括轴承锁止螺母6，轴承锁止螺母6设置在主轴8上，轴承1通过轴承锁止螺母6固定在主轴8上，轴承锁止螺母6与轴承1的旋向相反。
[0046]本实施例的主轴安装结构还包括油棉组件7，油棉组件7设置在轴承座2内，油棉组件7用于主轴8在旋转过程中实现吸油和回油。
[0047]本实施例的主轴安装结构还包括外碳纤维管9和内碳纤维管10，内碳纤维管10设置在主轴8上，主轴8与内碳纤维管10的内侧壁相连接，外碳纤维管9设置在主轴8上，外碳纤维管9的内侧壁与主轴8的内部定位凸台相连接，主轴8通过轴承1和轴承座2安装在泵体内。
[0048]油棉组件7包括大油棉701、小油棉702以及带尖油棉703，大油棉701和带尖油棉703设置在轴承1的一侧，带尖油棉703的尖部与轴承锁止螺母6接触，轴承1能够从大油棉701和带尖油棉703上吸油，小油棉702设置在轴承1的另一侧，小油棉702用于收集流过轴承1的油，轴承座2内设置有导油柱本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种主轴安装结构，其特征在于，包括：轴承(1)、轴承座(2)、波形弹簧(3)、调整垫片(4)以及减振圈(5)；所述轴承(1)设置在主轴(8)的两端，所述轴承座(2)上设置有第一安装凹槽，所述轴承(1)位于所述第一安装凹槽内；所述第一安装凹槽的内周侧壁上设置有第二安装凹槽，所述减振圈(5)设置在所述第二安装凹槽内，所述减振圈(5)用于在所述轴承(1)的径向方向对所述轴承(1)进行减振；所述波形弹簧(3)设置在所述第一安装凹槽的底部侧壁上，所述调整垫片(4)设置在所述轴承(1)和所述波形弹簧(3)之间，所述波形弹簧(3)用于限位所述主轴(8)的轴向窜动。2.根据权利要求1所述的主轴安装结构，其特征在于，还包括轴承锁止螺母(6)，所述轴承锁止螺母(6)设置在所述主轴(8)上，所述轴承(1)通过所述轴承锁止螺母(6)固定在所述主轴(8)上，所述轴承锁止螺母(6)与所述轴承(1)的旋向相反。3.根据权利要求2所述的主轴安装结构，其特征在于，还包括油棉组件(7)，所述油棉组件(7)设置在所述轴承座(2)内，所述油棉组件(7)用于所述主轴(8)在旋转过程中实现吸油和回油。4.根据权利要求3所述的主轴安装结构，其特征在于，所述油棉组件(7)包括大油棉(701)、小油棉(702)以及带尖油棉(703)；所述大油棉(701)和所述带尖油棉(703)设置在所述轴承(1)的一侧，所述带尖油棉(703)的尖部与所述轴承锁止螺母(6)接触，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈琦，黄涛，景加荣，张延顺，陈延龙，
申请(专利权)人：上海裕达实业有限公司，
类型：发明
国别省市：