【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及光学测量领域,更具体的涉及一种高精度高效率的光谱共焦位移测量方法。
技术介绍
1、传统激光共聚焦技术利用点照明和点接收,并通过扫描技术对待测对象进行形貌分析,具有成像清晰、三维识别能力。但该方法存在采集效率不足,测量范围相对狭窄,处理过程较为复杂等问题。光谱共焦技术利用色散现象和共焦技术,无需轴向扫描,具有层析成像的特点。而目前现有的波长检测方法通常采用光谱仪将复色光分离成单色光形成光谱进行接收处理。而光谱仪对外部环境变化比较敏感,同时在测量较大口径元件形貌信息时仍存在采集解算效率低下,系统结构复杂,成本较高的问题限制其规模发展,不符合目前发展需求。
2、现有技术中提出了一种将不同波长的单色光聚焦到被测物表面,通过彩色相机接收反射的单色光,得到彩色图像的方法,该方法将彩色图像中各像素点的颜色信息rgb值转化为hsi颜色模型的色调参数h,通过建立h值与轴向深度映射关系,从而实现被测物表面形貌检测。但该方法的系统轴向分辨率受到系统光谱分辨率的影响,即受到hsi颜色模型颜色最小分辨率的限制,从而导致系统轴向测量精度不
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1.一种高精度高效率的光谱共焦位移测量方法,其特征在于,包括:
2.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述彩色感光元件的位深参数与所述彩色图像对应的RGB颜色值呈正比;
3.如权利要求1所述的方法,其特征在于,过下列公式确定光谱共焦位移测量装置的轴向分辨率:
4.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述宽光谱光源的范围为460nm-660nm,轴向色散量为1.58mm。
5.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述彩色感光元件为彩色相机;或者颜色传感器。
【技术特征摘要】
1.一种高精度高效率的光谱共焦位移测量方法,其特征在于,包括:
2.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述彩色感光元件的位深参数与所述彩色图像对应的rgb颜色值呈正比;
3.如权利要求1所述的方法,其特征在于,过下列公式确定光谱...
【专利技术属性】
技术研发人员:朱学亮,茹佳玉,王春慧,王甜,刘思莹,刘丙才,刘卫国,
申请(专利权)人:西安工业大学,
类型:发明
国别省市:
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