【技术实现步骤摘要】
本技术属于光伏产业
,涉及采用改良西门子法生产多晶硅过程中, 还原炉内生长多晶硅的载体-硅芯的装置,具体涉及一种一炉次中能够拉制多组硅芯的硅 芯炉。
技术介绍
随着全球对绿色能源的共识,光伏产业得以迅猛发展,作为光伏产业链条中的上 游产品,多晶硅供不应求,国内外有实力的商业巨头纷纷投入巨资介入多晶硅行业,发展规 模越来越大,硅芯炉是多晶硅生产链条上的一个重要环节,需求也越来越大。目前大量使用的硅芯炉,一次只能拉制一根硅芯,一炉次只能拉制4-6根硅芯,面 对巨量的市场需求,需要投入大量的硅芯炉进行生产,设备占地面积越来越大,人力、物力 及能源消耗巨大,而能源消耗也已成为多晶硅生产厂家的考量指标之一,因此,从提高设备 效率,节能降耗,节约成本方面考虑,很有必要研发性能更为卓越的硅芯设备。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种一炉次中能够拉制多组硅芯的硅芯炉,解决了现有 硅芯炉单炉次产量低,人力、物力及能源消耗巨大的问题。本技术所采用的技术方案是,一种一炉次中能够拉制多组硅芯的硅芯炉,包 括连通的上炉室和下炉室,上炉室的上端设置有籽晶抓卸及转盘分度装置,上炉室的上方 ...
【技术保护点】
一种一炉次中能够拉制多组硅芯的硅芯炉,其特征在于: 包括连通的上炉室(4)和下炉室(5),上炉室(4)的上端设置有籽晶抓卸及转盘分度装置(3),上炉室(4)的上方设置有上传动装置(1),下炉室(5)内部设置有高频电极及感应加热组件(7),高频电极及感应加热组件(7)包括高频感应加热器(25)和高频电极组件(24);下炉室(5)与上炉室(4)中设置有贯通上下的导向钢丝(18),导向钢丝(18)上安装有籽晶卡头座(20),籽晶卡头座(20)与籽晶卡头(21)挂接,上传动装置(1)通过软轴(17)与籽晶卡头座(20)连接,籽晶卡头(21)上的籽晶头与高频感应加热器(25)中的硅 ...
【技术特征摘要】
一种一炉次中能够拉制多组硅芯的硅芯炉,其特征在于包括连通的上炉室(4)和下炉室(5),上炉室(4)的上端设置有籽晶抓卸及转盘分度装置(3),上炉室(4)的上方设置有上传动装置(1),下炉室(5)内部设置有高频电极及感应加热组件(7),高频电极及感应加热组件(7)包括高频感应加热器(25)和高频电极组件(24);下炉室(5)与上炉室(4)中设置有贯通上下的导向钢丝(18),导向钢丝(18)上安装有籽晶卡头座(20),籽晶卡头座(20)与籽晶卡头(21)挂接,上传动装置(1)通过软轴(17)与籽晶卡头座(20)连接,籽晶卡头(21)上的籽晶头与高频感应加热器(25)中的硅芯拉制孔(31)一一对应;所述籽晶抓卸及转盘分度装置(3)的结构是,包括设置在上炉室(4)上盖上表面的转盘分度控制装置(19),以及位于上炉室(4)内部的分度转盘(22),转盘分度控制装置(19)和分度转盘(22)同轴固定连接;分度转盘(22)上设有一个硅芯拉制位(26)、两...
【专利技术属性】
技术研发人员:董淑梅,王俊辉,王建春,宋艳玲,原洛渭,王一强,吴斌,李春蕊,贾志华,刘凯,薛武鹏,
申请(专利权)人:西安理工晶体科技有限公司,
类型:实用新型
国别省市:87[中国|西安]
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