一炉次中能够拉制多组硅芯的硅芯炉制造技术

技术编号:4081764 阅读:512 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本实用新型专利技术的一炉次中能够拉制多组硅芯的硅芯炉,包括连通的上炉室和下炉室,上炉室的上端设置有籽晶抓卸及转盘分度装置,上炉室的上方设置有上传动装置,下炉室内部设置有高频电极及感应加热组件,高频电极及感应加热组件包括高频感应加热器和高频电极组件;下炉室与上炉室中设置有贯通上下的导向钢丝,导向钢丝上安装有籽晶卡头座,籽晶卡头座与籽晶卡头挂接,上传动装置通过软轴与籽晶卡头座连接,籽晶卡头上的籽晶头与高频感应加热器中的硅芯拉制孔一一对应。本实用新型专利技术的硅芯炉,能够在一炉次拉制15-18根硅芯,大大提高了硅芯的生产效率,降低了单根硅芯的能耗,降低了多晶硅生产的成本。(*该技术在2020年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术属于光伏产业
,涉及采用改良西门子法生产多晶硅过程中, 还原炉内生长多晶硅的载体-硅芯的装置,具体涉及一种一炉次中能够拉制多组硅芯的硅 芯炉。
技术介绍
随着全球对绿色能源的共识,光伏产业得以迅猛发展,作为光伏产业链条中的上 游产品,多晶硅供不应求,国内外有实力的商业巨头纷纷投入巨资介入多晶硅行业,发展规 模越来越大,硅芯炉是多晶硅生产链条上的一个重要环节,需求也越来越大。目前大量使用的硅芯炉,一次只能拉制一根硅芯,一炉次只能拉制4-6根硅芯,面 对巨量的市场需求,需要投入大量的硅芯炉进行生产,设备占地面积越来越大,人力、物力 及能源消耗巨大,而能源消耗也已成为多晶硅生产厂家的考量指标之一,因此,从提高设备 效率,节能降耗,节约成本方面考虑,很有必要研发性能更为卓越的硅芯设备。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种一炉次中能够拉制多组硅芯的硅芯炉,解决了现有 硅芯炉单炉次产量低,人力、物力及能源消耗巨大的问题。本技术所采用的技术方案是,一种一炉次中能够拉制多组硅芯的硅芯炉,包 括连通的上炉室和下炉室,上炉室的上端设置有籽晶抓卸及转盘分度装置,上炉室的上方 设置有上传动装置,本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种一炉次中能够拉制多组硅芯的硅芯炉,其特征在于:  包括连通的上炉室(4)和下炉室(5),上炉室(4)的上端设置有籽晶抓卸及转盘分度装置(3),上炉室(4)的上方设置有上传动装置(1),下炉室(5)内部设置有高频电极及感应加热组件(7),高频电极及感应加热组件(7)包括高频感应加热器(25)和高频电极组件(24);下炉室(5)与上炉室(4)中设置有贯通上下的导向钢丝(18),导向钢丝(18)上安装有籽晶卡头座(20),籽晶卡头座(20)与籽晶卡头(21)挂接,上传动装置(1)通过软轴(17)与籽晶卡头座(20)连接,籽晶卡头(21)上的籽晶头与高频感应加热器(25)中的硅芯拉制孔(31)一一...

【技术特征摘要】
一种一炉次中能够拉制多组硅芯的硅芯炉,其特征在于包括连通的上炉室(4)和下炉室(5),上炉室(4)的上端设置有籽晶抓卸及转盘分度装置(3),上炉室(4)的上方设置有上传动装置(1),下炉室(5)内部设置有高频电极及感应加热组件(7),高频电极及感应加热组件(7)包括高频感应加热器(25)和高频电极组件(24);下炉室(5)与上炉室(4)中设置有贯通上下的导向钢丝(18),导向钢丝(18)上安装有籽晶卡头座(20),籽晶卡头座(20)与籽晶卡头(21)挂接,上传动装置(1)通过软轴(17)与籽晶卡头座(20)连接,籽晶卡头(21)上的籽晶头与高频感应加热器(25)中的硅芯拉制孔(31)一一对应;所述籽晶抓卸及转盘分度装置(3)的结构是,包括设置在上炉室(4)上盖上表面的转盘分度控制装置(19),以及位于上炉室(4)内部的分度转盘(22),转盘分度控制装置(19)和分度转盘(22)同轴固定连接;分度转盘(22)上设有一个硅芯拉制位(26)、两...

【专利技术属性】
技术研发人员:董淑梅王俊辉王建春宋艳玲原洛渭王一强吴斌李春蕊贾志华刘凯薛武鹏
申请(专利权)人:西安理工晶体科技有限公司
类型:实用新型
国别省市:87[中国|西安]

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