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一炉次中能够拉制多组硅芯的硅芯炉制造技术
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文档序号:4081764
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本实用新型的一炉次中能够拉制多组硅芯的硅芯炉,包括连通的上炉室和下炉室,上炉室的上端设置有籽晶抓卸及转盘分度装置,上炉室的上方设置有上传动装置,下炉室内部设置有高频电极及感应加热组件,高频电极及感应加热组件包括高频感应加热器和高频电极组件;...
该专利属于西安理工晶体科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过西安理工晶体科技有限公司授权不得商用。
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