【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于光伏产业
，涉及采用改良西门子法生产多晶硅过程中，还原 炉内生长多晶硅的载体-硅芯的装置，具体涉及一种一炉次中多次拉制多根硅芯的硅芯 炉。
技术介绍
随着全球对绿色能源的共识，光伏产业得以迅猛发展，作为光伏产业链条中的上 游产品，多晶硅供不应求，国内外有实力的商业巨头纷纷投入巨资介入多晶硅行业，发展规 模越来越大，硅芯炉是多晶硅生产链条上的一个重要环节，需求也越来越大。目前大量使用的硅芯炉，一次只能拉制一根硅芯，一炉次只能拉制4-6根硅芯，面 对巨量的市场需求，需要投入大量的硅芯炉进行生产，设备占地面积越来越大，人力、物力 及能源消耗巨大，而能源消耗也已成为多晶硅生产厂家的考量指标之一，因此，从提高设备 效率，节能降耗，节约成本方面考虑，很有必要研发性能更为卓越的硅芯设备。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种一炉次中多次拉制多根硅芯的硅芯炉，解决了现有硅芯 炉单炉次产量低，人力、物力及能源消耗巨大的问题。本专利技术所采用的技术方案是，一种一炉次中多次拉制多根硅芯的硅芯炉，机架上 安装有下炉室和槽路滑车，槽路滑车上设置有与高频电源相连接的高频...
【技术保护点】
一种一炉次中多次拉制多根硅芯的硅芯炉，其特征在于：机架（１０）上安装有下炉室（５）和槽路滑车（１２），槽路滑车（１２）上设置有与高频电源相连接的高频槽路（１３），下炉室（５）内部设置有充气装置（６）、高频电极及感应加热组件（７）、抽空装置（８），其中的充气装置（６）与供氩气装置连接，高频电极及感应加热组件（７）与高频槽路（１３）连接，高频电极及感应加热组件（７）包括高频感应加热器（２５）和高频电极组件（２４），抽空装置（８）与真空泵（１４）连接；下炉室（５）向上与上炉室（４）连通，下炉室（５）与上炉室（４）中设置有贯通上下的导向钢丝（１８），导向钢丝（１８）上设置有能够上下...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：董淑梅，王俊辉，王建春，宋艳玲，原洛渭，王一强，吴斌，李春蕊，贾志华，刘凯，薛武鹏，
申请(专利权)人：西安理工晶体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：87[中国|西安]
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