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本发明公开的一炉次中多次拉制多根硅芯的硅芯炉，在机架中设有下传动装置和水冷却装置，机架上安装有下炉室和槽路滑车，槽路滑车上设有高频槽路，下炉室内设有充气装置、高频电极及感应加热组件、抽空装置，高频电极及感应加热组件与高频槽路连接；下炉室与上...
该专利属于西安理工晶体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过西安理工晶体科技有限公司授权不得商用。

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