一种单晶热场石墨坩埚取料结构制造技术

技术编号:40733274 阅读:3 留言:0更新日期:2024-03-22 13:13
本技术公开了一种单晶热场石墨坩埚取料结构,包括圆杆,圆杆的两端对称固定连接有挡块,压缩弹簧的另一端固定连接有套块,套块的中心处与圆杆的侧壁间隙配合,套块的下表面固定连接有弯杆,弯杆的另一端固定连接有半圆环,半圆环的内环壁设置有石墨坩埚。整体结构体积相对较小,具有轻量化的特点,易于搬运和操作,这不仅方便了生产操作,更降低了人员操作时造成倒翻的风险,可以使单晶制备和其他高温热处理工艺的操作更加稳定和高效,从而提高了工作效率,不仅可以有效地解决可能出现的倒翻问题,同时也能保证单晶炉等生产设备的正常稳定运行,提高设备的使用寿命和工作效率。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及,具体领域为一种单晶热场石墨坩埚取料结构


技术介绍

1、通过单晶炉的使用,将多晶硅硅料置于坩埚中经加热熔化,待温度合适后,经过将籽晶浸入、熔接、引晶、放肩、转肩等径、收尾等步骤,完成一根单晶硅锭的拉制,拉晶过程中可直接控制的参数有温度场、籽晶的晶向、坩埚和生长成的单晶的旋转及提升速率。

2、单晶炉内的石墨坩埚取料时,如果不操作得当,倒翻的情况是有可能发生的,在石墨坩埚倒翻的过程中,容易发生熔融材料泼洒的情况,这不仅会对设备造成损坏,还会引起化学反应和安全隐患,倒翻后需要进行清理和维修处理,这样就会影响工作效率,导致生产停工,增加了设备维护的成本和时间,还可能烧伤或烫伤人员,尽可能减少石墨坩埚倒翻的可能性,并采取必要的安全防护措施,以确保生产的安全和正常进行,因此我们提出一种单晶热场石墨坩埚取料结构。


技术实现思路

1、本技术的目的在于提供一种单晶热场石墨坩埚取料结构,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。

2、为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种单晶热场石墨坩埚取料结构,包括圆杆,所述圆杆的两端对称固定连接有挡块,所述挡块的侧壁固定连接有压缩弹簧,所述压缩弹簧的内侧壁与所述圆杆的外壁间隙配合,所述压缩弹簧的另一端固定连接有套块,所述套块的中心处与所述圆杆的侧壁间隙配合,所述套块的下表面固定连接有弯杆,所述弯杆的另一端固定连接有半圆环,所述半圆环的内环壁设置有石墨坩埚。

3、优选的,所述圆杆的中心处下表面固定连接有底块,所述底块的侧壁对称固定连接有拉伸弹簧,所述拉伸弹簧的另一端与所述弯杆的侧壁固定连接。

4、优选的,所述底块的下表面固定连接有底杆,所述底杆的另一端固定连接有圆板,所述圆板的侧壁与所述石墨坩埚的内腔间隙配合。

5、优选的,所述套块的侧壁固定连接有转轴,所述转轴的外壁安装有滚珠,所述滚珠的侧壁与所述圆杆的侧壁相贴合。

6、优选的,所述弯杆的外壁固定连接有把手。

7、与现有技术相比,本技术的有益效果是:在拉晶工作完成内部冷却后,向外拉动弯杆,弯杆带动套块进行滑动,使压缩弹簧进行压缩,扩大两侧半圆环的间距,然后将半圆环套接在石墨坩埚的外壁,然后缓慢松开使压缩弹簧复位,使两侧半圆环扣合,可以与石墨坩埚的边角处扣合,同时保持固定避免石墨坩埚脱落,然后可以进行移动石墨坩埚,可以大大减少坩埚倒翻的风险,整体结构体积相对较小,具有轻量化的特点,易于搬运和操作,这不仅方便了生产操作,更降低了人员操作时造成倒翻的风险,可以使单晶制备和其他高温热处理工艺的操作更加稳定和高效,从而提高了工作效率,不仅可以有效地解决可能出现的倒翻问题,同时也能保证单晶炉等生产设备的正常稳定运行,提高设备的使用寿命和工作效率。

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【技术保护点】

1.一种单晶热场石墨坩埚取料结构,其特征在于:包括圆杆(1),所述圆杆(1)的两端对称固定连接有挡块(2),所述挡块(2)的侧壁固定连接有压缩弹簧(3),所述压缩弹簧(3)的内侧壁与所述圆杆(1)的外壁间隙配合,所述压缩弹簧(3)的另一端固定连接有套块(4),所述套块(4)的中心处与所述圆杆(1)的侧壁间隙配合,所述套块(4)的下表面固定连接有弯杆(5),所述弯杆(5)的另一端固定连接有半圆环(6),所述半圆环(6)的内环壁设置有石墨坩埚(7)。

2.根据权利要求1所述的一种单晶热场石墨坩埚取料结构,其特征在于:所述圆杆(1)的中心处下表面固定连接有底块(8),所述底块(8)的侧壁对称固定连接有拉伸弹簧(9),所述拉伸弹簧(9)的另一端与所述弯杆(5)的侧壁固定连接。

3.根据权利要求2所述的一种单晶热场石墨坩埚取料结构,其特征在于:所述底块(8)的下表面固定连接有底杆(10),所述底杆(10)的另一端固定连接有圆板(11),所述圆板(11)的侧壁与所述石墨坩埚(7)的内腔间隙配合。

4.根据权利要求1所述的一种单晶热场石墨坩埚取料结构,其特征在于:所述套块(4)的侧壁固定连接有转轴(12),所述转轴(12)的外壁安装有滚珠(13),所述滚珠(13)的侧壁与所述圆杆(1)的侧壁相贴合。

5.根据权利要求1所述的一种单晶热场石墨坩埚取料结构,其特征在于:所述弯杆(5)的外壁固定连接有把手(14)。

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【技术特征摘要】

1.一种单晶热场石墨坩埚取料结构,其特征在于:包括圆杆(1),所述圆杆(1)的两端对称固定连接有挡块(2),所述挡块(2)的侧壁固定连接有压缩弹簧(3),所述压缩弹簧(3)的内侧壁与所述圆杆(1)的外壁间隙配合,所述压缩弹簧(3)的另一端固定连接有套块(4),所述套块(4)的中心处与所述圆杆(1)的侧壁间隙配合,所述套块(4)的下表面固定连接有弯杆(5),所述弯杆(5)的另一端固定连接有半圆环(6),所述半圆环(6)的内环壁设置有石墨坩埚(7)。

2.根据权利要求1所述的一种单晶热场石墨坩埚取料结构,其特征在于:所述圆杆(1)的中心处下表面固定连接有底块(8),所述底块(8)的侧壁对称固定连接有拉伸弹簧(9),所...

【专利技术属性】
技术研发人员:张晓卉
申请(专利权)人:沈阳科斯莫科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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