一种导流式石墨导流筒制造技术

本实用新型专利技术公开了一种导流式石墨导流筒，涉及导流筒技术领域，包括外筒，所述外筒的内部设有内筒，所述外筒的上壁外沿处设有连接沿，所述外筒的上壁且在所述连接沿的内侧设有固定外沿，所述内筒的上壁外侧端设有固定内沿，所述固定内沿的外侧表面抵在所述固定外沿的内侧表面上，所述外筒的下壁内侧设有限位沿，所述内筒的下端设有限位圈，所述限位圈的外侧表面抵在所述限位沿的内侧表面上，所述外筒与所述内筒之间设有石墨毡填充层，所述外筒的外表面设有导流层，保证整体导流筒的保温能力，即使石墨本体长时间在高温环境下使用，导流筒本身温度升高，依然保持导流筒导热引流效果，有效的控制导流筒外部的高温氩气流向。有效的控制导流筒外部的高温氩气流向。有效的控制导流筒外部的高温氩气流向。

【技术实现步骤摘要】
一种导流式石墨导流筒


[0001]本技术涉及导流筒
，具体涉及一种导流式石墨导流筒。

技术介绍

[0002]导流筒作为单晶炉中重要的组成部分，对晶体的生长有很大的影响，其在单晶炉中的主要作用是控制氩气的流向来降低晶棒的温度。导流筒一般用高纯的石墨材料制成的，由于半导体级硅单晶体是在高温的条件下缓慢生长而成的，需要较大的温度梯度控制形成冷心实现晶体的快速生长，同时需要高纯炉内环境以实现半导体级单晶体的稳定生长，现有的导流筒都是单层的石墨结构，由于石墨本体长时间在高温环境下使用，使得导流筒本身温度升高，会使导流筒导热引流效果降低，因此需要有效的控制导流筒外部的高温氩气的流向。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种导流式石墨导流筒，以解决上述
技术介绍
中提出的现有的导流筒都是单层的石墨结构，由于石墨本体长时间在高温环境下使用，使得导流筒本身温度升高，会使导流筒导热引流效果降低，因此需要有效的控制导流筒外部的高温氩气流向的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种导流式石墨导流筒，包括外筒，所述外筒的内部设有内筒，所述外筒的上壁外沿处设有连接沿，所述外筒的上壁且在所述连接沿的内侧设有固定外沿，所述内筒的上壁外侧端设有固定内沿，所述固定内沿的外侧表面抵在所述固定外沿的内侧表面上，所述外筒的下壁内侧设有限位沿，所述内筒的下端设有限位圈，所述限位圈的外侧表面抵在所述限位沿的内侧表面上，所述外筒与所述内筒之间设有石墨毡填充层，所述外筒的外表面设有导流层。
[0005]优选的，所述固定外沿与所述固定内沿上设有固定圈，所述固定外沿及所述固定内沿与所述固定圈拼插连接，所述外筒的上端及所述内筒的上端通过所述固定圈固定连接。
[0006]优选的，所述导流层上开设有导流槽，所述导流槽的下端厚度小于所述导流槽的上端厚度，所述导流槽的下端宽度大于所述导流槽的上端宽度。
[0007]优选的，所述限位圈与所述限位沿拼插连接，所述外筒的下端及所述内筒的下端通过所述限位圈及所述限位沿拼插连接。
[0008]优选的，所述内筒及所述固定圈的中间位置上下贯穿设有拉晶通道。
[0009]与现有技术相比，本技术的有益效果是：代替现有的单层石墨结构的导流筒，将导流筒设计为外筒及内筒拼插连接的结构，并在外筒与内筒之间设置石墨毡填充层，保证整体导流筒的保温能力，即使石墨本体长时间在高温环境下使用，导流筒本身温度升高，依然保持导流筒导热引流效果，有效的控制导流筒外部的高温氩气流向。
附图说明
[0010]图1为本技术的主体结构轴测剖视图；
[0011]图2为本技术的主体结构轴测图；
[0012]图3为本技术的主体结构主视剖视图；
[0013]图4为本技术的主体结构主视示意图。
[0014]图中：1
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外筒、2
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内筒、3
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连接沿、4
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固定外沿、5
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固定内沿、6
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限位沿、7
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限位圈、8
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石墨毡填充层、9
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导流层、10
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固定圈、11
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导流槽、12
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拉晶通道。
具体实施方式
[0015]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0016]请参阅图1
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4，本技术提供一种导流式石墨导流筒，包括外筒1，所述外筒1的内部设有内筒2，所述外筒1的上壁外沿处设有连接沿3，所述外筒1的上壁且在所述连接沿3的内侧设有固定外沿4，所述内筒2的上壁外侧端设有固定内沿5，所述固定内沿5的外侧表面抵在所述固定外沿4的内侧表面上，所述外筒1的下壁内侧设有限位沿6，所述内筒2的下端设有限位圈7，所述限位圈7的外侧表面抵在所述限位沿6的内侧表面上，所述外筒1与所述内筒2之间设有石墨毡填充层8，所述外筒1的外表面设有导流层9。
[0017]使用时，将石墨毡填充层8设置在外筒1的内表面上，随后将内筒2拼插到外筒1的内部，保证限位圈7拼插到限位沿6的内部，通过限位圈7与限位沿6的拼插连接，使得外筒1与内筒2的下端拼插连接，将内筒2整体拼插到外筒1的内部，固定内沿5抵在固定外沿4的内部，对内筒2与外筒1的上端进行固定，通过连接沿3将整体导流筒设置在单晶炉的内部，通过导流层9对拉晶过程中的高温氩气流向进行导流。
[0018]所述固定外沿4与所述固定内沿5上设有固定圈10，所述固定外沿4及所述固定内沿5与所述固定圈10拼插连接，所述外筒1的上端及所述内筒2的上端通过所述固定圈10固定连接，在固定内沿4及固定外沿5上拼插连接固定圈10，通过固定圈10将固定内沿4及固定外沿5固定在一起，并使得内筒2的上端及外筒1的上端固定在一起。
[0019]所述导流层9上开设有导流槽11，所述导流槽11的下端厚度小于所述导流槽11的上端厚度，所述导流槽11的下端宽度大于所述导流槽11的上端宽度，通过在导流层9上开设导流槽11对氩气进行导向，通过导流槽11的下端厚度小于导流槽11的上端厚度及导流槽11的下端宽度大于导流槽11的上端宽度的设计，对高温氩气进行收集导流。
[0020]所述限位圈7与所述限位沿6拼插连接，所述外筒1的下端及所述内筒2的下端通过所述限位圈7及所述限位沿6拼插连接，通过限位圈7与限位沿6的拼插连接，对外筒1及内筒2的下端进行固定。
[0021]所述内筒2及所述固定圈10的中间位置上下贯穿设有拉晶通道12，通过在内筒2及固定圈1的中间位置贯穿设置拉晶通道12，保证拉晶过程的顺畅。
[0022]尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修
改、替换和变型，本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种导流式石墨导流筒，其特征在于：包括外筒(1)，所述外筒(1)的内部设有内筒(2)，所述外筒(1)的上壁外沿处设有连接沿(3)，所述外筒(1)的上壁且在所述连接沿(3)的内侧设有固定外沿(4)，所述内筒(2)的上壁外侧端设有固定内沿(5)，所述固定内沿(5)的外侧表面抵在所述固定外沿(4)的内侧表面上，所述外筒(1)的下壁内侧设有限位沿(6)，所述内筒(2)的下端设有限位圈(7)，所述限位圈(7)的外侧表面抵在所述限位沿(6)的内侧表面上，所述外筒(1)与所述内筒(2)之间设有石墨毡填充层(8)，所述外筒(1)的外表面设有导流层(9)。2.根据权利要求1所述的一种导流式石墨导流筒，其特征在于：所述固定外沿(4)与所述固定内沿(5)上设有固定圈(10)，所述固定外沿(4)...

【专利技术属性】
技术研发人员：张晓卉，钟兴，
申请(专利权)人：沈阳科斯莫科技有限公司，
类型：新型
国别省市：