一种真空腔体室复位升降结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种真空腔体室复位升降结构，涉及升降装置技术领域，包括上壳体，所述上壳体的下端设有下壳体，所述上壳体的上壁中间位置贯穿设有设备通道，所述下壳体的内部上表面左右两端均设有线性执行器，所述下壳体的下端与所述线性执行器对应的位置设有密封座，所述密封座的下端设有电机罩，所述密封座与所述电机罩之间且在所述电机罩的内部设有动力电机，所述动力电机的动力输出端通过联轴器与所述线性执行器的动力输入端连接，两个所述线性执行器的动力输出端之间设有载板，提升整体真空腔体密封性能，通过在下壳体上设置电机罩，将动力电机设置在电机罩内部，减少动力电机侵占真空腔体内部空间。电机侵占真空腔体内部空间。电机侵占真空腔体内部空间。

【技术实现步骤摘要】
一种真空腔体室复位升降结构


[0001]本技术涉及升降装置
，具体涉及一种真空腔体室复位升降结构。

技术介绍

[0002]碳化硅，是一种无机物，化学式为SiC，是用石英砂、石油焦(或煤焦)、木屑(生产绿色碳化硅时需要加食盐)等原料通过电阻炉高温冶炼而成。单晶炉是碳化硅单晶制备过程中重要的设备，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备。单晶炉具有腔室温度高、真空度高的特点，因而真空腔室内部在工作时保证密封性是至关重要的。现有的单晶炉利用升降机构对真空腔室内部的载板进行升降操作时存在密封性能不足的问题；也有将升降机构直接置于腔室内部以提高密封性，但升降机构置于腔室内部会占用大量腔室空间。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种真空腔体室复位升降结构，以解决上述
技术介绍
中提出的现有的单晶炉利用升降机构对真空腔室内部的载板进行升降操作时存在密封性能不足的问题；也有将升降机构直接置于腔室内部以提高密封性，但升降机构置于腔室内部会占用大量腔室空间的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种真空腔体室复位升降结构，包括上壳体，所述上壳体的下端设有下壳体，所述上壳体的上壁中间位置贯穿设有设备通道，所述下壳体的内部上表面左右两端均设有线性执行器，所述下壳体的下端与所述线性执行器对应的位置设有密封座，所述密封座的下端设有电机罩，所述密封座与所述电机罩之间且在所述电机罩的内部设有动力电机，所述动力电机的动力输出端通过联轴器与所述线性执行器的动力输入端连接，两个所述线性执行器的动力输出端之间设有载板。
[0005]优选的，所述上壳体的下端及所述下壳体的上端均设有连接法兰，所述上壳体及所述下壳体通过所述连接法兰之间贯穿螺栓固定连接，所述上壳体的上表面且在所述设备通道的外沿处设有连接座，所述下壳体的下表面外沿处设有连接沿。
[0006]优选的，所述动力电机通过螺栓与所述密封座固定连接，所述电机罩通过螺栓与所述密封座固定连接，所述线性执行器的下端设有底座，所述线性执行器通过螺栓贯穿所述底座与所述下壳体固定连接。
[0007]优选的，两个所述电机罩相靠近的一侧贯穿设有密封端头，所述动力电机上电连接的线缆贯穿所述密封端头伸出到所述电机罩的外部。
[0008]优选的，所述载板的下表面中间位置设有加强筋，所述加强筋呈十字型设置在所述载板的下表面上。
[0009]与现有技术相比，本技术的有益效果是：代替现有的单晶炉利用升降机构，对真空腔室内部的载板进行升降操作时，提升整体真空腔体密封性能；将升降机构直接置于腔室内部以提高密封性，通过在下壳体上设置电机罩，将动力电机设置在电机罩内部，减少
动力电机侵占真空腔体内部空间，保证腔室内部载板工作腔室空间。
附图说明
[0010]图1为本技术的主体结构轴测剖视图；
[0011]图2为本技术的主体结构轴测图；
[0012]图3为本技术的主体结构主视剖视图；
[0013]图4为本技术的主体结构主视示意图；
[0014]图5为本技术的主体结构左视剖视图。
[0015]图中：1
‑
上壳体、2
‑
下壳体、3
‑
设备通道、4
‑
线性执行器、5
‑
密封座、6
‑
电机罩、7
‑
动力电机、8
‑
载板、9
‑
连接法兰、10
‑
连接座、11
‑
连接沿、12
‑
底座、13
‑
密封端头、14
‑
加强筋。
具体实施方式
[0016]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0017]请参阅图1
‑
5，本技术提供一种真空腔体室复位升降结构，包括上壳体1，所述上壳体1的下端设有下壳体2，所述上壳体1的上壁中间位置贯穿设有设备通道3，所述下壳体2的内部上表面左右两端均设有线性执行器4，所述下壳体2的下端与所述线性执行器4对应的位置设有密封座5，所述密封座5的下端设有电机罩6，所述密封座5与所述电机罩6之间且在所述电机罩6的内部设有动力电机7，所述动力电机7的动力输出端通过联轴器与所述线性执行器4的动力输入端连接，两个所述线性执行器4的动力输出端之间设有载板8。
[0018]使用时，通过螺栓将动力电机7固定设置在密封座5上，并通过螺栓将电机罩6固定设置在密封座5上，保证电机罩6与密封座5之间的密封性，通过螺栓将线性执行器4固定设置在下壳体2上与动力电机7对应的位置，保证动力电机7通过联轴器与线性执行器4连接，将动力电机7的动力转化成线性执行器4带动载板8的上下移动，通过螺栓将上壳体1与下壳体2密封连接，并在上壳体1上设置设备通道3，通过设备通道3将整体真空腔与外部设备连通连接。
[0019]所述上壳体1的下端及所述下壳体2的上端均设有连接法兰9，所述上壳体1及所述下壳体2通过所述连接法兰9之间贯穿螺栓固定连接，所述上壳体1的上表面且在所述设备通道3的外沿处设有连接座10，所述下壳体2的下表面外沿处设有连接沿11，通过在上壳体1与下壳体2上设置连接法兰9，通过连接法兰9保证上壳体1与下壳体2之间的连接密闭性，通过在上壳体1上与设备通道3对应的位置设置连接座10，通过连接座10与外部设备密封连接，保证整体结构与外部设备之间的连接密闭性，通过在下壳体2下端设置连接沿11，通过连接沿11将下壳体2与外部支撑结构固定连接，通过固定结构对整体设备进行支撑。
[0020]所述动力电机7通过螺栓与所述密封座5固定连接，所述电机罩6通过螺栓与所述密封座5固定连接，所述线性执行器4的下端设有底座12，所述线性执行器4通过螺栓贯穿所述底座12与所述下壳体2固定连接，通过螺栓将动力电机7及电机罩6设置在密封座5上，保证电机罩6与密封座5的连接密封性，通过在线性执行器4下端设置底座12，通过螺栓贯穿底
座12，将线性执行器4固定设置在下壳体2的上表面上。
[0021]两个所述电机罩6相靠近的一侧贯穿设有密封端头13，所述动力电机7上电连接的线缆贯穿所述密封端头13伸出到所述电机罩6的外部，通过在电机罩6上设置密封端头13，将电力电机7的线缆通过密封端头13伸出到电机罩6的外部，保证电力电机7电力供应的同时，保证电机罩6的密封性。
[0022]所述载板8的下表面中间位置设有加强筋14，所述加强筋14呈十字型设置在所述载板8的下表面上，通过在载板8的下表面设置十字型加强筋14，保证载板8的整体强度，避免受重力本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空腔体室复位升降结构，其特征在于：包括上壳体(1)，所述上壳体(1)的下端设有下壳体(2)，所述上壳体(1)的上壁中间位置贯穿设有设备通道(3)，所述下壳体(2)的内部上表面左右两端均设有线性执行器(4)，所述下壳体(2)的下端与所述线性执行器(4)对应的位置设有密封座(5)，所述密封座(5)的下端设有电机罩(6)，所述密封座(5)与所述电机罩(6)之间且在所述电机罩(6)的内部设有动力电机(7)，所述动力电机(7)的动力输出端通过联轴器与所述线性执行器(4)的动力输入端连接，两个所述线性执行器(4)的动力输出端之间设有载板(8)。2.根据权利要求1所述的一种真空腔体室复位升降结构，其特征在于：所述上壳体(1)的下端及所述下壳体(2)的上端均设有连接法兰(9)，所述上壳体(1)及所述下壳体(2)通过所述连接法兰(9)之间贯穿螺栓固定连接，所述上壳体(1)的上表面...

【专利技术属性】
技术研发人员：张晓卉，王国斌，
申请(专利权)人：沈阳科斯莫科技有限公司，
类型：新型
国别省市：