【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于信号隔离器件制造
,涉及一种。
技术介绍
电流传感器用于探测或隔离直流、交流电流,广泛应用于工业仪表、工业过程控制 和PCB电流检查等。目前广泛采用的电流测试器件或装置主要有电流互感器、霍尔电流传 感器等。电流互感器通过主回路隔离进行检测,但它的测试频率范围窄。霍尔电流传感器 利用霍尔元件测量被测电流在铁芯气隙里的感应强度来判断被测电流大小的。霍尔元件 的体积大,能耗较高,温度特性较差。上个世纪八十年代末期,科学界发现了巨磁阻(Giant Magneto-Resistive,GMR)效应,即磁性材料的电阻率在有外磁场作用时较之无外磁场作用 时存在巨大变化的现象。它产生于层状的磁性薄膜结构,这种结构是由铁磁材料和非铁磁 材料薄层交替叠合而成。铁磁材料磁矩的方向是由加到铁磁材料的外磁场控制的,磁阻的 变化正比于外磁场,从而可以实现将磁场变量转换成电量,因此,根据巨磁阻效应可以设计 一种新型巨磁阻集成电流传感器。
技术实现思路
本专利技术针对现有技术的不足,提供了一种。步骤(1)在生长有SiO2绝缘层的Si衬底上采用磁控溅射方法沉积多层膜;所述 的多 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
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