【技术实现步骤摘要】
本公开涉及等离子体处理装置，特别是涉及电感耦合型等离子体处理装置与线圈组件。
技术介绍
1、传统技术中，电感耦合型等离子体处理装置包括：天线，其通过向腔室内供给高频从而在腔室内生成处理气体的等离子体；以及电力供给部，其向天线供给高频电力。天线具有外侧线圈和与该外侧线圈电感耦合的内侧线圈。无论外侧线圈或者内侧线圈等线圈组件，在其外围区域设置有耐久绝缘材料密封。在使用过程中，电力供给部长期给外侧线圈、内侧线圈提供高频高压电力，高频高压电力容易造成耐久绝缘材料损坏与灼烧的不良现象，安全性较低。
技术实现思路
1、基于此，有必要克服现有技术的缺陷，提供一种电感耦合型等离子体处理装置与线圈组件，它不容易出现损坏，且能避免出现灼烧的不良现象，安全性较高。
2、其技术方案如下：一种线圈组件，所述线圈组件包括：
3、第一导电线圈与第二导电线圈；
4、转接端，所述转接端用于连接所述第一导电线圈和所述第二导电线圈；
5、输入端子，所述输入端子与所述第一导电线圈电性连接；
6、输出端子，所述输出端子与所述第二导电线圈电性连接；
7、端子固定架，所述端子固定架装设于反应腔室的顶部上，用于固定并隔离所述输入端子、所述输出端子以及所述转接端，所述端子固定架的材料为聚四氟乙烯。
8、在其中一个实施例中，所述端子固定架为中空结构。
9、在其中一个实施例中，所述端子固定架上设有相对的第一安装面与第二安装面，所述输入端子与
10、在其中一个实施例中，所述输入端子包括第一安装部，所述第一安装部贴合于所述第一安装面；所述输出端子包括第二安装部，所述第二安装部贴合于所述第二安装面。
11、在其中一个实施例中，所述第一安装面与所述第二安装面的间距为s，间距s为6mm-16mm。
12、在其中一个实施例中，所述输入端子还包括与第一安装部相连的第一连接部，所述第一连接部与所述第一安装部呈夹角设置；所述输出端子包括与第二安装部相连的第二连接部，所述第二连接部与所述第二安装部呈夹角设置。
13、在其中一个实施例中，所述输入端子通过第一位置调节件与所述第一安装面相连，所述第一位置调节件用于调节所述输入端子与所述第一安装面的间距；和/或，所述输出端子通过第二位置调节件与所述第二安装面相连，所述第二位置调节件用于调节所述输出端子与所述第二安装面的间距。
14、在其中一个实施例中，所述第一位置调节件为第一螺钉，所述第一安装面上设有与所述第一螺钉相适应的第一螺纹孔，所述第一螺钉与所述输入端子转动相连，并装入到所述第一螺纹孔中；所述第二位置调节件为第二螺钉，所述第二安装面上设有与所述第二螺钉相适应的第二螺纹孔，所述第二螺钉与所述输出端子转动相连，并装入到所述第二螺纹孔中。
15、在其中一个实施例中，所述端子固定架包括用于装设于反应腔室顶部上的基座以及与所述基座相连的支撑块；所述第一安装面与所述第二安装面分别位于所述支撑块的两个相对表面上；所述基座设有贯穿其相对两端的第一镂空口；所述第一导电线圈与所述第二导电线圈均穿设于所述第一镂空口中。
16、在其中一个实施例中，所述基座还设有贯穿其相对两个侧部的第二镂空口，所述第二镂空口与所述第一镂空口相连通，所述第一导电线圈通过所述第二镂空口外露的部位与所述输入端子电性连接，所述第二导电线圈通过所述第二镂空口外露的部位与所述输出端子电性连接。
17、在其中一个实施例中，所述支撑块上设有由其顶面延伸到底面的第三镂空口，所述第三镂空口与所述第一镂空口相连通。
18、在其中一个实施例中，所述第一安装面上设有间隔设置的第一定位凸部与第一导向块；所述第一定位凸部与所述第一导向块的最小间距与所述输入端子的宽度相同，所述第一导向块设有与所述第一安装面呈夹角设置的第一导向斜面。
19、在其中一个实施例中，所述第二安装面上设有间隔设置的第二定位凸部与第二导向块；所述第二定位凸部与所述第二导向块的最小间距与所述输出端子的宽度相同，所述第二导向块设有与所述第二安装面呈夹角设置的第二导向斜面。
20、在其中一个实施例中，所述基座包括底板、与所述底板间隔设置的支撑板以及连接于所述底板与所述支撑板之间的至少一个支撑柱；所述支撑块与所述支撑板相连；所述底板与所述支撑板围合形成所述第一镂空口。
21、在其中一个实施例中，所述第一导电线圈的围成的圆的直径不同于所述第二导电线圈，并相互套设配合。
22、一种电感耦合型等离子体处理装置，所述电感耦合型等离子体处理装置包括所述的线圈组件，还包括反应腔室，所述线圈组件装设于所述反应腔室的顶部。
23、在其中一个实施例中，还包括射频源，所述第一导电线圈通过所述输入端子与所述射频源连接，所述第二导电线圈通过所述输出端子与所述射频源连接。
24、上述的电感耦合型等离子体处理装置与线圈组件，相当于传统技术中在端子外部包裹耐久绝缘材料的方式，本公开通过将输入端子与输出端子分别连接于端子固定架上，并使得输入端子与输出端子间隔设置，以及端子固定架采用聚四氟乙烯材料制作，聚四氟乙烯材料耐高低温，绝缘性能好，抗老化不易腐蚀，不燃性，从而能提高该区域因高电压引起的高温造成线圈组件在该区域的灼烧损坏；同时能避免输入端子与输出端子间隔尺寸过小，而导致放电击穿线圈组件与反应腔室的顶部部位，以及能避免造成机台部件损坏，进而能降低机台停机时间，提高机台稳定性，提高机台产能，降低火灾发生，提高成本；另外，能避免如传统技术中采取耐久绝缘材料(duraseal)导致不便于散热与灼烧损坏现象，端子固定架能更加利于其上安装的线圈端子向外散热；此外，线圈端子能快速稳固地装设于端子固定架上，从而能降低因线圈组件发生损坏而造成机台产品报废的概率。
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1.一种线圈组件，其特征在于，所述线圈组件包括：
2.根据权利要求1所述的线圈组件，其特征在于，所述端子固定架为中空结构。
3.根据权利要求1所述的线圈组件，其特征在于，所述端子固定架上设有相对的第一安装面与第二安装面，所述输入端子与所述第一安装面接触，所述输出端子与所述第二安装面接触。
4.根据权利要求3所述的线圈组件，其特征在于，所述输入端子包括第一安装部，所述第一安装部贴合于所述第一安装面；所述输出端子包括第二安装部，所述第二安装部贴合于所述第二安装面。
5.根据权利要求4所述的线圈组件，其特征在于，所述第一安装面与所述第二安装面的间距为S，间距S为6mm-16mm。
6.根据权利要求4所述的线圈组件，其特征在于，所述输入端子还包括与第一安装部相连的第一连接部，所述第一连接部与所述第一安装部呈夹角设置；所述输出端子包括与第二安装部相连的第二连接部，所述第二连接部与所述第二安装部呈夹角设置。
7.根据权利要求3所述的线圈组件，其特征在于，所述输入端子通过第一位置调节件与所述第一安装面相连，所述第一位置调节
8.根据权利要求7所述的线圈组件，其特征在于，所述第一位置调节件为第一螺钉，所述第一安装面上设有与所述第一螺钉相适应的第一螺纹孔，所述第一螺钉与所述输入端子转动相连，并装入到所述第一螺纹孔中；所述第二位置调节件为第二螺钉，所述第二安装面上设有与所述第二螺钉相适应的第二螺纹孔，所述第二螺钉与所述输出端子转动相连，并装入到所述第二螺纹孔中。
9.根据权利要求3所述的线圈组件，其特征在于，所述端子固定架包括用于装设于反应腔室顶部上的基座以及与所述基座相连的支撑块；所述第一安装面与所述第二安装面分别位于所述支撑块的两个相对表面上；所述基座设有贯穿其相对两端的第一镂空口；所述第一导电线圈与所述第二导电线圈均穿设于所述第一镂空口中。
10.根据权利要求9所述的线圈组件，其特征在于，所述基座还设有贯穿其相对两个侧部的第二镂空口，所述第二镂空口与所述第一镂空口相连通，所述第一导电线圈通过所述第二镂空口外露的部位与所述输入端子电性连接，所述第二导电线圈通过所述第二镂空口外露的部位与所述输出端子电性连接。
11.根据权利要求10所述的线圈组件，其特征在于，所述支撑块上设有由其顶面延伸到底面的第三镂空口，所述第三镂空口与所述第一镂空口相连通。
12.根据权利要求9所述的线圈组件，其特征在于，所述第一安装面上设有间隔设置的第一定位凸部与第一导向块；所述第一定位凸部与所述第一导向块的最小间距与所述输入端子的宽度相同，所述第一导向块设有与所述第一安装面呈夹角设置的第一导向斜面。
13.根据权利要求9所述的线圈组件，其特征在于，所述第二安装面上设有间隔设置的第二定位凸部与第二导向块；所述第二定位凸部与所述第二导向块的最小间距与所述输出端子的宽度相同，所述第二导向块设有与所述第二安装面呈夹角设置的第二导向斜面。
14.根据权利要求9所述的线圈组件，其特征在于，所述基座包括底板、与所述底板间隔设置的支撑板以及连接于所述底板与所述支撑板之间的至少一个支撑柱；所述支撑块与所述支撑板相连；所述底板与所述支撑板围合形成所述第一镂空口。
15.根据权利要求1所述的线圈组件，其特征在于，所述第一导电线圈的围成的圆的直径不同于所述第二导电线圈，并相互套设配合。
16.一种电感耦合型等离子体处理装置，其特征在于，所述电感耦合型等离子体处理装置包括如权利要求1至15任意一项所述的线圈组件，还包括反应腔室，所述线圈组件装设于所述反应腔室的顶部。
17.根据权利要求16所述的电感耦合型等离子体处理装置，其特征在于，还包括射频源，所述第一导电线圈通过所述输入端子与所述射频源连接，所述第二导电线圈通过所述输出端子与所述射频源连接。
...【技术特征摘要】
1.一种线圈组件，其特征在于，所述线圈组件包括：
2.根据权利要求1所述的线圈组件，其特征在于，所述端子固定架为中空结构。
3.根据权利要求1所述的线圈组件，其特征在于，所述端子固定架上设有相对的第一安装面与第二安装面，所述输入端子与所述第一安装面接触，所述输出端子与所述第二安装面接触。
4.根据权利要求3所述的线圈组件，其特征在于，所述输入端子包括第一安装部，所述第一安装部贴合于所述第一安装面；所述输出端子包括第二安装部，所述第二安装部贴合于所述第二安装面。
5.根据权利要求4所述的线圈组件，其特征在于，所述第一安装面与所述第二安装面的间距为s，间距s为6mm-16mm。
6.根据权利要求4所述的线圈组件，其特征在于，所述输入端子还包括与第一安装部相连的第一连接部，所述第一连接部与所述第一安装部呈夹角设置；所述输出端子包括与第二安装部相连的第二连接部，所述第二连接部与所述第二安装部呈夹角设置。
7.根据权利要求3所述的线圈组件，其特征在于，所述输入端子通过第一位置调节件与所述第一安装面相连，所述第一位置调节件用于调节所述输入端子与所述第一安装面的间距；和/或，所述输出端子通过第二位置调节件与所述第二安装面相连，所述第二位置调节件用于调节所述输出端子与所述第二安装面的间距。
8.根据权利要求7所述的线圈组件，其特征在于，所述第一位置调节件为第一螺钉，所述第一安装面上设有与所述第一螺钉相适应的第一螺纹孔，所述第一螺钉与所述输入端子转动相连，并装入到所述第一螺纹孔中；所述第二位置调节件为第二螺钉，所述第二安装面上设有与所述第二螺钉相适应的第二螺纹孔，所述第二螺钉与所述输出端子转动相连，并装入到所述第二螺纹孔中。
9.根据权利要求3所述的线圈组件，其特征在于，所述端子固定架包括用于装设于反应腔室顶部上的基座以及与所述基座相连的支撑块；所述第一安装面与所述第二安装面分别位于所述支撑块的两个相对表面上；所述基座设有贯穿其相对两端的第一...
【专利技术属性】
技术研发人员：金江奕，
申请(专利权)人：长鑫存储技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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