System.ArgumentOutOfRangeException: 索引和长度必须引用该字符串内的位置。 参数名: length 在 System.String.Substring(Int32 startIndex, Int32 length) 在 zhuanliShow.Bind() 一种磁控溅射制备锂负极合金SEI膜的方法技术_技高网

一种磁控溅射制备锂负极合金SEI膜的方法技术

技术编号:40540104 阅读:3 留言:0更新日期:2024-03-05 18:55
本发明专利技术公开了一种磁控溅射制备锂负极合金SEI膜的方法,包括以下步骤:S1、将锂硼合金带裁剪成圆形薄片;S2、将裁好的锂硼合金圆形薄片放在磁控溅射载物台,并抽至真空,然后以一定的气体流速通入氩气,并当内部压强调至一定值后,在一定的工作功率下,通过氩气刻蚀并清理圆片表面;S3、利用氧化锌为靶材,以一定的氩气流速和工作功率,向锂硼合金圆形薄片表面进行磁控溅射,最终得到锂锌合金膜覆盖的锂硼合金。本发明专利技术通过调控磁控溅射的处理时间,在锂硼合金负极界面,形成均匀致密且具有亲锂性的LiZn合金层,从而引导Li<supgt;+</supgt;快速、均匀的扩散,实现可抑制锂枝晶无序生长的效果,达到提高锂硼合金负极的循环稳定性及循环寿命的效果。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于锂金属负极材料制备,尤其涉及一种磁控溅射制备锂负极合金sei膜的方法。


技术介绍

1、随着现代电子设备的兴起,对高能量密度储能装置的需求日益迫切。锂金属具有突出的高理论比容量(3860mahg-1)和较低的氧化还原电位(-3.04vvs.标准氢电极),受到研究者的青睐。但锂金属表面不稳定的固态电解质膜(sei),会导致无规则锂枝晶的生长,威胁锂金属电池的库伦效率、寿命、安全等问题,使得锂金属电池在实际应用方面受到极大阻碍。锂硼(lib)合金,具有电化学电位与锂金属相近、亲锂性好、能在降低局部电流密度的同时不引入过多的质量负担、且成本低、制备技术成熟,使其电化学性能优于锂金属,但是其相对较高的离子扩散势垒会导致沉积/剥离过程不均匀,最终生成无规则枝晶,影响lib合金负极的寿命与稳定性,因此,降低lib合金的离子扩散势垒,抑制枝晶的生成,是推进lib合金研究的关键一步。

2、目前对于lib合金的改性方法中,主流的是刮涂-转印制备表面膜的方式,但是该方法制备的膜结构单一,可调控的功能单一,并且无法精准控制膜的厚度,例如一但膜的厚度太厚会不利于离子扩散,会提高扩散势垒,并且制备膜的均匀性也有待提高,倘若不均匀,容易造成局部电流密度过高,或者枝晶成核的活跃点出现。磁控溅射技术可用于制膜,并且操作便捷,可精准控制膜的厚度、结构、以及均匀性,因此,本专利技术通过控制磁控溅射的时间来制备不同厚度的lizn合金膜,探究对lib合金负极电化学性能的影响,从而得到最佳的lizn合金膜参数。


技术实现思路

1、针对上述锂硼合金负极存在的锂枝晶生长的问题,本专利技术旨在利用锂硼合金结构优势的同时,通过磁控溅射在锂硼合金表面引入锂锌合金(lizn)膜,精准控制膜厚度、均匀性等,以抑制锂枝晶无序生长,提升锂硼合金负极的稳定性与寿命。

2、为实现上述技术目的,本专利技术所采用的技术方案为:

3、一种磁控溅射制备锂负极合金sei膜的方法,包括以下步骤:

4、s1、将锂硼合金带裁剪成圆形薄片;

5、s2、将裁好的锂硼合金圆形薄片放在磁控溅射载物台,并将设备内部抽至真空,然后以一定的气体流速通入氩气,并当内部压强调至一定值后,在一定的工作功率下,通过氩气刻蚀并清理圆片表面;

6、s3、利用氧化锌为靶材,以一定的氩气流速和工作功率,向步骤s2中清理好的锂硼合金圆形薄片表面进行磁控溅射,最终得到锂锌合金膜覆盖的锂硼合金。

7、锂硼合金骨架质量轻,电化学电位低,亲锂性好,可在一定程度上减小局部电流密度,具有比锂更好的电化学性能。在锂硼合金表面,引入均匀的锂锌合金层可在降低扩散势垒的同时,调控锂离子均匀沉积。二者协同实现稳定的界面,以提升锂硼电极的稳定性与寿命。

8、进一步的,步骤s1中所述锂硼合金带的硼质量分数为20%。

9、进一步的,步骤s1中圆形薄片的厚度为2-16mm。

10、进一步的,步骤s2中真空压强为1-104pa。

11、进一步的,步骤s2中气体流速为20-1000sccm。

12、进一步的,步骤s2中内部压强调至1.0-100.0pa。

13、进一步的,步骤s2中工作功率为80-450w。

14、进一步的,步骤s2中氩气刻蚀并清理圆片表面5-20min。

15、进一步的,步骤s3中氩气流速为20-1000sccm。

16、进一步的,步骤s3中工作功率为80-105w。

17、进一步的,步骤s3中磁控溅射时间为10-20min。

18、进一步的,所述步骤s1-s3均在手套箱中完成。

19、进一步的,步骤s3中,通过将锂硼合金片放在磁控溅射载物台,经过磁控溅射处理不同时间后取出,从而在锂硼合金上形成均匀致密的锂锌合金层。

20、进一步的,步骤s3中锂锌合金层的厚度为10-30μm。

21、本专利技术的有益效果:

22、本专利技术通过磁控溅射进行lib合金负极表面lizn的构建。1)采用的lib合金相较于其他合金,能减小局部电流密度,质量更轻,可实现高质量能量密度电池;2)磁控溅射处理简便,lib合金表面均匀致密的锂锌合金层,可被精准控制厚度,从而调控锂离子均匀沉积,解决界面锂枝晶的无序生长,造成电池安全隐患的问题。

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【技术保护点】

1.一种磁控溅射制备锂负极合金SEI膜的方法,其特征在于,包括以下步骤:

2.根据权利要求1所述的一种磁控溅射制备锂负极合金SEI膜的方法,其特征在于,步骤S1中圆形薄片的厚度为2-16mm。

3.根据权利要求1所述的一种磁控溅射制备锂负极合金SEI膜的方法,其特征在于,步骤S2中真空压强为1-104Pa。

4.根据权利要求1所述的一种磁控溅射制备锂负极合金SEI膜的方法,其特征在于,步骤S2中气体流速为20-1000sccm。

5.根据权利要求1所述的一种磁控溅射制备锂负极合金SEI膜的方法,其特征在于,步骤S2中内部压强调至1.0-100.0Pa。

6.根据权利要求1所述的一种磁控溅射制备锂负极合金SEI膜的方法,其特征在于,步骤S2中工作功率为80-450W。

7.根据权利要求1所述的一种磁控溅射制备锂负极合金SEI膜的方法,其特征在于,步骤S2中氩气刻蚀并清理圆片表面5-20min。

8.根据权利要求1所述的一种磁控溅射制备锂负极合金SEI膜的方法,其特征在于,步骤S3中氩气流速为20-1000sccm。

9.根据权利要求1所述的一种磁控溅射制备锂负极合金SEI膜的方法,其特征在于,步骤S3中工作功率为80-105W。

10.根据权利要求1所述的一种磁控溅射制备锂负极合金SEI膜的方法,其特征在于,步骤S3中磁控溅射时间为10-20min。

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【技术特征摘要】

1.一种磁控溅射制备锂负极合金sei膜的方法,其特征在于,包括以下步骤:

2.根据权利要求1所述的一种磁控溅射制备锂负极合金sei膜的方法,其特征在于,步骤s1中圆形薄片的厚度为2-16mm。

3.根据权利要求1所述的一种磁控溅射制备锂负极合金sei膜的方法,其特征在于,步骤s2中真空压强为1-104pa。

4.根据权利要求1所述的一种磁控溅射制备锂负极合金sei膜的方法,其特征在于,步骤s2中气体流速为20-1000sccm。

5.根据权利要求1所述的一种磁控溅射制备锂负极合金sei膜的方法,其特征在于,步骤s2中内部压强调至1.0-100.0pa。

6.根据权利要求1...

【专利技术属性】
技术研发人员:吴孟强蒋凌雁周海平葛震司业晨
申请(专利权)人:电子科技大学长三角研究院湖州
类型:发明
国别省市:

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