一种硅片清洗装置制造方法及图纸

本技术公开了一种硅片清洗装置，包括支架，所述支架的内部活动连接有清洗组件，所述清洗组件包括伺服电机一、放置盘、伺服电机二和清洗刷，所述支架的表面固定连接有喷洒组件，所述喷洒组件包括泵体和喷头。本技术通过启动伺服电机一使得放置盘转动，随着放置盘的转动将硅片放入放置槽中，然后启动伺服电机二使得螺纹套带动清洗刷直线下降，并且随着放置盘的转动，通过清洗刷达到了对硅片进行自动清洗的效果，并且放置槽设置有多个，达到了批量清洗的效果，提高了清洗效率。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及太阳能电池制造，具体为一种硅片清洗装置。

技术介绍

1、太阳能电池硅片表面上的浆料用清洗装置清除后可再次利用，能够达到节约成本的目的，经检索，专利号为cn218424270u的中国专利公开了本技术提供一种电池硅片清洗设备,包括：用于保持待清洗硅片的保持装置；用于清洗所述待清洗硅片的电动清洗装置,所述电动清洗装置包括具有工作表面的清洁头和用于驱动所述清洁头运动的驱动装置；和用于对所述待清洗硅片和/或所述清洁头施加清洗剂的施加装置；其中,所述电动清洗装置布置成能在第一位置和第二位置之间移动,在所述第一位置,所述清洁头的工作表面与所述待清洗硅片的待清洗表面接触,在所述第二位置,所述清洁头的工作表面与所述待清洗表面保持一定距离。这种电池硅片清洗装置的清洗效率高,并且清洁更彻底。

2、但上述装置只能进行单次清洗，无法对硅片进行批量清洗，降低了硅片的清洗效率。

技术实现思路

1、本技术的目的在于提供一种硅片清洗装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。

2、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种硅片清洗装置，包括支架，所述支架的内部活动连接有清洗组件，所述清洗组件包括伺服电机一、放置盘、伺服电机二和清洗刷，所述支架的表面固定连接有喷洒组件，所述喷洒组件包括泵体和喷头。

3、优选的，所述伺服电机一输出轴的一端固定套接有转轴，所述放置盘的上端开设有放置槽，所述伺服电机二输出轴的一端固定套接有螺纹杆二，所述清洗刷的上端固定连接有连接板，所述连接板的上端固定连接有螺纹套。

4、优选的，所述螺纹套与螺纹杆二螺纹连接，所述转轴与放置盘固定连接，所述伺服电机一和伺服电机二均固定安装在支架的上端。

5、优选的，所述支架的表面固定连接有试剂箱和水管，所述支架的内部固定连接有安装板，所述水管的表面固定连接有连接管二和分流管，所述试剂箱的表面固定连接有连接管一。

6、优选的，所述连接管一与泵体的输入端固定连接，所述连接管二与泵体的输出端固定连接。

7、优选的，所述喷头与安装板固定连接，所述喷头的数量与放置盘的数量相同。

8、与现有技术相比，本技术的有益效果是：

9、1、通过启动伺服电机一使得放置盘转动，随着放置盘的转动将硅片放入放置槽中，然后启动伺服电机二使得螺纹套带动清洗刷直线下降，并且随着放置盘的转动，通过清洗刷达到了对硅片进行自动清洗的效果，并且放置槽设置有多个，达到了批量清洗的效果，提高了清洗效率；

10、2、通过启动泵体使得试剂箱内部的清洗试剂从喷头喷出，随着硅片的转动将清洗试剂喷洒到硅片表面，这样能够批量的对硅片进行喷洒，提高了清洗刷的清洗效果。

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【技术保护点】

1.一种硅片清洗装置，包括支架(1)，其特征在于：所述支架(1)的内部活动连接有清洗组件(2)，所述清洗组件(2)包括伺服电机一(201)、放置盘(203)、伺服电机二(205)和清洗刷(209)，所述支架(1)的表面固定连接有喷洒组件(3)，所述喷洒组件(3)包括泵体(303)和喷头(307)；所述伺服电机一(201)输出轴的一端固定套接有转轴(202)，所述放置盘(203)的上端开设有放置槽(204)，所述伺服电机二(205)输出轴的一端固定套接有螺纹杆二(206)，所述清洗刷(209)的上端固定连接有连接板(208)，所述连接板(208)的上端固定连接有螺纹套(207)；所述放置槽(204)设置有多个。

2.根据权利要求1所述的一种硅片清洗装置，其特征在于：所述螺纹套(207)与螺纹杆二(206)螺纹连接，所述转轴(202)与放置盘(203)固定连接，所述伺服电机一(201)和伺服电机二(205)均固定安装在支架(1)的上端。

3.根据权利要求1所述的一种硅片清洗装置，其特征在于：所述支架(1)的表面固定连接有试剂箱(301)和水管(305)，所述支架(1)的内部固定连接有安装板(308)，所述水管(305)的表面固定连接有连接管二(304)和分流管(306)，所述试剂箱(301)的表面固定连接有连接管一(302)。

4.根据权利要求3所述的一种硅片清洗装置，其特征在于：所述连接管一(302)与泵体(303)的输入端固定连接，所述连接管二(304)与泵体(303)的输出端固定连接。

5.根据权利要求3所述的一种硅片清洗装置，其特征在于：所述喷头(307)与安装板(308)固定连接，所述喷头(307)的数量与放置盘(203)的数量相同。

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【技术特征摘要】

1.一种硅片清洗装置，包括支架(1)，其特征在于：所述支架(1)的内部活动连接有清洗组件(2)，所述清洗组件(2)包括伺服电机一(201)、放置盘(203)、伺服电机二(205)和清洗刷(209)，所述支架(1)的表面固定连接有喷洒组件(3)，所述喷洒组件(3)包括泵体(303)和喷头(307)；所述伺服电机一(201)输出轴的一端固定套接有转轴(202)，所述放置盘(203)的上端开设有放置槽(204)，所述伺服电机二(205)输出轴的一端固定套接有螺纹杆二(206)，所述清洗刷(209)的上端固定连接有连接板(208)，所述连接板(208)的上端固定连接有螺纹套(207)；所述放置槽(204)设置有多个。

2.根据权利要求1所述的一种硅片清洗装置，其特征在于：所述螺纹套(207)与螺纹杆二(206)螺纹连接，所述转轴(202)与放...

【专利技术属性】
技术研发人员：李瑞，胡生望，邵勇，
申请(专利权)人：四川江化微电子材料有限公司，
类型：新型
国别省市：