一种用于玻璃基板处理后的剥离液的再生系统技术方案

本实用新型专利技术涉及剥离液处理领域，采用的技术方案为：一种用于玻璃基板处理后的剥离液的再生系统，包括废液搅拌装置、过滤装置和精馏装置，所述废液搅拌装置通过管道与过滤装置相连，所述过滤装置通过管道与精馏装置相连；所述精馏装置包括精馏塔，所述精馏塔内设有若干层塔板，所述塔板上设有用于排出堆积在塔板上的液相的排液机构。本实用新型专利技术的的剥离液再生系统，能高效的得到剥离液，使得剥离液进行回收利用；其次精馏塔内的塔板上设有排液机构，当精馏结束后，能够排出塔板上堆积的液相，避免后期人工对精馏塔的塔板进行清理，结构简单、实用性强。实用性强。实用性强。

【技术实现步骤摘要】
一种用于玻璃基板处理后的剥离液的再生系统


[0001]本技术涉及剥离液处理领域，具体涉及一种用于玻璃基板处理后的剥离液的再生系统。

技术介绍

[0002]光刻胶剥离液在微电子行业大量使用，应用于印刷电路板、液晶显示器、半导体集成电路等工艺制造中。光刻工艺中，一般步骤为匀胶—干燥—前烘——曝光—显影—后烘—蚀刻—剥离。在光刻胶剥离工序中会产生剥离废液，光刻胶价格昂贵，如不对废液中的光刻胶等成分回收利用，会造成较大的资源浪费，因此对于使用后的剥离液废液，含有可再利用的组分以及剥离液，若是能合理的实现再利用，将极大降低成本。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种用于玻璃基板处理后的剥离液的再生系统。
[0004]为实现上述技术目的，本技术所采用的技术方案是：一种用于玻璃基板处理后的剥离液的再生系统，包括废液搅拌装置、过滤装置和精馏装置，所述废液搅拌装置通过管道与过滤装置相连，所述过滤装置通过管道与精馏装置相连；
[0005]所述精馏装置包括精馏塔，所述精馏塔内设有若干层塔板，所述塔板上设有用于排出堆积在塔板上的液相的排液机构。
[0006]优选的，所述排液机构包括若干设置在塔板上表面的罩体，所述罩体的底部设有若干第一通孔，位于罩体内的塔板上均设有第二通孔，所述第二通孔内穿设有连接管，所述连接管的上部侧壁上设有若干第三通孔，所述塔板的下方设有用于驱动连接管上升或下降的驱动组件。
[0007]优选的，所述驱动组件包括承载板，所述连接管的下端均穿设在承载板上；所述塔板的下表面连接有连接柱，所述连接柱的上部设有凹槽，所述连接柱的上部穿设在承载板上；
[0008]所述连接柱的下部设有内腔，所述内腔中设有活塞，所述活塞上连接有活塞杆，所述活塞杆的伸缩端穿出内腔，并与位于凹槽内的承载板相连，所述内腔内填充有驱动活塞移动的热膨胀体。
[0009]优选的，所述热膨胀体为气体。
[0010]优选的，所述塔板的上表面设有若干凹陷部，所述罩体位于凹陷部内。
[0011]优选的，所述精馏装置还包括再沸器和冷凝器，所述再沸器的进水端通过进水管与精馏塔的底部相连通，所述再沸器的排气端通过排气管与精馏塔的下部相连通，所述冷凝器的进气端通过进气管与精馏塔的顶部相连通，所述冷凝器的回流端通过回流管与精馏塔的上部相连通。
[0012]本技术的有益效果集中体现在：
[0013]1、本技术的剥离液再生系统由废液搅拌装置、过滤装置和精馏装置三个核心
部分组件，废液搅拌装置中需要加纯水以及剥离废液，两者均匀混合后通入到过滤装置中进行固液分离过滤，过滤后的废液进入到精馏塔中进行精馏分离，能高效的得到剥离液，使得剥离液进行回收利用。
[0014]2、本技术精馏装置为板式精馏塔，并且精馏塔内的塔板上设有排液机构，当精馏结束后，能够排出塔板上堆积的液相，避免后期人工对精馏塔的塔板进行清理，结构简单、实用性强。
附图说明
[0015]图1是本技术再生系统框图；
[0016]图2是本技术精馏装置整体结构示意图；
[0017]图3是本技术精馏塔内部结构示意；
[0018]图4是图3所示结构中A部放大图；
[0019]图5是本技术废液搅拌装置结构示意图；
[0020]图6是本技术紊流条截面图；
[0021]图7是图5所示结构中B部放大图；
[0022]图8是图5所示结构中C部放大图；
[0023]图例说明：1、精馏塔；2、塔板；3、罩体；4、第一通孔；5、第二通孔；6、连接管；7、第三通孔；8、承载板；9、连接柱；10、凹槽；11、内腔；12、活塞；13、活塞杆；14、热膨胀体；15、凹陷部；16、再沸器；17、冷凝器；18、进水管；19、排气管；20、进气管；21、回流管；22、搅拌桶；23、液位传感器；24、纯水添加管；25、废液添加管；26、减速电机；27、驱动轴；28、搅拌叶片；29、支撑腿；30、管体；31、排液孔；32、安装圈；33、紊流条；34、导流孔；35、安装槽；36、进液口。
具体实施方式
[0024]为了使本领域的技术人员更好地理解本技术的技术方案，下面结合附图和具体实施例对本技术作进一步的详细说明。
[0025]如图1所示，一种用于玻璃基板处理后的剥离液的再生系统，包括废液搅拌装置、过滤装置和精馏装置，所述废液搅拌装置通过管道与过滤装置相连，所述过滤装置通过管道与精馏装置相连；在本实施例中废液搅拌装置和过滤装置之间的管道上、以及过滤装置和精馏装置之间的管道上均设置有液泵，过滤装置采用本领域常用的固液过滤结构，其具体结构未在本实施例中过于赘述。
[0026]进一步的，如图2、3所示，所述精馏装置包括精馏塔1，还包括再沸器16和冷凝器17，所述再沸器16的进水端通过进水管18与精馏塔1的底部相连通，所述再沸器16的排气端通过排气管19与精馏塔1的下部相连通，所述冷凝器17的进气端通过进气管20与精馏塔1的顶部相连通，所述冷凝器17的回流端通过回流管21与精馏塔1的上部相连通；在本实施例中精馏塔1为板式精馏塔1，也就是在所述精馏塔1内设有若干层塔板2，所述塔板2上设有用于排出堆积在塔板2上的液相的排液机构；当精馏结束后，排液机构能够排出塔板2上堆积的液相，避免后期人工对精馏塔1的塔板2进行清理，结构简单、实用性强。
[0027]对于排液机构具体的，如图4所示，所述排液机构包括若干设置在塔板2上表面的罩体3，所述罩体3的底部设有若干第一通孔4，位于罩体3内的塔板2上均设有第二通孔5，所
述第二通孔5内穿设有连接管6，所述连接管6的上部侧壁上设有若干第三通孔7，所述塔板2的下方设有用于驱动连接管6上升或下降的驱动组件。在使用时精馏时，通过驱动组件使连接管6上升，第三通孔7的位置高于第一通孔4的高度，因此液体会在塔板2上形成一定深度的液相，而液相可从第三通孔7溢流到下一层塔板2上，气体穿过连接管6，再穿过液相，也就是从连接管6和罩体3之间的间隙中穿过，再从第二通孔5排出到罩体3外，实现气相和液相的接触；气相与液相接触后，气相内的液体被液相带走，液相再次气化，提升精馏的质量和效率。精馏结束后，驱动组件带动连接管6向下移动，第三通孔7的位置低于塔板2的上表面，此时塔板2上的液相可以全部流出。
[0028]进一步的，所述驱动组件包括承载板8，所述连接管6的下端均穿设在承载板8上；所述塔板2的下表面连接有连接柱9，所述连接柱9的上部设有凹槽10，所述连接柱9的上部穿设在承载板8上；
[0029]所述连接柱9的下部设有内腔11，所述内腔11中设有活塞12，所述活塞12上连接有活塞杆13，所述活塞杆13的伸缩端穿出内腔11，并与位于凹槽10内的承载板8相连，所述内腔11内填充有驱动活塞12移动的热膨胀体14；在本实施例中，热膨胀体14优选采用气体，亦或者采用其它热膨胀系数高的物体，当高温气体与连本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于玻璃基板处理后的剥离液的再生系统，其特征在于：包括废液搅拌装置、过滤装置和精馏装置，所述废液搅拌装置通过管道与过滤装置相连，所述过滤装置通过管道与精馏装置相连；所述精馏装置包括精馏塔(1)，所述精馏塔(1)内设有若干层塔板(2)，所述塔板(2)上设有用于排出堆积在塔板(2)上的液相的排液机构。2.根据权利要求1所述的一种用于玻璃基板处理后的剥离液的再生系统，其特征在于：所述排液机构包括若干设置在塔板(2)上表面的罩体(3)，所述罩体(3)的底部设有若干第一通孔(4)，位于罩体(3)内的塔板(2)上均设有第二通孔(5)，所述第二通孔(5)内穿设有连接管(6)，所述连接管(6)的上部侧壁上设有若干第三通孔(7)，所述塔板(2)的下方设有用于驱动连接管(6)上升或下降的驱动组件。3.根据权利要求2所述的一种用于玻璃基板处理后的剥离液的再生系统，其特征在于：所述驱动组件包括承载板(8)，所述连接管(6)的下端均穿设在承载板(8)上；所述塔板(2)的下表面连接有连接柱(9)，所述连接柱(9)的上部设有凹槽(10)，所述连接柱(9)的上部穿设在承载板(8...

【专利技术属性】
技术研发人员：顾维忠，宁萌萌，彭聪，邵勇，陈亚钦，
申请(专利权)人：四川江化微电子材料有限公司，
类型：新型
国别省市：