一种光刻胶配套材料烘干设备制造技术

本实用新型专利技术涉及烘干设备领域，采用的技术方案为：一种光刻胶配套材料烘干设备，包括箱体和设置在箱体内的承载架，所述承载架上可拆卸连接承载板，所述承载板上转动连接有用于放置晶圆的转动组件，并在所述箱体内设有驱动组件，所述驱动组件与转动组件传动相连。本实用新型专利技术的烘干设备具有电加热烘干功能，晶圆放置在承载板上的转动组件上，转动组件在驱动组件的带动下能够进行转动，同时晶圆也进行转动，此时晶圆能够充分均匀受热，能避免晶圆上表面及上表面的光刻胶受热不均匀。本实用新型专利技术的承载架和承载板之间采用可拆卸连接结构，便于对晶圆的取放。晶圆的取放。晶圆的取放。

【技术实现步骤摘要】
一种光刻胶配套材料烘干设备


[0001]本技术涉及烘干设备领域，具体涉及一种光刻胶配套材料烘干设备。

技术介绍

[0002]在晶片加工中，光刻工艺至关重要，一般程序为，将晶片前处理后进行旋转涂胶，随后进行曝光显影，最后进行光刻胶去除，晶片在旋转涂胶后，需要在高温下进行烘干，使溶剂挥发，同时消除旋转涂胶造成的薄膜应力，提升光刻胶在衬底上的附着性，但是现有的烘干方式，多数是将涂胶后的晶片放置在高温烘箱内进行烘干。
[0003]现有的烘干导致晶圆中心及边缘的光刻胶、晶圆上表面及上表面的光刻胶受热不均匀，导致烘干后的光刻胶的坚硬程度存在差异，甚至可能会导致光刻胶开裂。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种光刻胶配套材料烘干设备。
[0005]为实现上述技术目的，本技术所采用的技术方案是：一种光刻胶配套材料烘干设备，包括箱体和设置在箱体内的承载架，所述承载架上可拆卸连接承载板，所述承载板上转动连接有用于放置晶圆的转动组件，并在所述箱体内设有驱动组件，所述驱动组件与转动组件传动相连。
[0006]优选的，所述箱体的顶壁和底壁上均设有加热板。
[0007]优选的，所述转动组件包括设置在承载板上的多个安装孔，所述承载板内设有与安装孔相对应的环形内腔，所述环形内腔中设有旋转环，相邻的两个环形内腔相连通，且相邻的两个旋转环传动相连，其中一个旋转环与驱动组件传动相连；所述安装孔的内壁上设有若干与环形内腔相连通的通孔，所述通孔内穿设有承载柱，所述承载柱的一端与旋转环传动相连，所述承载柱的内一端伸入至安装孔内。
[0008]优选的，所述通孔的内壁上设有限位槽，所述承载柱的外壁上设有限位凸起，所述限位凸起插设在限位槽内。
[0009]优选的，所述承载架上设有插槽，所述承载板的两侧插分别设在对应的插槽内。
[0010]优选的，所述驱动组件包括设置在箱体内部的电机，所述电机的输出轴上连接有主动齿轮，所述旋转环的外壁均有从动齿，所述主动齿轮与旋转环相啮合。
[0011]优选的，所述承载柱与旋转环采用齿轮传动。
[0012]优选的，位于安装孔内的承载柱上设有防滑纹。
[0013]优选的，所述安装孔的边沿处设有用于取放晶圆的安放槽。
[0014]本技术的有益效果集中体现在：
[0015]1、本技术的烘干设备具有电加热烘干功能，晶圆放置在承载板上的转动组件上，转动组件在驱动组件的带动下能够进行转动，同时晶圆也进行转动，此时晶圆能够充分均匀受热，能避免晶圆上表面及上表面的光刻胶受热不均匀。
[0016]2、本技术的承载架和承载板之间采用可拆卸连接结构，便于对晶圆的取放。
附图说明
[0017]图1是本技术整体结构示意图；
[0018]图2是本技术承载板俯视图；
[0019]图3是图2所示结构中A
‑
A向视图；
[0020]图例说明：1、箱体；2、承载架；3、承载板；4、加热板；5、安装孔；6、环形内腔；7、旋转环；8、通孔；9、承载柱；10、限位槽；11、限位凸起；12、插槽；13、防滑纹；14、安放槽。
具体实施方式
[0021]为了使本领域的技术人员更好地理解本技术的技术方案，下面结合附图和具体实施例对本技术作进一步的详细说明。
[0022]如图1
‑
3所示，一种光刻胶配套材料烘干设备，包括箱体1和设置在箱体1内的承载架2，在本实施例中箱体1具有箱门，箱门铰接在箱体1上；对于承载架2可以是设置在箱体1内的一对安装板，分布在箱体1内部的两侧；也可以是直接以箱体1内壁为承载架2；所述承载架2上可拆卸连接承载板3，在本实施例中可以在所述承载架2上设有插槽12，所述承载板3的两侧插分别设在对应的插槽12内，便于对承载板3的取放，所述承载板3上转动连接有用于放置晶圆的转动组件，并在所述箱体1内设有驱动组件，所述驱动组件与转动组件传动相连，承载板3插在承载架2上后，转动组件就能与驱动组件相结合。
[0023]进一步的，所述箱体1的顶壁和底壁上均设有加热板4，采用上下同时加热的方式对晶圆进行烘干，能提高烘干的效率。
[0024]进一步的，所述转动组件可以是设置在承载板3上的一个转盘，晶圆直接放置在转盘上，由于本实施例中，采用上下同时加热的烘干方式，当晶圆下方设置有转盘后，加热板4先对转盘等其它部件进行加热，热量再传递到晶圆上；这样一定程度上减弱了晶圆下表面的加热效率，会导致上下表面在烘干的前期温差过大，影响晶圆的烘干效率以及质量。
[0025]为避免上述问题，在本实施例中提供另一种转动组件，即所述转动组件包括设置在承载板3上的多个安装孔5，所述承载板3内设有与安装孔5相对应的环形内腔6，所述环形内腔6中设有旋转环7，相邻的两个环形内腔6相连通，且相邻的两个旋转环7传动相连，其中一个旋转环7与驱动组件传动相连；所述安装孔5的内壁上设有若干与环形内腔6相连通的通孔8，所述通孔8内穿设有承载柱9，所述承载柱9的一端与旋转环7传动相连，所述承载柱9的内一端伸入至安装孔5内，晶圆的边沿就放置在安装孔5内的承载柱9上，在本实施例中所述承载柱9与旋转环7采用齿轮传动，承载柱9的一端为锥齿轮结构，旋转环7上设有齿，两者相啮合，旋转环7转动带动承载柱9转动，多个承载柱9的转动，模拟转盘带动晶圆转动，此时加热板4能够直接对晶圆的下表面进行烘干，并且承载柱9带动晶圆转动，也能避免因承载柱9的遮挡而导致晶圆下表面受热不均，在本实施例中承载柱9的数量尽可能设置的多一些，如设置六根、八根等。
[0026]进一步的，所述通孔8的内壁上设有限位槽10，所述承载柱9的外壁上设有限位凸起11，所述限位凸起11插设在限位槽10内，避免承载柱9在通孔8内窜动而影响承载柱9与旋转环7接合。
[0027]进一步的，所述驱动组件包括设置在箱体1内部的电机，所述电机的输出轴上连接有主动齿轮，在本实施例中电机和主动齿轮未在图中画出，所述旋转环7的外壁均有从动
齿，所述主动齿轮与旋转环7相啮合；并且相邻的两个旋转环7之间采用齿啮合传动。
[0028]进一步的，位于安装孔5内的承载柱9上设有防滑纹13，增大承载柱9和晶圆之间的摩擦力，能够正常带动晶圆转动烘干。
[0029]进一步的，所述安装孔5的边沿处设有用于取放晶圆的安放槽14。
[0030]需要说明的是，对于前述的各个方法实施例，为了简单描述，故将其都表述为一系列的动作组合，但是本领域技术人员应该知悉，本申请并不受所描述的动作顺序的限制，因为依据本申请，某一些步骤可以采用其他顺序或者同时进行。其次，本领域技术人员也应该知悉，说明书中所描述的实施例均属于优选实施例，所涉及的动作和单元并不一定是本申请所必须的。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光刻胶配套材料烘干设备，其特征在于：包括箱体(1)和设置在箱体(1)内的承载架(2)，所述承载架(2)上可拆卸连接承载板(3)，所述承载板(3)上转动连接有用于放置晶圆的转动组件，并在所述箱体(1)内设有驱动组件，所述驱动组件与转动组件传动相连。2.根据权利要求1所述的一种光刻胶配套材料烘干设备，其特征在于：所述箱体(1)的顶壁和底壁上均设有加热板(4)。3.根据权利要求2所述的一种光刻胶配套材料烘干设备，其特征在于：所述转动组件包括设置在承载板(3)上的多个安装孔(5)，所述承载板(3)内设有与安装孔(5)相对应的环形内腔(6)，所述环形内腔(6)中设有旋转环(7)，相邻的两个环形内腔(6)相连通，且相邻的两个旋转环(7)传动相连，其中一个旋转环(7)与驱动组件传动相连；所述安装孔(5)的内壁上设有若干与环形内腔(6)相连通的通孔(8)，所述通孔(8)内穿设有承载柱(9)，所述承载柱(9)的一端与旋转环(7)传动相连，所述承载柱(9)的内一端伸入至安装孔(5)内。4.根据权利要求3...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡生望，顾维忠，彭聪，邵勇，陈亚钦，
申请(专利权)人：四川江化微电子材料有限公司，
类型：新型
国别省市：