System.ArgumentOutOfRangeException: 索引和长度必须引用该字符串内的位置。 参数名: length 在 System.String.Substring(Int32 startIndex, Int32 length) 在 zhuanliShow.Bind() 一种E-fuse单元和E-fuse测试阵列的绕线方法技术_技高网

一种E-fuse单元和E-fuse测试阵列的绕线方法技术

技术编号:40423820 阅读:8 留言:0更新日期:2024-02-20 22:43
本申请涉及一种E‑fuse单元和E‑fuse测试阵列的绕线方法,该E‑fuse单元包括E‑fuse和编程晶体管,E‑fuse的一端与编程晶体管的漏端相连;E‑fuse的另一端通过三层金属绕线引出,并在左右两侧分别将第三金属线的端部作为第一引脚;编程晶体管的源端通过三层金属绕线引出,并在左右两侧分别将第三金属线的端部作为第二引脚;通过三层金属绕线引出,包括:通过接触孔、第一金属线、第一通孔、第二金属线、第二通孔、第三金属线依次连接引出;其中,第一金属线、第二金属线、第三金属线是不同层的金属线。通过三层金属绕线的方式生成E‑fuse单元的引脚,从而对E‑fuse单元的引脚与金属焊盘之间的绕线电阻进行控制。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及芯片测试,特别是涉及一种e-fuse单元和e-fuse测试阵列的绕线方法。


技术介绍

1、e-fuse(electrically programmable fuse)电子熔断或电子可编程熔断靠电压或电流控制熔断,由于e-fuse熔断前后电阻不同,常用来改变电路的连接关系。e-fuse因其体积小、功耗低、可编程性强、可靠性高、不易被擦除等优点,在集成电路中得到了广泛应用。对e-fuse的电学性能进行监测是测试芯片设计的一个重要部分,目前常用的方法是将e-fuse单元的引脚直连到金属焊盘上进行测试。

2、现有方法在设计版图时没有对e-fuse单元的引脚与金属焊盘之间的绕线电阻进行控制。


技术实现思路

1、在本实施例中提供了一种e-fuse单元和e-fuse测试阵列的绕线方法,以解决现有技术中在设计版图时没有对e-fuse单元的引脚与金属焊盘之间的绕线电阻进行控制的问题。

2、第一个方面,在本实施例中提供了一种e-fuse单元,包括e-fuse和编程晶体管,所述e-fuse的一端与所述编程晶体管的漏端相连;

3、所述e-fuse的另一端通过多层金属绕线引出,并在左右两侧分别将所述多层金属绕线中最后端金属线的端部作为第一引脚,即作为所述e-fuse单元的两个第一引脚;

4、所述编程晶体管的源端通过多层金属绕线引出,并在左右两侧分别将所述多层金属绕线中最后端金属线的端部作为第二引脚,即作为所述e-fuse单元的两个第二引脚;

<p>5、所述通过多层金属绕线引出,包括:多层金属绕线形成网状走线,并利用通孔连接相邻金属层的金属线;最前端的金属线通过接触孔连接所述e-fuse的另一端或所述编程晶体管的源端。在其中的一些实施例中,所述通过多层金属绕线引出包括至少三层金属绕线。

6、在其中的一些实施例中,所述通过多层金属绕线引出是指通过三层金属绕线引出,包括:通过接触孔、第一金属线、第一通孔、第二金属线、第二通孔、第三金属线依次连接引出;其中,所述第一金属线、第二金属线、第三金属线是不同层的金属线,所述第一金属线和第二金属线通过第一通孔连接,所述第二金属线和第三金属线通过第二通孔连接;所述第一金属线通过接触孔连接所述e-fuse的另一端或所述编程晶体管的源端。

7、在其中的一些实施例中,所述第一金属线是竖直走线的金属线,所述第二金属线是水平走线的金属线,所述第三金属线是水平走线的金属线。

8、在其中的一些实施例中,所述第一金属线和第二金属线通过第一通孔连接,包括:

9、在所述第一金属线和第二金属线的重合处,利用所述第一通孔连接。

10、在其中的一些实施例中,所述第二金属线和第三金属线通过第二通孔连接,包括:

11、在所述第二金属线和第三金属线的重合处,利用所述第二通孔连接。

12、在其中的一些实施例中,所述通过三层金属绕线引出,还包括:每层金属线都设置有多根,且相邻金属线之间距离相同。

13、在其中的一些实施例中,所述通过三层金属绕线引出,还包括:所述第二金属线和第三金属线完全重合布线,所述第一通孔和第二通孔完全重合设置。

14、第二个方面,在本实施例中提供了一种e-fuse测试阵列的绕线方法,所述方法包括:

15、多个e-fuse单元阵列摆放,形成n列的e-fuse测试阵列;所述e-fuse单元采用第一个方面任意一项所述的e-fuse单元;其中,n为大于1的整数;

16、第一列的e-fuse单元的左侧引脚:第一引脚分别通过第三金属线直接连接第一焊盘,不同行e-fuse单元的第二引脚通过第三金属线、第二通孔、第二金属线连接;

17、第n列的e-fuse单元的右侧引脚:第二引脚分别通过第三金属线直接连接第二焊盘,不同行e-fuse单元的第一引脚通过第三金属线、第二通孔、第二金属线连接;

18、第j列的e-fuse单元的右侧引脚、第j+1列的e-fuse单元的左侧引脚:同行e-fuse单元的相同引脚直接通过第三金属线连接,不同行e-fuse单元的相同引脚通过第三金属线、第二通孔、第二金属线连接;其中,j为大于1的整数,j∈[1,n-1];

19、所述第三金属线、第二金属线是不同层的金属线,第二金属线和第三金属线通过第二通孔连接。

20、在其中的一些实施例中,所述第三金属线是水平走线的金属线,用于e-fuse测试阵列绕线的第二金属线是竖直走线的金属线。

21、在其中的一些实施例中,所述第一列的e-fuse单元的左侧引脚中:

22、第一引脚通过多根第三金属线连接第一焊盘;

23、不同行e-fuse单元的第二引脚通过多根第三金属线、多个第二通孔、多根第二金属线连接。

24、在其中的一些实施例中,所述第n列的e-fuse单元的右侧引脚中:

25、第二引脚通过多根第三金属线连接第二焊盘;

26、不同行e-fuse单元的第一引脚通过多根第三金属线、多个第二通孔、多根第二金属线连接。

27、在其中的一些实施例中,所述第j列的e-fuse单元的右侧引脚、第j+1列的e-fuse单元的左侧引脚:

28、同行e-fuse单元的相同引脚通过多根第三金属线连接;

29、不同行e-fuse单元的相同引脚通过多根第三金属线、多个第二通孔、多根第二金属线连接。

30、与现有技术相比,在本实施例中提供的e-fuse单元和e-fuse测试阵列的绕线方法,通过多层金属网状绕线方式和多根金属线上下行并联的方式降低了e-fuse测试阵列的绕线电阻,通过对称的e-fuse单元的摆放方式、对称的e-fuse测试阵列的绕线方式和对称的e-fuse单元的绕线方式,使e-fuse测试阵列中不同位置结构的绕线电阻基本一致,从而使得e-fuse测试阵列中不同位置结构的绕线电阻基本一致且都很小,从而满足测试的电流要求;另外,使用e-fuse测试阵列代替单个e-fuse单元,同样的fs焊盘和fl焊盘,原来只能接一个e-fuse单元,现在可以接多个e-fuse单元,相同的测试焊盘个数可以测试的e-fuse单元的数量增加,提高了电路的面积利用率。

31、本申请的一个或多个实施例的细节在以下附图和描述中提出,以使本申请的其他特征、目的和优点更加简明易懂。

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...

【技术保护点】

1.一种E-fuse单元,其特征在于,包括E-fuse和编程晶体管,所述E-fuse的一端与所述编程晶体管的漏端相连;

2.根据权利要求1所述的一种E-fuse单元,其特征在于,所述通过多层金属绕线引出包括至少三层金属绕线。

3.根据权利要求1所述的一种E-fuse单元,其特征在于,所述通过多层金属绕线引出是指通过三层金属绕线引出,包括:

4.根据权利要求3所述的一种E-fuse单元,其特征在于,所述第一金属线是竖直走线的金属线,所述第二金属线是水平走线的金属线,所述第三金属线是水平走线的金属线。

5.根据权利要求3所述的一种E-fuse单元,其特征在于,所述第一金属线和第二金属线通过第一通孔连接,包括:

6.根据权利要求3所述的一种E-fuse单元,其特征在于,所述第二金属线和第三金属线通过第二通孔连接,包括:

7.根据权利要求3所述的一种E-fuse单元,其特征在于,所述通过三层金属绕线引出,还包括:每层金属线都设置有多根,且相邻金属线之间距离相同。

8.根据权利要求3所述的一种E-fuse单元,其特征在于,所述通过三层金属绕线引出,还包括:所述第二金属线和第三金属线完全重合布线,所述第一通孔和第二通孔完全重合设置。

9.一种E-fuse测试阵列的绕线方法,其特征在于,所述方法包括:

10.根据权利要求9所述的一种E-fuse测试阵列的绕线方法,其特征在于,所述第三金属线是水平走线的金属线,用于E-fuse测试阵列绕线的第二金属线是竖直走线的金属线。

11.根据权利要求9或10所述的一种E-fuse测试阵列的绕线方法,其特征在于,所述第一列的E-fuse单元的左侧引脚中:

12.根据权利要求9或10所述的一种E-fuse测试阵列的绕线方法,其特征在于,所述第N列的E-fuse单元的右侧引脚中:

13.根据权利要求9或10所述的一种E-fuse测试阵列的绕线方法,其特征在于,所述第j列的E-fuse单元的右侧引脚、第j+1列的E-fuse单元的左侧引脚:

...

【技术特征摘要】

1.一种e-fuse单元,其特征在于,包括e-fuse和编程晶体管,所述e-fuse的一端与所述编程晶体管的漏端相连;

2.根据权利要求1所述的一种e-fuse单元,其特征在于,所述通过多层金属绕线引出包括至少三层金属绕线。

3.根据权利要求1所述的一种e-fuse单元,其特征在于,所述通过多层金属绕线引出是指通过三层金属绕线引出,包括:

4.根据权利要求3所述的一种e-fuse单元,其特征在于,所述第一金属线是竖直走线的金属线,所述第二金属线是水平走线的金属线,所述第三金属线是水平走线的金属线。

5.根据权利要求3所述的一种e-fuse单元,其特征在于,所述第一金属线和第二金属线通过第一通孔连接,包括:

6.根据权利要求3所述的一种e-fuse单元,其特征在于,所述第二金属线和第三金属线通过第二通孔连接,包括:

7.根据权利要求3所述的一种e-fuse单元,其特征在于,所述通过三层金属绕线引出,还包括:每层金属线都设置有多根,且...

【专利技术属性】
技术研发人员:尤炎杨璐丹施姣
申请(专利权)人:杭州广立微电子股份有限公司
类型:发明
国别省市:

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