【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及探针台晶圆测试，具体涉及一种半自动探针台晶圆测试系统。
技术介绍
1、晶圆探针台测试系统一般包括光学机台、测试探针、晶圆卡盘(chuck盘)、数字化显微镜等机构，在现有的晶圆探针台测试系统中，机台台面上规则布置有测试探针装置和数字化显微镜机构，机台的内部做屏蔽设计、并安装有晶圆卡盘机构，待测试的晶圆则装载固定到晶圆卡盘上，通过测试探针与待测试晶圆上的pad点接触(扎针)对其进行性能测试。为了方便测试探针伸入机台内部与待测试晶圆接触，晶圆卡盘上方的机台台面一般是裸露状态。
2、现有的晶圆探针台测试系统结构，虽然方便了晶圆的测试，但是对于场地的环境要求比较高。因为晶圆卡盘上方处于裸露状态，当待测试晶圆装载到晶圆卡盘上时，如果测试环境不符合要求，当有灰尘或者其他污染物掉入到待测试晶圆上时，容易影响测试结果。
3、而且对于一些特殊芯片的晶圆测试工作，因为处于裸露状态，电磁屏蔽和光屏蔽效果不理想，也会影响晶圆的测试结果。
技术实现思路
1、本专利技术提供一种电磁屏蔽和光屏蔽效果更好的半自动探针台晶圆测试系统。
2、本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是：
3、一种半自动探针台晶圆测试系统，包括探针台模块和人机交互模块，所述探针台模块包括测试机台、晶圆卡盘模块、若干测试探针模块、数字化显微镜模块和屏蔽罩组件，人机交互模块则包括显示模块和操控模块；所述测试机台下端为减震光学平台，所述减震光学平台的上端四周和顶部通过之间和面板封装成
4、进一步的，所述屏蔽罩组件包括底板、屏蔽围栏、若干挡板和顶板，所述屏蔽围栏作为所述屏蔽罩组件的侧边、设置在所述顶板和所述底板之间，所述底板上设置有与所述屏蔽微腔连通的测试口，所述若干测试探针伸入口规则设置在所述屏蔽围栏上，所述若干挡板插入至所述屏蔽围栏中或者固定在所述屏蔽围栏的内外侧，用于将空闲的测试探针伸入口遮挡关闭，只保留打开处于测试工作中的测试探针伸入口。
5、进一步的，所述底板的上表面和所述顶板的下表面分别设置有下屏蔽围栏定位槽和上屏蔽围栏定位槽，所述屏蔽围栏的上下两端分别通过所述上屏蔽围栏定位槽和所述下屏蔽围栏定位槽快速定位拼装在所述顶板和所述底板之间；所述顶板和所述底板之间通过若干固定柱和紧固件连接固定，所述若干固定柱绕所述屏蔽围栏外围规则布置、固定在所述底板上端，所述紧固件从所述顶板上端穿过所述顶板与所述固定柱拧紧、并将所述顶板与所述若干固定柱锁紧固定。
6、进一步的，所述顶板上设置有顶盖安装槽口，并盖有顶盖，所述顶盖上则设置有方便数字化显微镜伸入的显微镜伸入口。
7、进一步的，所述屏蔽围栏采用正棱柱体设计，采用正六变形或者正八边形结构形成正多边形屏蔽围栏，所述正多边形屏蔽围栏的每一面均设置有所述测试探针伸入口。
8、进一步的，所述测试探针模块包括磁吸底座、若干微调滑台、测试探针安装座、探针臂、走线管和测试探针；所述若干微调滑台规则拼装形成xyz轴微调滑台、并布置安装在所述磁吸底座上端，所述xyz轴微调滑台依次通过所述测试探针安装座、所述探针臂和转接板对所述测试探针的位置进行微调，所述测试探针安装座的上端还设置有走线顶盖，所述走线管安装在所述走线顶盖的前端、并连通所述走线顶盖的内部，所述走线管设置在所述探针臂上方，所述走线顶盖的内部设置有引线架，所述顶盖上还设置有出线口，连接所述测试探针的线缆依次通过所述走线管和所述引线架，从所述顶盖上的出线口引出；所述测试探针通过所述探针臂和所述走线管从所述屏蔽罩组件上的测试探针伸入口伸入至所述屏蔽罩组件内部，所述探针臂和所述走线管中间位置均设置有方便伸入所述测试探针伸入口的扁平部。
9、进一步的，所述走线顶盖上的所述出线口，开设在所述走线顶盖的上端，并设置在位于所述引线架的上端、与所述引线架连通，所述线缆依次通过所述走线管至所述走线顶盖内部，并通过所述引线架归整后，从所述引线架上端的所述出线口引出所述走线顶盖。
10、进一步的，所述显示模块包括若干显示器，所述若干显示器均分别通过多轴调节轴组件灵活固定在显示器立杆的上端、并通过所述显示器立杆安装固定在所述测试机台的侧边；所述操控模块包括鼠标和键盘，所述鼠标和键盘放置在所述托盘上，所述托盘通过调节轴组件灵活固定在托盘立杆的上端、并通过所述托盘立杆安装固定在所述测试机台的侧边，所述托盘立杆和所述显示器立杆前后布置，从而将所述操控模块布置在所述显示模块的前方。
11、进一步的，所述晶圆卡盘模块包括xyzθ四轴驱动平台和晶圆卡盘安装座，所述晶圆卡盘安装在所述晶圆卡盘安装座上端，所述xyzθ四轴驱动平台驱动所述晶圆卡盘在所述屏蔽微腔内部移动、升降和旋转。
12、进一步的，所述数字化显微镜模块包括xyz轴驱动平台，所述xyz轴驱动平台依次通过显微镜转接架和显微镜安装座安装有所述数字化显微镜，所述数字化显微镜从所述显微镜安装座上端插入安装至其中，所述显微镜安装座下端呈筒状、并伸入至所述屏蔽罩组件内部。
13、本专利技术的有益效果是：
14、1、本专利技术通过在机台台面上端安装设置有屏蔽罩组件，若干测试探针模块规则布置安装在屏蔽罩组件的外围，并通过屏蔽罩组件侧边上开设的测试探针伸入口，将测试探针模块前端的测试探针从屏蔽罩组件上的测试探针伸入口伸入至屏蔽罩内部进行扎针测试工作。通过屏蔽罩组件可以有效的减少屏蔽微腔与外界环境的接触，从而确保屏蔽微腔内部的测试环境，避免外界环境的电磁干扰和光干扰。
15、2、本专利技术的测试探针模块，通过在测试探针模块上设置走线管和走线顶盖，走线顶盖的内部还设置有引线架，连接测试探针的线缆依次通过走线管至走线顶盖内部，再经引线架的归整，从走线顶盖顶板的出线口引出。线缆依次通过走线管和引线架的归整，可减少线缆的杂乱无章，方便测试工作的同时，也方便后期的维护工作。
16、3、本专利技术的测试探针模块，其探针臂和走线管均做扁平化设计，从而可以尽可能的减少屏蔽罩组件侧边上的测试探针伸入口的开口尺寸和大小，从而进一步的减少外界环境对屏蔽微腔内部测试环境的影响。
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1.一种半自动探针台晶圆测试系统，包括探针台模块和人机交互模块，其特征在于：所述探针台模块包括测试机台、晶圆卡盘模块、若干测试探针模块、数字化显微镜模块和屏蔽罩组件，人机交互模块则包括显示模块和操控模块；所述测试机台下端为减震光学平台，所述减震光学平台的上端四周和顶部通过之间和面板封装成型、内部形成屏蔽微腔，所述屏蔽微腔的顶部面板形成机台台面，所述屏蔽微腔的前面板和所述顶部面板之间设置有可打开的门板；所述晶圆卡盘模块布置安装在所述屏蔽微腔内，所述屏蔽罩组件布置安装在所述机台台面上、并开口设计形成测试口连通所述屏蔽微腔，所述屏蔽罩组件的侧板上规则开有若干测试探针伸入口，所述若干测试探针模块围绕所述屏蔽罩组件外围布置安装、并将其前端的测试探针从所述测试探针伸入口伸入至所述屏蔽罩组件内部与所述晶圆卡盘模块上端装置的晶圆进行扎针测试工作，所述数字化显微镜模块通过显微镜桥架固定在所述机台台面上方，所述数字化显微镜模块前端的数字化显微镜从所述屏蔽罩组件的上端伸入至所述屏蔽罩组件内部对所述扎针测试工作进行影像记录工作。
2.如权利要求1所述的一种半自动探针台晶圆测试系统，其特征在于
3.如权利要求2所述的一种半自动探针台晶圆测试系统，其特征在于：所述底板的上表面和所述顶板的下表面分别设置有下屏蔽围栏定位槽和上屏蔽围栏定位槽，所述屏蔽围栏的上下两端分别通过所述上屏蔽围栏定位槽和所述下屏蔽围栏定位槽快速定位拼装在所述顶板和所述底板之间；所述顶板和所述底板之间通过若干固定柱和紧固件连接固定，所述若干固定柱绕所述屏蔽围栏外围规则布置、固定在所述底板上端，所述紧固件从所述顶板上端闯过所述顶板与所述固定柱拧紧、并将所述顶板与所述若干固定柱锁紧固定。
4.如权利要求3所述的一种半自动探针台晶圆测试系统，其特征在于：所述顶板上设置有顶盖安装槽口，并盖有顶盖，所述顶盖上则设置有方便数字化显微镜伸入的显微镜伸入口。
5.如权利要求2-4任一权利要求所述的一种半自动探针台晶圆测试系统，其特征在于：所述屏蔽围栏采用正棱柱体设计，采用正六变形或者正八边形结构形成正多边形屏蔽围栏，所述正多边形屏蔽围栏的每一面均设置有所述测试探针伸入口。
6.如权利要求5所述的一种半自动探针台晶圆测试系统，其特征在于：所述测试探针模块包括磁吸底座、若干微调滑台、测试探针安装座、探针臂、走线管和测试探针；所述若干微调滑台规则拼装形成XYZ轴微调滑台、并布置安装在所述磁吸底座上端，所述XYZ轴微调滑台依次通过所述测试探针安装座、所述探针臂和转接板对所述测试探针的位置进行微调，所述测试探针安装座的上端还设置有走线顶盖，所述走线管安装在所述走线顶盖的前端、并连通所述走线顶盖的内部，所述走线管设置在所述探针臂上方，所述走线顶盖的内部设置有引线架，所述顶盖上还设置有出线口，连接所述测试探针的线缆依次通过所述走线管和所述引线架，从所述顶盖上的出线口引出；所述测试探针通过所述探针臂和所述走线管从所述屏蔽罩组件上的测试探针伸入口伸入至所述屏蔽罩组件内部，所述探针臂和所述走线管中间位置均设置有方便伸入所述测试探针伸入口的扁平部。
7.如权利要求6所述的一种半自动探针台晶圆测试系统，其特征在于：所述走线顶盖上的所述出线口，开设在所述走线顶盖的上端，并设置在位于所述引线架的上端、与所述引线架连通，所述线缆依次通过所述走线管至所述走线顶盖内部，并通过所述引线架归整后，从所述引线架上端的所述出线口引出所述走线顶盖。
8.如权利要求1所述的一种半自动探针台晶圆测试系统，其特征在于：所述显示模块包括若干显示器，所述若干显示器均分别通过多轴调节轴组件灵活固定在显示器立杆的上端、并通过所述显示器立杆安装固定在所述测试机台的侧边；所述操控模块包括鼠标和键盘，所述鼠标和键盘放置在所述托盘上，所述托盘通过调节轴组件灵活固定在托盘立杆的上端、并通过所述托盘立杆安装固定在所述测试机台的侧边，所述托盘立杆和所述显示器立杆前后布置，从而将所述操控模块布置在所述显示模块的前方。
9.如权利要求1所述的一种半自动探针台晶圆测试系统，其特征在于：所述晶圆卡盘模块包括XYZθ四轴驱动平台和晶圆卡盘安装座，所述晶圆卡盘安装在所述晶圆卡盘安装座上端，所述XYZθ四轴驱动平台驱动所述晶圆卡盘在所述屏蔽...
【技术特征摘要】
1.一种半自动探针台晶圆测试系统，包括探针台模块和人机交互模块，其特征在于：所述探针台模块包括测试机台、晶圆卡盘模块、若干测试探针模块、数字化显微镜模块和屏蔽罩组件，人机交互模块则包括显示模块和操控模块；所述测试机台下端为减震光学平台，所述减震光学平台的上端四周和顶部通过之间和面板封装成型、内部形成屏蔽微腔，所述屏蔽微腔的顶部面板形成机台台面，所述屏蔽微腔的前面板和所述顶部面板之间设置有可打开的门板；所述晶圆卡盘模块布置安装在所述屏蔽微腔内，所述屏蔽罩组件布置安装在所述机台台面上、并开口设计形成测试口连通所述屏蔽微腔，所述屏蔽罩组件的侧板上规则开有若干测试探针伸入口，所述若干测试探针模块围绕所述屏蔽罩组件外围布置安装、并将其前端的测试探针从所述测试探针伸入口伸入至所述屏蔽罩组件内部与所述晶圆卡盘模块上端装置的晶圆进行扎针测试工作，所述数字化显微镜模块通过显微镜桥架固定在所述机台台面上方，所述数字化显微镜模块前端的数字化显微镜从所述屏蔽罩组件的上端伸入至所述屏蔽罩组件内部对所述扎针测试工作进行影像记录工作。
2.如权利要求1所述的一种半自动探针台晶圆测试系统，其特征在于：所述屏蔽罩组件包括底板、屏蔽围栏、若干挡板和顶板，所述屏蔽围栏作为所述屏蔽罩组件的侧边、设置在所述顶板和所述底板之间，所述底板上设置有与所述屏蔽微腔连通的测试口，所述若干测试探针伸入口规则设置在所述屏蔽围栏上，所述若干挡板插入至所述屏蔽围栏中或者固定在所述屏蔽围栏的内外侧，用于将空闲的测试探针伸入口遮挡关闭，只保留打开处于测试工作中的测试探针伸入口。
3.如权利要求2所述的一种半自动探针台晶圆测试系统，其特征在于：所述底板的上表面和所述顶板的下表面分别设置有下屏蔽围栏定位槽和上屏蔽围栏定位槽，所述屏蔽围栏的上下两端分别通过所述上屏蔽围栏定位槽和所述下屏蔽围栏定位槽快速定位拼装在所述顶板和所述底板之间；所述顶板和所述底板之间通过若干固定柱和紧固件连接固定，所述若干固定柱绕所述屏蔽围栏外围规则布置、固定在所述底板上端，所述紧固件从所述顶板上端闯过所述顶板与所述固定柱拧紧、并将所述顶板与所述若干固定柱锁紧固定。
4.如权利要求3所述的一种半自动探针台晶圆测试系统，其特征在于：所述顶板上设置有顶盖安装槽口，并盖有顶盖，所述顶盖上则设置有方便数字化显微镜伸入的显微镜伸入口。
5.如权利要求2-4任一权利要求所述的一种半自动探针台晶圆测试系统，其特征在于：所述屏蔽围栏采用正棱柱体设计，采用正六变形或者正八边形结构形成正多边形屏蔽...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘伟，张海洋，吕文波，
申请(专利权)人：苏州伊欧陆系统集成有限公司，
类型：发明
国别省市：
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