新型一体化射频测试探针制造技术

本实用新型专利技术公开了新型一体化射频测试探针，包括一体化设计的射频探针针尖和射频线缆，以及用于承载和固定所述射频线缆和射频探针针尖的射频探针针体，所述射频探针针尖焊接在所述射频线缆的前端，所述射频探针针尖的尖端处于同一水平面。本实用新型专利技术的通过将射频线缆与射频探针针头一体化设计，相比较传统分体式射频测试探针而言，在生产制作时变成一体化射频测试探针，省去了中间的互连转接，从而降低了由于互连转接引起的回波损耗高、阻抗不匹配、操作繁琐，不确定性高等问题的可能性。直接提高了系统的回波损耗性能，进而提高器件的测试性能，同时操作简单，降低了不确定性，提高了测试稳定性和一致性。测试稳定性和一致性。测试稳定性和一致性。

【技术实现步骤摘要】
新型一体化射频测试探针


[0001]本技术涉及晶圆测试探针
，具体涉及新型一体化射频测试探针。

技术介绍

[0002]随着5G技术的发展，射频器件在生活生产中扮演的角色越来越重要。在射频器件生产过程中，为了保证器件的稳定性和封装成品率，通常需要在晶圆级就对器件性能进行测试，然后再将符合指标要求的器件进行挑拣和封装，进一步提升最终成品的良率。
[0003]在现有技术中，通常是利用一组射频探针直接接触在待测器件的金属盘上，然后使用射频线缆一端连接在探针上，另一端连接在矢量网络分析仪上，测试时使用矢量网络分析仪将激励信号通过射频线缆和射频探针向所述射频器件施加测试信号，以判断其射频性能是否良好。
[0004]由于现有技术中在射频探针和射频线缆是通过射频转接头如2.92mm或1.85mm的公母转接头实现互连的。这种互连方式存在极大的技术局限性：
[0005]1.在互连过程中总会由于两者之间的特征阻抗不匹配或者不连续造成不必要的系统性能损失，造成实际测试到的器件性能偏低，影响测试结果。
[0006]2.两个接口之间可能因为存储环境不良，接口内部容易沾染灰尘等使得系统性能变差。
[0007]3.由于每次系统搭建均需要对射频探针和射频线缆使用力矩扳手进行固定，每个人的操作手法不同，紧固程度差异，也会对系统性能产生不良影响，这种多步操作会使得整个系统搭建操作繁杂，增加了不确定性。

技术实现思路

[0008]本技术提供一种新型一体化的射频测试探针，已解决现有射频探针针尖与射频线缆互联转接引起的回波损耗高、阻抗不匹配、操作繁琐，不确定性高等问题。
[0009]本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：
[0010]新型一体化射频测试探针，包括一体化设计的射频探针针尖和射频线缆，以及用于承载和固定所述射频线缆和射频探针针尖的射频探针针体，所述射频探针针尖焊接在所述射频线缆的前端，所述射频探针针尖的尖端处于同一水平面。
[0011]进一步的，所述射频线缆前端倾斜开口形成截面，开口角度于其前端水平端面而言，所述开口角度为40
°
～75
°
；所述射频探针针尖焊接在所述倾斜开口处的截面上。
[0012]进一步的，所述射频探针针尖包括地
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信号
‑
地(GSG)、地
‑
信号(GS)、信号
‑
地(SG)、地
‑
信号
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地
‑
信号
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地(GSGSG)、地
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信号
‑
信号
‑
地(GSSG)、信号
‑
信号(SS)、信号(S)。
[0013]优选的，相邻针尖尖端之间的中心间距为10μm～2000μm。
[0014]进一步的，所述射频探针针尖的信号端与所述射频线缆的同轴芯线连接，所述射频探针针尖的地端与所述射频线缆的外壳连接。
[0015]进一步的，所述射频线缆的尾端还设置有射频线缆接口，所述射频线缆接口用于
与测试仪表互联，所述测试仪表通过所述射频线缆施加激励信号给所述射频探针针尖，在通过所述射频探针针尖对待测器件进行信号激励，待产生反馈信号后，通过所述射频探针针尖传输所述反馈信号至所述射频线缆回传至所述测试仪表进行信号分析。
[0016]优选的，所述射频线缆采用半刚性同轴线缆。
[0017]优选的，在一实施例中，所述射频线缆的线缆直径≤5mm。
[0018]优选的，所述射频线缆的长度小于1.5米；在另一低频实施例中，所述射频线缆长度不做限制。
[0019]进一步的，所述射频探针针尖与所述射频线缆连接处还包裹有防护层，所述防护层内部还设置有电磁屏蔽层。
[0020]本技术的有益效果是：
[0021]本技术的通过将射频线缆与射频探针针头一体化设计，相比较传统分体式射频测试探针而言，在生产制作时变成一体化射频测试探针，省去了中间的互连转接，从而降低了由于互连转接引起的回波损耗高、阻抗不匹配、操作繁琐，不确定性高等问题的可能性。直接提高了系统的回波损耗性能，进而提高器件的测试性能，同时操作简单，降低了不确定性，提高了测试稳定性和一致性。
附图说明
[0022]图1为本技术的结构图；
[0023]图2为图1中A部放大后的俯视图；
[0024]图3为图2的侧视图；
[0025]图4为本技术一体化射频测试探针与分体式射频测试探针的回波损耗S参数；
[0026]图5为本技术一体化射频测试探针与分体式射频测试探针的插入损耗S参数；
[0027]图6为图4和图5中回波损耗和插入损耗S参数的数据对比；
[0028]图7为本技术应用实例；
[0029]图中标记为：
[0030]1、射频探针针体，2、射频探针针尖，3、射频线缆，4、射频线缆接口，5、射频探针针体，201、S端，202、G端，301、同轴芯。
具体实施方式
[0031]为使本技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本技术的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本技术。但是本技术能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本技术内涵的情况下做类似改进，因此本技术不受下面公开的具体实施例的限制。
[0032]除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本技术的
的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本技术的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本技术。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
[0033]本技术公开了一种新型一体化射频测试探针，如图1所示，包括射频探针针体
1、射频探针针尖2、射频线缆3和射频线缆接口4。
[0034]其中，射频探针针体1用于承载和固定射频探针针尖2与射频线缆3，同时实现与射频定位器之间的连接固定。如图7所示，通过将射频探针针体1固定在射频定位器前端的射频探针基座5上，再通过射频定位器实现射频探针的整体精确位移。在本技术中，射频线缆3穿过射频探针针体1，射频探针针体1上设置有紧固组件，通过紧固组件束紧和释放射频线缆3。射频线缆3也可通过胶连或夹具方式固定在射频探针针体1上。射频探针针体1根据实际需求而开发设计，如图1所示，在一实施例中，所述射频探针针尖外围设计为螺纹，从而通过螺纹拧紧固定在射频探针基座5上。
[0035]射频探针针尖2主要用于与待测射频器件的金属盘pad适配接触扎针。射频探针针尖的尖端类型包括但不限于地
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信号
‑
地(GSG)、地
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信号(GS)、信号
‑
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.新型一体化射频测试探针，其特征在于：包括一体化设计的射频探针针尖和射频线缆，以及用于承载和固定所述射频线缆和射频探针针尖的射频探针针体，所述射频探针针尖焊接在所述射频线缆的前端，所述射频探针针尖的尖端处于同一水平面。2.如权利要求1所述的新型一体化射频测试探针，其特征在于：所述射频线缆前端倾斜开口形成截面，开口角度于其前端水平端面而言，所述开口角度为40
°
～75
°
；所述射频探针针尖焊接在所述倾斜开口处的截面上。3.如权利要求1或2所述的新型一体化射频测试探针，其特征在于：所述射频探针针尖包括地
‑
信号
‑
地(GSG)、地
‑
信号(GS)、信号
‑
地(SG)、地
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信号
‑
地
‑
信号
‑
地(GSGSG)、地
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信号
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信号
‑
地(GSSG)、信号
‑
信号(SS)、信号(S)。4.如权利要求3...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘渊，张海洋，吕文波，
申请(专利权)人：苏州伊欧陆系统集成有限公司，
类型：新型
国别省市：