【技术实现步骤摘要】
一种应用于探针台的多通道测试装置
[0001]本技术涉及集成电路测试
，具体涉及一种应用于探针台的多通道测试装置。
技术介绍
[0002]随着科学技术的进步，在半导体集成电路的性能方面，相关的一些行业就提出了很高的要求。这在很大程度上促进了半导体集成电路的发展，整体而言，目前的半导体集成电路的发展的主要目标就是达到高度的准确性，但是随着生产的要求逐渐提高，制造的技术和过程比之前也复杂了很多。所以为了有效监测集成电路是否达到预定的可靠性和稳定性要求并降低生产成本，有必要采用一些方法对于集成电路的可靠性进行一定程度的检测。可靠性在实际的应用过程中产生着非常重要的作用。很多时候，可靠性被用来评估产品能否在规定条件下和规定的时间内完成特定的功能。
[0003]到目前为止，我国采用被动筛选的方法进行半导体的可靠性检测，但是被动筛选需要得到庞大的资金支持和人员维护，而且筛选的方式比较基础，通过不同环境下长时间测试完成，因此整个而言效率不是很高。
[0004]在现有技术中，芯片可靠性测试主要是通过探针在特定环境中进行测试，但由于每次测试的Die只有一个或者少数几个，基于时间较长，超大批量的测试而言，现在的测试设备和测试手段无法满足测试需求。而且随着客户的需求，同一张晶圆上也会分区域制作不同芯片，测试时需频繁更换探针，影响测试时间和测试效率。
[0005]现有的测试设备所提供的测试环境比较单一，导致测试结果准确性不足。同时，现有测试设备在测试过程中稳定性和调节范围较小不利于大批量测试和结构升级。>
技术实现思路
[0006]本技术解决的技术问题是提供一种可同时装备若干张探卡，每张探卡都能够进行水平快速移动，同时可以快速翻转更换探卡，每张探卡都能够进行四轴精确微调，从而组成应用于探针台的多通道测试装置。
[0007]本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：
[0008]一种应用于探针台的多通道测试装置，包括工作台，其特征在于：
[0009]所述工作台的台面上设置有显微镜位移台，其内部工作腔设置有探卡翻转位移台和晶圆卡盘机构；
[0010]所述显微镜位移台包括三轴位移组件，其前端设置有显微镜机构；
[0011]所述探卡翻转位移台包括探卡Y轴位移组件和若干探卡X轴位移组件，所述若干探卡X轴位移组件均通过探卡翻转机构滑动设置在所述探卡Y轴位移组件上；
[0012]所述若干探卡X轴位移组件上均滑动设置有若干探卡机构，所述若干探卡机构均包括探卡四轴微调滑台和探卡；
[0013]所述晶圆卡盘机构设置在所述探卡机构的下方。
[0014]进一步地，所述探卡四轴微调滑台包括探卡Z轴微调滑台、探卡X轴微调滑台、探卡Y轴微调滑台和探卡θ轴微调滑台；所述探卡机构通过探卡滑块滑动设置在所述探卡X轴位移组件的滑轨上，所述探卡Z轴微调滑台设置在所述探卡滑块的后端，所述探卡X轴微调滑台设置在所述探卡Z轴微调滑台的后端，所述探卡Y轴微调滑台通过L形转接板设置在所述探卡X轴微调滑台的下端，所述探卡θ轴微调滑台设置在所述探卡Y轴微调滑台的下端，所述探卡通过快拆机构设置所述探卡θ轴微调滑台的前端。
[0015]进一步地，所述探卡机构上还设置有线缆保护罩。
[0016]进一步地，所述探卡θ轴微调滑台包括θ轴转动板和θ轴限位块，所述θ轴转动板通过θ轴转动轴设置在所述探卡Y轴微调滑台的下端，所述θ轴限位块用于控制所述探卡θ轴微调滑台的转动角度。
[0017]进一步地，所述探卡翻转机构包括翻转底座和翻转上板，所述翻转上板转动设置在所述翻转底座上，所述翻转底座前后端均设置有用于吸附所述翻转上板的磁力扣；所述翻转底座下端通过所述探卡Y轴位移组件的滑块滑动设置在所述探卡Y轴位移组件的滑轨上，所述翻转上板上端固定有所述探卡X轴位移组件的滑轨。
[0018]进一步地，所述翻转上板为L形翻转上板，其前端还设置有翻转手柄。
[0019]进一步地，所述晶圆卡盘机构包括晶圆卡盘水平位移台、晶圆卡盘四轴微调组件和温控晶圆卡盘组件；所述晶圆卡盘四轴微调组件设置在所述晶圆卡盘水平位移台的上端，所述温控晶圆卡盘组件设置在所述晶圆卡盘四轴微调组件的上端。
[0020]进一步地，所述温控晶圆卡盘组件集成真空管路和真空吸盘。
[0021]进一步地，所述工作腔经隔离板隔离开来形成上下工作舱，所述隔离板上端设置有多组移动密封托盘，所述移动密封托盘采用中间开孔四周设置有挡板结构，从上到下多组移动密封托盘的中间开孔和尺寸依次增大，最上层的移动密封托盘中间开孔套在所述晶圆卡盘机构上，将所述晶圆卡盘机构上下隔离，上下各个移动密封托盘相对滑动，始终保持上下工作腔相互隔离。
[0022]进一步地，所述工作台前面还设置有调节面板和前门板。
[0023]本技术的有益效果是：
[0024]1.探卡翻转位移台集成若干探卡X轴位移组件，每个探卡X轴位移组件上装备若干探卡机构，可极大地提高单次测试数量，提高测试效率。而且每个探卡机构上可根据实际测试需求装备不同的探卡对晶圆中不同区域的芯片进行测试，进一步提高测试效率，降低测试成本。
[0025]2.探卡翻转位移台通过探卡翻转机构斜街每个探卡X轴位移组件和探卡Y轴位移组件，可快速的对探卡X轴位移组件上的若干探卡进行翻转，从而快速的更换探卡，方便测试人员的使用。
[0026]3.探卡机构通过大行程的探卡翻转位移台和小行程高精度的探卡四轴微调滑台的配合，驱动探卡在空间内任意移动和旋转，可实现大行程的快速移动和小行程的精确定位，可满足不同大小和高度芯片的扎针，极大地提升了单次测试数量和效率。
[0027]4.显微镜机构通过显微镜位移台，可实现显微镜机构在空间内任意移动，显微镜机构固定方便，可柔性调节，可满足不同测试人员的使用。
[0028]5.晶圆卡盘机构集成晶圆卡盘水平位移台、晶圆卡盘四轴微调滑台组件和温控晶
圆卡盘组件，大行程的晶圆卡盘水平位移台和小行程高精度的晶圆卡盘四轴微调滑台组件的配合，可实现温控晶圆卡盘组件在空间内任意移动和旋转，可实现大行程的快速移动和小行程的精准定位。
[0029]6.温控晶圆卡盘组件采用真空管路和真空吸盘，可快速的装载待测试晶圆，操作更简单，使用更方便。同时集成温控系统，可满足不同的温度环境搭建，模拟不同的测试环境。
[0030]7.工作台内部的工作舱通过隔离板和多组移动密封托盘的配合，有效的将晶圆卡盘机构的动力机构和温控晶圆卡盘组件相互隔离，有效的避免系统和外界环境对测试结果的影响。
附图说明
[0031]图1为本技术的立体结构图；
[0032]图2为图1的主视图；
[0033]图3为图1中标记为403的立体结构图；
[0034]图4为图3的变化图；
[0035]图5为图1中标记为5的立体结构图；
[0036]图6为图5另一视角的立体结构图；
[0037]图7为图1中标本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种应用于探针台的多通道测试装置，包括工作台(1)，其特征在于：所述工作台(1)的台面上设置有显微镜位移台(2)，其内部工作腔设置有探卡翻转位移台(4)和晶圆卡盘机构(6)；所述显微镜位移台(2)包括三轴位移组件，其前端设置有显微镜机构(3)；所述探卡翻转位移台(4)包括探卡Y轴位移组件(401)和若干探卡X轴位移组件(402)，所述若干探卡X轴位移组件(402)均通过探卡翻转机构(403)滑动设置在所述探卡Y轴位移组件(401)上；所述若干探卡X轴位移组件(402)上均滑动设置有若干探卡机构(5)，所述若干探卡机构(5)均包括探卡四轴微调滑台和探卡；所述晶圆卡盘机构(6)设置在所述探卡机构(5)的下方。2.如权利要求1所述的一种应用于探针台的多通道测试装置，其特征在于：所述探卡四轴微调滑台包括探卡Z轴微调滑台(501)、探卡X轴微调滑台(502)、探卡Y轴微调滑台(504)和探卡θ轴微调滑台(506)；所述探卡机构(5)通过探卡滑块(4021)滑动设置在所述探卡X轴位移组件(402)的滑轨上，所述探卡Z轴微调滑台(501)设置在所述探卡滑块(4021)的后端，所述探卡X轴微调滑台(502)设置在所述探卡Z轴微调滑台(501)的后端，所述探卡Y轴微调滑台(504)通过L形转接板设置在所述探卡X轴微调滑台(502)的下端，所述探卡θ轴微调滑台(506)设置在所述探卡Y轴微调滑台(504)的下端，所述探卡(507)通过快拆机构设置所述探卡θ轴微调滑台(506)的前端。3.如权利要求2所述的一种应用于探针台的多通道测试装置，其特征在于：所述探卡机构(5)上还设置有线缆保护罩(505)。4.如权利要求2所述的一种应用于探针台的多通道测试装置，其特征在于：所述探卡θ轴微调滑台(506)包括θ轴转动板和θ轴限位块，所述θ轴转动板通过θ轴转动轴设置在所述探卡Y轴微调滑台(504)的下端，所述θ轴限位块用于控制所述探卡θ轴微调滑台(506)的转动角度。5.如权利要求1所述的一种...
【专利技术属性】
技术研发人员：田腾腾，刘伟，张海洋，吕文波，
申请(专利权)人：苏州伊欧陆系统集成有限公司，
类型：新型
国别省市：
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