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本发明公开了一种半自动探针台晶圆测试系统，包括探针台模块和人机交互模块，所述探针台模块包括测试机台、晶圆卡盘模块、若干测试探针模块、数字化显微镜模块和屏蔽罩组件，人机交互模块则包括显示模块和操控模块。本发明通过在机台台面上端安装设置有屏蔽罩...
该专利属于苏州伊欧陆系统集成有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州伊欧陆系统集成有限公司授权不得商用。

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