【技术实现步骤摘要】
本申请涉及红外检测，特别涉及一种红外探测器及其制备方法。
技术介绍
1、红外探测器，具有检测能发射红外辐射波的物体的变化的作用。
2、传统的红外探测器是单独通过锆钛酸铅薄片进行加工成检测单元，导致锆钛酸铅薄片经过多次加工后容易碎裂，使红外探测器的组装工艺复杂，效率低下。
3、因此，有必要对现有的红外探测器进行改进。
技术实现思路
1、本申请提供一种红外探测器及其制备方法，旨在解决现有技术中红外探测器组装工艺复杂，效率低下的问题。
2、为实现上述目的，本申请提出一种红外探测器，包括：
3、光学镜片，所述光学镜片的材质为硅晶圆，所述光学镜片的厚度不超过0.2mm；
4、第一电极，设置于所述光学镜片的一侧；
5、导电炭黑涂层，涂布于所述光学镜片贴装有所述第一电极的一侧，并覆盖所述第一电极的表面；
6、红外探测元件，设置于所述导电炭黑涂层背离所述第一电极的一侧，所述红外探测元件的厚度范围在20～50μm之间；
7、第二电极，设置于所述红外探测元件远离所述光学镜片的一侧；
8、光学薄膜，设置于所述光学镜片背离所述第一电极的一侧，用于使红外光透过，并过滤其他波长的光。
9、在一些实施例中，所述红外探测元件包括锆钛酸铅薄膜以及钽酸锂薄膜中的一种。
10、在一些实施例中，所述光学镜片为菲涅尔透镜。
11、在一些实施例中，所述导电炭黑涂层的厚度不超过0.1m
12、在一些实施例中，所述第二电极包括第一子电极和第二子电极，所述第一子电极和所述第二子电极相对分布于所述红外探测元件的两侧。
13、在一些实施例中，所述第一电极设置于所述光学镜片的中央区域。
14、本申请还提供一种红外探测器的制备方法，所述制备方法包括：
15、提供一块硅晶圆制备的厚度不超过0.2mm的光学镜片，在所述光学镜片的一侧电镀或溅射形成第一电极；
16、在所述光学镜片设置有所述第一电极的表面均匀喷涂一层导电炭黑层，并使所述导电炭黑层覆盖所述第一电极的表面；
17、在所述导电炭黑层上通过溅射或涂覆设置一层厚度在20～50μm之间的红外探测元件；
18、在所述红外探测元件上电镀或溅射形成第二电极，以构建红外检测框架；
19、对所述红外检测框架进行烧结、极化处理；
20、在所述光学镜片背离所述第一电极的一侧电镀形成一层光学薄膜，完成红外探测器的制备。
21、在一些实施例中，所述烧结温度在400～450℃之间。
22、本申请技术方案，提出一种红外探测器，该红外探测器包括光学镜片、第一电极、导电炭黑涂层、红外探测元件、第二电极和光学薄膜，其中，第一电极设置于所述光学镜片的一侧；导电炭黑涂层涂布于所述光学镜片贴装有所述第一电极的一侧，并覆盖所述第一电极的表面；红外探测元件设置于所述导电炭黑涂层背离所述第一电极的一侧；第二电极设置于所述红外探测元件远离所述光学镜片的一侧；光学薄膜设置于所述光学镜片背离所述第一电极的一侧，用于使红外光透过，并过滤其他波长的光。本申请技术方案通过上述结构设置将光学薄膜与红外探测元件加工形成一体，可提供组装便捷性，且基于上述组件设置，能够实现对人体红外辐射的检测。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种红外探测器，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的红外探测器，其特征在于，所述红外探测元件包括锆钛酸铅薄膜以及钽酸锂薄膜中的一种。
3.根据权利要求1所述的红外探测器，其特征在于，所述光学镜片为菲涅尔透镜。
4.根据权利要求1所述的红外探测器，其特征在于，所述导电炭黑涂层的厚度不超过0.1mm。
5.根据权利要求1所述的红外探测器，其特征在于，所述第二电极包括第一子电极和第二子电极，所述第一子电极和所述第二子电极相对分布于所述红外探测元件的两侧。
6.根据权利要求1所述的红外探测器，其特征在于，所述第一电极设置于所述光学镜片的中央区域。
7.一种红外探测器的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括：
8.根据权利要求7所述的制备方法，其特征在于，所述烧结温度在400～450℃之间。
【技术特征摘要】
1.一种红外探测器，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的红外探测器，其特征在于，所述红外探测元件包括锆钛酸铅薄膜以及钽酸锂薄膜中的一种。
3.根据权利要求1所述的红外探测器，其特征在于，所述光学镜片为菲涅尔透镜。
4.根据权利要求1所述的红外探测器，其特征在于，所述导电炭黑涂层的厚度不超过0.1mm。
5.根据权利要求1所述的红外探测器...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘善长，曾果，罗永泉，
申请(专利权)人：广西天微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。