一种具有上下料功能的晶圆用解UV机制造技术

本技术提供了一种具有上下料功能的晶圆用解UV机，包括安装在机台上的解UV机本体，所述解UV机本体上具有用于放置晶圆片的抽拉式放料抽屉，所述解UV机本体上还具有推杆电机，所述推杆电机的推杆端部和抽拉式放料抽屉相连，所述机台上安装有立柱，所述立柱上设置有升降座，所述升降座与一能使其上下移动的驱动结构相连，所述升降座上通过可拆卸的方式安装有晶圆片储存盒，所述机台上固定有安装杆，所述安装杆上固定有动力电机，且动力电机的输出轴竖直布置，所述动力电机为双输出轴电机，所述动力电机的输出轴端部均固定有连接板，所述连接板上安装有气缸，且气缸的活塞杆竖直向下，所述气缸的活塞杆端部和取放杆相连，所述取放杆上安装有吸盘。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于机械，涉及一种具有上下料功能的晶圆用解uv机。

技术介绍

1、在半导体工业生产过程中，需要在晶圆的表面贴上uv膜以便于对晶圆进行加工，而在加工完成后又需要将uv膜去除掉，利用解uv机的uv灯照射后，uv膜的粘度降低，从而方便去除uv膜。经检索，如中国专利文献公开了一种晶圆uv除胶设备【申请号：2015200909512；公开号：cn204441252u】。这种设备需要人工将晶圆片取出或者放入，因此，设计出一种具有上下料功能的晶圆用解uv机是很有必要的。

技术实现思路

1、本技术的目的是针对现有的技术存在上述问题，提出了一种具有上下料功能的晶圆用解uv机。

2、本技术的目的可通过下列技术方案来实现：一种具有上下料功能的晶圆用解uv机，包括安装在机台上的解uv机本体，所述解uv机本体上具有用于放置晶圆片的抽拉式放料抽屉，其特征在于，所述解uv机本体上还具有推杆电机，所述推杆电机的推杆端部和抽拉式放料抽屉相连，所述机台上安装有立柱，所述立柱上设置有升降座，所述升降座与一能使其上下移动的驱动结构相连，所述升降座上通过可拆卸的方式安装有晶圆片储存盒，所述机台上固定有安装杆，所述安装杆上固定有动力电机，且动力电机的输出轴竖直布置，所述动力电机为双输出轴电机，所述动力电机的输出轴端部均固定有连接板，所述连接板上安装有气缸，且气缸的活塞杆竖直向下，所述气缸的活塞杆端部和取放杆相连，所述取放杆上安装有吸盘。

3、所述驱动结构包括伺服电机、导轨、滑块、丝杆和螺母，所述导轨竖直固定在立柱上，所述滑动设置在导轨上，所述丝杆竖直转动安装在立柱上，所述丝杆上端与伺服电机的输出轴相连，所述伺服电机的机身安装在立柱上，所述螺母螺纹连接在丝杆上，所述螺母和滑块同时与升降座相连。

4、所述机台上还开设有与晶圆片储存盒相配合的让位槽。

5、所述晶圆片储存盒具有呈上下布置的若干置物层。

6、所述机台上还开设有散热孔。

7、与现有技术相比，本具有上下料功能的晶圆用解uv机具有该优点：

8、本技术中晶圆片储存盒可根据需要逐渐向上移动，与动力电机相配合，使取放杆转动到所需位置，其中一个吸盘将照射后的晶圆片取下放入到晶圆片储存盒处，而另一个吸盘将待照射的晶圆片放入到抽拉式放料抽屉处，从而实现自动上下料。

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【技术保护点】

1.一种具有上下料功能的晶圆用解UV机，包括安装在机台(13)上的解UV机本体(1)，所述解UV机本体(1)上具有用于放置晶圆片的抽拉式放料抽屉(1b)，其特征在于，所述解UV机本体(1)上还具有推杆电机(1a)，所述推杆电机(1a)的推杆端部和抽拉式放料抽屉(1b)相连，所述机台(13)上安装有立柱(10)，所述立柱(10)上设置有升降座(7)，所述升降座(7)与一能使其上下移动的驱动结构相连，所述升降座(7)上通过可拆卸的方式安装有晶圆片储存盒(11)，所述机台(13)上固定有安装杆(12)，所述安装杆(12)上固定有动力电机(6)，且动力电机(6)的输出轴竖直布置，所述动力电机(6)为双输出轴电机，所述动力电机(6)的输出轴端部均固定有连接板(5)，所述连接板(5)上安装有气缸(4)，且气缸(4)的活塞杆竖直向下，所述气缸(4)的活塞杆端部和取放杆(3)相连，所述取放杆(3)上安装有吸盘(2)。

2.根据权利要求1所述的一种具有上下料功能的晶圆用解UV机，其特征在于，所述驱动结构包括伺服电机(14)、导轨(9)、滑块(8)、丝杆(15)和螺母(16)，所述导轨(9)竖直固定在立柱(10)上，所述滑块设置在导轨(9)上，所述丝杆(15)竖直转动安装在立柱(10)上，所述丝杆(15)上端与伺服电机(14)的输出轴相连，所述伺服电机(14)的机身安装在立柱(10)上，所述螺母(16)螺纹连接在丝杆(15)上，所述螺母(16)和滑块(8)同时与升降座(7)相连。

3.根据权利要求1所述的一种具有上下料功能的晶圆用解UV机，其特征在于，所述机台(13)上还开设有与晶圆片储存盒(11)相配合的让位槽(13a)。

4.根据权利要求1所述的一种具有上下料功能的晶圆用解UV机，其特征在于，所述晶圆片储存盒(11)具有呈上下布置的若干置物层(11a)。

5.根据权利要求3所述的一种具有上下料功能的晶圆用解UV机，其特征在于，所述机台(13)上还开设有散热孔(13b)。

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【技术特征摘要】

1.一种具有上下料功能的晶圆用解uv机，包括安装在机台(13)上的解uv机本体(1)，所述解uv机本体(1)上具有用于放置晶圆片的抽拉式放料抽屉(1b)，其特征在于，所述解uv机本体(1)上还具有推杆电机(1a)，所述推杆电机(1a)的推杆端部和抽拉式放料抽屉(1b)相连，所述机台(13)上安装有立柱(10)，所述立柱(10)上设置有升降座(7)，所述升降座(7)与一能使其上下移动的驱动结构相连，所述升降座(7)上通过可拆卸的方式安装有晶圆片储存盒(11)，所述机台(13)上固定有安装杆(12)，所述安装杆(12)上固定有动力电机(6)，且动力电机(6)的输出轴竖直布置，所述动力电机(6)为双输出轴电机，所述动力电机(6)的输出轴端部均固定有连接板(5)，所述连接板(5)上安装有气缸(4)，且气缸(4)的活塞杆竖直向下，所述气缸(4)的活塞杆端部和取放杆(3)相连，所述取放杆(3)上安装有吸盘(2)。

2.根据权利要求1所述的一种具有上下料功...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄嘉，陆玉远，杨琦，沈智强，
申请(专利权)人：浙江联康沃源电子股份有限公司，
类型：新型
国别省市：