一种用于晶圆的超声波清洁装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种用于晶圆的超声波清洁装置

【技术实现步骤摘要】
一种用于晶圆的超声波清洁装置


[0001]本技术属于晶圆加工
，涉及一种超声波清洁装置，特别是一种用于晶圆的超声波清洁装置
。

技术介绍

[0002]晶圆在经过切割加工后表面会残留一些污垢或灰尘，需要对其进行清洁处理，而由于晶圆的材质和表面性质的要求，需要用到超声波来对其进行清洁
。
现有的超声波清洁装置在清洁晶圆时，由于晶圆需要放置在晶圆盒中一起清洁，晶圆与晶圆盒接触部分的清洁效果较差，因此，设计出一种用于晶圆的超声波清洁装置是很有必要的
。

技术实现思路

[0003]本技术的目的是针对现有的技术存在上述问题，提出了一种用于晶圆的超声波清洁装置
。
[0004]本技术的目的可通过下列技术方案来实现：一种用于晶圆的超声波清洁装置，包括机架，其特征在于，所述机架上设置有清洁槽，所述清洁槽底部安装有超声波发生器，所述清洁槽的侧面安装有用于晶圆辅助清洁的辅助机构，所述机架的内侧安装有导轨，所述导轨上通过驱动件安装有滑块，所述滑块上安装有用于移动晶圆盒的移动支架，所述机架顶部安装有推杆电机一，推杆电机一的杆部连接有安装件一，所述安装件一通过固定件与一固定盖相连，所述固定盖能够与晶圆盒顶部相配合，所述机架上安装有用于控制各机构的控制面板
。
[0005]本技术的工作原理如下：在清洁槽内放满清洁液，将需要清洁晶圆放置在晶圆盒内，将晶圆盒放置在移动支架上，启动推杆电机一推出固定盖，使其与晶圆盒相配合，配合后推杆电机一的杆部收回，再通过驱动件驱动移动支架向下移动，使晶圆盒没入清洁槽内，启动超声波发生器，对晶圆进行超声波清洗，同时通过启动辅助机构辅助清洁晶圆与晶圆盒接触的部分；清洗完成后，通过驱动件驱动移动支架向上移动，使晶圆盒离开清洁槽，当晶圆盒完全离开清洁槽后，启动推杆电机一将固定盖与晶圆盒分离，晶圆的超声波清洁完成
。
[0006]所述辅助机构包括旋转电机
、
安装件二
、
推杆电机二和定位件，所述旋转电机安装在机架上，旋转电机的输出轴上安装有安装件二，安装件二上安装有推杆电机二，推杆电机二的杆部安装有定位件
。
[0007]采用上述结构，通过推杆电机二推动定位件对晶圆盒和固定盖组成的组合件进行定位固定，再通过旋转电机来控制组合件进行旋转，达到辅助清洁的效果
。
[0008]所述固定件包括若干伸缩件和一用于控制伸缩件伸缩的驱动装置，所述驱动装置安装在安装件一内部，伸缩件安装在驱动装置的输出端上，所述固定盖顶部开设有与安装件一形状相同的安装槽，所述安装槽内设置有与固定件相配合的固定槽
。
[0009]采用上述结构，通过驱动装置控制伸缩件伸缩，从而实现固定盖与安装件一的固
定和脱离
。
[0010]所述固定盖内设置有晶圆盒内部相同的分隔板
。
[0011]采用上述结构，辅助固定晶圆的位置
。
[0012]所述机架上设置有用于放置晶圆盒的放置槽
。
[0013]所述清洁槽底部设置有水管，水管上安装有电动阀门
。
[0014]采用上述结构，方便更换清洁液
。
[0015]与现有技术相比，本用于晶圆的超声波清洁装置具有该优点：本技术通过设置了辅助机构，能够在晶圆超声波清洁时，通过将晶圆盒持续旋转，来达到清洁晶圆与晶圆盒接触的部分，使晶圆清洁效果更好
。
附图说明
[0016]图1是本技术的结构示意图
。
[0017]图2是本技术的内部结构示意图
。
[0018]图3是本技术中固定盖的结构示意图
。
[0019]图4是本技术中固定盖与晶圆盒配合后的结构示意图
。
[0020]图中，
1、
机架；
2、
清洁槽；
3、
超声波发生器；
4、
导轨；
5、
滑块；
6、
移动支架；
7、
推杆电机一；
8、
安装件一；
9、
固定盖；
10、
旋转电机；
11、
安装件二；
12、
推杆电机二；
13、
定位件；
14、
伸缩件；
15、
固定槽；
16、
分隔板；
17、
放置槽；
18、
水管；
19、
电动阀门
。
具体实施方式
[0021]以下是本技术的具体实施例并结合附图，对本技术的技术方案作进一步的描述，但本技术并不限于这些实施例
。
[0022]如图1‑4所示，本用于晶圆的超声波清洁装置，包括机架1，机架1上设置有清洁槽2，清洁槽2底部安装有超声波发生器3，清洁槽2的侧面安装有用于晶圆辅助清洁的辅助机构，机架1的内侧安装有导轨4，导轨4上通过驱动件安装有滑块5，滑块5上安装有用于移动晶圆盒的移动支架6，机架1顶部安装有推杆电机一7，推杆电机一7的杆部连接有安装件一8，安装件一8通过固定件与一固定盖9相连，固定盖9能够与晶圆盒顶部相配合，机架上安装有用于控制各机构的控制面板
。
[0023]本技术中导轨4安装自机架1顶部至清洁槽2内
。
[0024]本技术中超声波发生器3采用现有的超声波发生装置
。
[0025]本技术中驱动件采用现有的装置，如直线电机等
。
[0026]本技术中移动支架6为采用
L
形支架
。
[0027]辅助机构包括旋转电机
10、
安装件二
11、
推杆电机二
12
和定位件
13
，旋转电机
10
安装在机架1上，旋转电机
10
的输出轴上安装有安装件二
11
，安装件二
11
上安装有推杆电机二
12
，推杆电机二
12
的杆部安装有定位件
13。
[0028]本技术中定位件
13
内侧形状与晶圆盒相对应
。
[0029]固定件包括若干伸缩件
14
和一用于控制伸缩件
14
伸缩的驱动装置，驱动装置安装在安装件一8内部，伸缩件
14
安装在驱动装置的输出端上，固定盖9顶部开设有与安装件一8形状相同的安装槽，安装槽内设置有与固定件相配合的固定槽
15。
[0030]本技术中驱动装置采用现有的结构，如异形齿轮
、
弹簧拨块等结构
。
[0031]固定盖9内设置有晶圆盒内部相同本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种用于晶圆的超声波清洁装置，包括机架
(1)
，其特征在于，所述机架
(1)
上设置有清洁槽
(2)
，所述清洁槽
(2)
底部安装有超声波发生器
(3)
，所述清洁槽
(2)
的侧面安装有用于晶圆辅助清洁的辅助机构，所述机架
(1)
的内侧安装有导轨
(4)
，所述导轨
(4)
上通过驱动件安装有滑块
(5)
，所述滑块
(5)
上安装有用于移动晶圆盒的移动支架
(6)
，所述机架
(1)
顶部安装有推杆电机一
(7)
，推杆电机一
(7)
的杆部连接有安装件一
(8)
，所述安装件一
(8)
通过固定件与一固定盖
(9)
相连，所述固定盖
(9)
能够与晶圆盒顶部相配合，所述机架上安装有用于控制各机构的控制面板
。2.
根据权利要求1所述的一种用于晶圆的超声波清洁装置，其特征在于，所述辅助机构包括旋转电机
(10)、
安装件二
(11)、
推杆电机二
(12)
和定位件
(13)
，所述旋转电机
(10)
安装在机架
...

【专利技术属性】
技术研发人员：殷秋鹤，沈智强，刘烽，陆玉远，
申请(专利权)人：浙江联康沃源电子股份有限公司，
类型：新型
国别省市：