【技术实现步骤摘要】
本技术属于自动晶圆研磨机，涉及一种用于自动晶圆研磨机的取放辅助机构。
技术介绍
1、晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅，硅晶棒在经过切割后，会在晶圆片上留下细微的痕迹，所以需要经过自动晶圆研磨机的研磨工序，帮助晶圆片进行抛光。
2、现有自动晶圆研磨机一次可以装载二十五片晶圆，由于没有专门的取放辅助结构，一般是将晶圆周转盒直接放在机体内部，需要打开机罩才能进行备料，这样每次备料比较麻烦，因此，设计出一种用于自动晶圆研磨机的取放辅助机构是很有必要的。
技术实现思路
1、本技术的目的是针对现有的技术存在上述问题，提出了一种用于自动晶圆研磨机的取放辅助机构。
2、本技术的目的可通过下列技术方案来实现：一种用于自动晶圆研磨机的取放辅助机构，包括用于与自动晶圆研磨机机架相连的安装座，其特征在，还包括旋转摇臂和储存箱，所述旋转摇臂一端和安装座转动连接，所述旋转摇臂另一端和储存箱相连，所述储存箱上具有用于存放晶圆的储存腔，且储存腔的取放口位于上部，所述储存腔内设置有高度调控盘，所述高度调控盘和推杆电机的推杆相连，所述推杆电机的机身安装在储存箱上，所述储存箱上还水平安装有用于放置吸盘的放置台，所述吸盘上安装有把手。
3、所述储存箱上安装有拉手一。
4、所述储存箱上安装有电控按钮，所述推杆电机通过线路与该电控按钮电联。
5、所述放置台上还具有防滑垫。>
6、所述高度调控盘上具有连接耳，所述连接耳和推杆电机的推杆相连。
7、所述高度调控盘上还开设有若干过孔。
8、所述储存箱上通过可拆卸的方式还设置有集料抽屉，所述集料抽屉上具有拉手二。
9、与现有技术相比，本用于自动晶圆研磨机的取放辅助机构具有该优点：
10、本技术中可在外部就事先将需要研磨的晶圆储存在储存箱内，在需要装载晶圆时，在旋转摇臂的配合下，可将储存箱移动到机体内部所需的位置，通过推杆电机带动高度调控盘上下移动，使储存箱内最上层的晶圆位于合适的位置，且可以利用吸盘对晶圆进行取放。
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1.一种用于自动晶圆研磨机的取放辅助机构，包括用于与自动晶圆研磨机机架相连的安装座(1)，其特征在，还包括旋转摇臂(2)和储存箱(3)，所述旋转摇臂(2)一端和安装座(1)转动连接，所述旋转摇臂(2)另一端和储存箱(3)相连，所述储存箱(3)上具有用于存放晶圆的储存腔(3a)，且储存腔(3a)的取放口位于上部，所述储存腔(3a)内设置有高度调控盘(4)，所述高度调控盘(4)和推杆电机(9)的推杆相连，所述推杆电机(9)的机身安装在储存箱(3)上，所述储存箱(3)上还水平安装有用于放置吸盘(13)的放置台(8)，所述吸盘(13)上安装有把手(12)。
2.根据权利要求1所述的一种用于自动晶圆研磨机的取放辅助机构，其特征在于，所述储存箱(3)上安装有拉手一(6)。
3.根据权利要求1所述的一种用于自动晶圆研磨机的取放辅助机构，其特征在于，所述储存箱(3)上安装有电控按钮(5)，所述推杆电机(9)通过线路与该电控按钮(5)电联。
4.根据权利要求1所述的一种用于自动晶圆研磨机的取放辅助机构，其特征在于，所述放置台(8)上还具有防滑垫(7)。
<...【技术特征摘要】
1.一种用于自动晶圆研磨机的取放辅助机构，包括用于与自动晶圆研磨机机架相连的安装座(1)，其特征在，还包括旋转摇臂(2)和储存箱(3)，所述旋转摇臂(2)一端和安装座(1)转动连接，所述旋转摇臂(2)另一端和储存箱(3)相连，所述储存箱(3)上具有用于存放晶圆的储存腔(3a)，且储存腔(3a)的取放口位于上部，所述储存腔(3a)内设置有高度调控盘(4)，所述高度调控盘(4)和推杆电机(9)的推杆相连，所述推杆电机(9)的机身安装在储存箱(3)上，所述储存箱(3)上还水平安装有用于放置吸盘(13)的放置台(8)，所述吸盘(13)上安装有把手(12)。
2.根据权利要求1所述的一种用于自动晶圆研磨机的取放辅助机构，其特征在于，所述储存箱(3)上安装有拉手一(6)。
3.根据权利要求1所述的一种用于自动晶圆研磨机的取...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘烽，郁曹佳，沈新杰，杨琦，
申请(专利权)人：浙江联康沃源电子股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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