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本技术提供了一种用于自动晶圆研磨机的取放辅助机构，包括用于与自动晶圆研磨机机架相连的安装座，其特征在，还包括旋转摇臂和储存箱，所述旋转摇臂一端和安装座转动连接，所述旋转摇臂另一端和储存箱相连，所述储存箱上具有用于存放晶圆的储存腔，且储存腔的...
该专利属于浙江联康沃源电子股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江联康沃源电子股份有限公司授权不得商用。

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