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本技术提供了一种具有上下料功能的晶圆用解UV机，包括安装在机台上的解UV机本体，所述解UV机本体上具有用于放置晶圆片的抽拉式放料抽屉，所述解UV机本体上还具有推杆电机，所述推杆电机的推杆端部和抽拉式放料抽屉相连，所述机台上安装有立柱，所述立...
该专利属于浙江联康沃源电子股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江联康沃源电子股份有限公司授权不得商用。

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