供气装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种包括加热器的供气装置，能实现其小型化及高度集成化，所述加热器对流通于流路内的气体加热。供气装置（１０）中，各流路块（２０）形成为长条状延伸的长方体状并包括搭载有多个开闭阀（５０）的顶面（２０ａ）。开闭阀（５０）沿顶面（２０ａ）的长度方向直列式排列。多个流路块（２０）并行排列使得在宽度方向夹持顶面（２０ａ）的两侧面（２０ｃ）彼此相邻。在多个流路块（２０）的相邻侧面（２０ｃ）夹持加热器（３１）的状态下，多个流路块（２０）形成为一体。加热器（３１）形成为膜状，其两面与流路块（２０）的侧面（２０ｃ）相向且沿着流路块（２０）的长度方向延伸。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及具有对流路中流通的气体进行加热的加热器的供气装置。
技术介绍
以往，在半导体制造工序中，使用供气装置向薄膜生成装置、干式蚀刻装置等处理 设备供给处理气体(例如，参考专利文献1)。专利文献1中记载的供气装置包括多列相互 平行设置的供气部。在各供气部中，内部形成有气体流路的多个流路块配置在直线上，且在 流路块上设有分别开闭各流路块的气体流路的开闭阀。专利文献1 日本国专利申请公开公报“特开2003-91322号”专利文献2 日本国专利申请公开公报“特开平7-74113号”
技术实现思路
然而，根据专利文献1中记载的供气装置，有时会使用在常温下易液化的处理气 体。这种情况下，为了抑制处理气体的液化，如专利文献2中所述，可以考虑采用以下结构 将带状的加热器缠于气体配管的结构、从流路块的长度方向观察两侧面贴有片状的加热器 的结构、和将棒状的加热器埋设于流路块的结构等。但是，由于供气装置的小型化及高度集成化，可能难以确保用于安装上述带状加 热器或片状加热器的空间或者用于将棒状的加热器埋设于流路块所需的空间。本专利技术是鉴于以上情况而提出的，主要目的在于提供一种具有对流路内流通的气 体进行加热的加热器的、能够实现小型化及高度集成化的供气装置。为了解决上述问题，本专利技术第1方面提供一种供气装置，包括内部设有流路的多 个流路块、分别改变各流路块的所述流路中流通的气体的流通状态的开闭阀、以及对所述 流路中流通的气体进行加热的加热器，其特征在于，所述各流路块形成为长条状延伸的长 方体状并包括搭载有多个开闭阀的阀搭载面，所述开闭阀沿所述阀搭载面的长度方向进行 直列式排列，所述多个流路块并行排列使得在宽度方向夹持所述阀搭载面的两侧面彼此相 邻，在所述多个流路块的所述相邻侧面夹持所述加热器的状态下所述多个流路块形成为一 体。根据上述结构，气体在设置于各流路块内部的流路中流通，这些气体的流通状态 分别通过开闭阀进行改变。此外，通过加热器对流路块的流路中流通的气体进行加热。各流路块形成为呈长条状延伸的长方体状，多个开闭阀在阀搭载面上沿长度方向 进行直列式排列。并且，所述多个流路块并行排列使得在宽度方向夹持所述阀搭载面的两 侧面彼此相邻，因此，能够集成多个流路块使得流路块整体呈长方体状。这里，在所述多个流路块的所述相邻侧面夹持所述加热器的状态下所述多个流路 块形成为一体，因此，可以通过1个加热器的两面加热相邻的2个流路块。因此，不必在相 邻流路块之间分别设置加热各流路块的加热器，能够缩小用于安装加热器的空间。此外，由 于无需在流路块之间设置间隙，所以能够缩小流路块与流路块之间的间隔。其结果，具有对3流路内流通的气体进行加热的加热器的供气装置能够实现小型化及高度集成化。此外，由于流路块与加热器两侧抵接，所以，较之于流路块与加热器的单侧抵接的 情况，本专利技术能够有效地将加热器的热量传给流路块。换言之，能够减少从加热器向流路块 以外的部分逃逸的热量。本专利技术第2方面在于，在本专利技术第1方面中，所述加热器形成为片状或膜状，其两 面与所述流路块的所述侧面相向并沿所述长度方向延伸，所以，能够减小加热器本身的厚 度并能沿着流路块的侧面配置加热器。因此，能够缩小流路块与流路块之间的间隔，并能够 提高加热器向流路块侧面的热传导效率。进而，在加热器中，和与流路块侧面抵接部分的面 积相比，未与流路块侧面抵接的部分即端面的面积变小，因此能进一步地减少从加热器向 流路块以外的部分逃逸的热量。本专利技术第3方面在于，在本专利技术第2方面中，包括在所述加热器被所述多个流路块 的所述相邻侧面挤压的状态下固定所述多个流路块的固定机构，因此，能够抑制在所述流 路块的侧面和加热器之间形成间隙。所以，能够进一步提高加热器向流路块侧面的热传导效率。通常，供气装置中设有向多个流路块的各流路分配供给通用的吹扫气体的配管。因此，本专利技术第4方面在于，在本专利技术第3方面中，所述固定机构包括将通用的气 体分配供给给所述多个流路块的各流路的供给部件，因此能够利用分配供给气体的供给部 件来形成固定机构。所以，能够防止供给增加供气装置的组成部件，并提高加热器向流路块 侧面的热传导效率。本专利技术第5专利技术在于，在本专利技术第1或第2方面中，所述多个流路块的所述相邻侧 面设有凹部，所述凹部收纳所述加热器，所述相邻侧面以所述凹部以外的部分抵接。根据上述结构，由于所述多个流路块的所述相邻侧面设有凹部、且所述加热器收 纳于所述凹部，所以能够通过凹部吸收加热器的厚度。因此，能进一步缩小流路块彼此之间 的间隔。此外，由于流路块的相邻侧面以所述凹部以外的部分抵接，所以，无论加热器的配 设情况如何，都能使流路块与流路块的相对位置保持一定。有时人们希望不对并行排列的多个流路块的相邻侧面中的一个侧面加热。因此，本专利技术第6方面在于，在本专利技术第1至第5任一方面中，所述多个流路块的所 述相邻侧面中的一个侧面和所述加热器之间设置有隔热部件，所以，能够通过隔热部件减少 加热器向一个侧面传导的热量。因此，能够防止对多个流路块的相邻侧面中的一个侧面加热。本专利技术第7方面在于，在第1至第6任一方面中，所述开闭阀是电磁阀，所述电磁 阀在其线圈的外周具有壳体，且供气装置具有连接所述电磁阀的所述壳体和所述阀搭载面 的导热部件，所以电磁阀的线圈产生的热能够通过导热部件传导给流路块。因此，能将电磁 阀产生的热用于气体的加热，所以能够使用发热量小的加热器。特别地，在组合本专利技术第3方面和第7方面的情况下，固定所述多个流路块的固定 机构兼用作连接所述电磁阀的所述壳体和所述阀搭载面的导热部件，这样能够防止供气装 置的组成部件的增加，并起到本专利技术上述两方面的作用。附图说明图1是供气装置的立体图。图2是在宽度方向上剖切供气单元的截面图。图3是图2中3-3线的截面图。图4是供气装置的仰视图。图5是供气装置的主视图。图6是表示供气装置的变形例的主视图。图7是表示供气装置的另一变形例的立体图。附图标记说明10:供气装置20 流路块20a 作为阀搭载面的顶面20c 侧面31 加热器50:开闭阀具体实施例方式下面，参照附图对具体表现本专利技术的一实施方式进行说明。如图1所示，供气装置10包括多个相同结构的供气单元11。供气单元11包括形成为以长条状延伸的长方体状的流路块20、及多个开闭阀 50(50A)。流路块20的顶面20a(阀搭载面)搭载有多个开闭阀50。开闭阀50沿顶面20a 的长度方向直列式排列。开闭阀50呈柱状。流路块20的顶面20a的宽度与同方向上的开 闭阀50的宽度大致相等。多个供气单元11并行排列，使得流路块20中在宽度方向夹持顶面20a的两侧面 20c彼此相邻。即，多个供气单元11中，在流路块20的顶面20a的宽度方向(与长度方向 垂直相交的方向)上，流路块20的侧面20c彼此相向。并行排列的流路块20的相邻的两侧面20c之间设有加热器31。此外，在这些流 路块20中配置在宽度方向的两端的流路块20中，在成为供气装置10的外周面的侧面20c 上设有加热器31。加热器31形成为膜状(例如约0. 3mm的厚度)，且具有挠性。加热器31 在未施加力的状态下保持其形状，具有形状保持性。加热器31沿流路块20的长度方向延 伸。加热器31形成为矩形形状。加热器31的长本文档来自技高网...

【技术保护点】
供气装置，包括多个内部设有流路的流路块、对各流路块的所述流路中流通的气体的流通状态分别进行改变的开闭阀、以及对所述流路中流通的气体进行加热的加热器，其特征在于，所述各流路块形成为呈长条状延伸的长方体状，包括搭载有多个所述开闭阀的阀搭载面；所述开闭阀沿所述阀搭载面的长度方向进行直列式配置；所述多个流路块并行排列使得在宽度方向夹持所述阀搭载面的两侧面彼此相邻；在所述多个流路块的所述相邻侧面夹持所述加热器的状态下，所述多个流路块形成为一体。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：加藤启介，西田成伸，三轮敏一，
申请(专利权)人：CKD株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]