【技术实现步骤摘要】
本技术涉及检测，尤其涉及一种光阑切换装置及检测设备。
技术介绍
1、半导体晶圆的制造工艺一般都经过很多复杂的工序，任何环节的微小错误都将导致整个芯片失效，特别是随着电路关键尺寸的不断缩小，其对工艺控制的要求就越严格，所以在生产过程中，为能及时地发现和解决问题，就必须配备相应的检测设备以对晶圆进行缺陷检测。
2、相关技术中，由于半导体晶圆的检修需求，需要快速地关闭检测设备的照明光路。为了实现快速地关闭检测设备的照明光路，检测设备的控制系统控制光源电路的电压为零。然而，通过上述方式快速地关闭检测设备的照明光路，检测设备的照明光路再次打开时，可能需要重新校准检测设备的照明光路，因此，可能影响检测设备的工作效率。
技术实现思路
1、本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本技术提出一种光阑切换装置，能够较佳地检测半导体晶圆以及快速对照明光路进行关闭或打开。
2、本技术还提出了具有上述光阑切换装置的一种检测设备。
3、第一方面，本申请实施例提供了光阑切换装置，包括：
4、支架；
5、光阑切换板，所述光阑切换板设置有多组通光部，所述光阑切换板活动设置于所述支架，以使各组所述通光部能够切换至通光位；
6、遮挡件，活动设置于所述支架，以在避让位与遮挡位之间转换，其中，当所述遮挡件在避让位时，以允许外部的光线能够从所述通光部传输至待检测元件，所述遮挡件在所述遮挡位时，所述遮挡件遮挡位于所述遮挡位的通光部，以阻挡外部
7、根据本技术的一些实施例，所述光阑切换装置包括与所述遮挡件相连接的驱动组件，所述驱动组件用于驱动所述遮挡件在所述避让位与所述遮挡位之间转换。
8、根据本技术的一些实施例，所述驱动组件包括设置于所述支架的第一驱动件，所述第一驱动件与所述遮挡件相连接，用于驱动所述遮挡件在所述避让位与所述遮挡位之间转换；其中，所述第一驱动件至少为气缸与直线电机其中之一。
9、根据本技术的一些实施例，所述第一驱动件为气动滑台，所述气动滑台具有滑台；所述遮挡件具有翻边，所述翻边与所述滑台相连接。
10、根据本技术的一些实施例，所述驱动组件包括相连接的第二驱动件与传动结构，所述第二驱动件设置于所述支架，所述传动结构与所述遮挡件相连接，所述传动结构用于将所述第二驱动件输出的旋转运动转换为直线运动，所述第二驱动件通过所述传动结构驱动所述遮挡件在所述避让位与所述遮挡位之间转换。
11、根据本技术的一些实施例，所述传动结构至少为曲柄连杆结构、丝杆传动结构与齿轮齿条结构其中之一。
12、根据本技术的一些实施例，所述光阑切换装置还包括第一传感器和/或第二传感器，所述第一传感器用于感应所述遮挡件运动至所述避让位，所述第二传感器用于感应所述遮挡件运动至所述遮挡位。
13、根据本技术的一些实施例，所述光阑切换板与所述支架转动连接，以使各组通光部能够切换至所述通光位；其中，位于所述通光位的通光部设置于所述光阑切换板的下部。
14、根据本技术的一些实施例，所述光阑切换装置还包括与所述光阑切换板相连接的第三驱动件，所述第三驱动件用于驱动所述光阑切换板旋转，以使各组通光部能够切换至所述通光位。
15、根据本技术的一些实施例，至少一个所述通光部为设置于所述光阑切换板的边沿的缺口。
16、根据本技术的一些实施例，所述遮挡件设置于所述光阑切换板靠近光源的一侧，以能够在所述遮挡位时挡住所述通光部的进光口。
17、根据本技术的一些实施例，所述光阑切换装置还包括设置于所述支架的调节组件，所述调节组件至少用于沿x轴、y轴与z轴其中之一调节所述光阑切换板。
18、根据本技术的一些实施例，所述调节组件包括至少一个调节结构，所述调节结构包括：
19、支座，设置于所述支架；
20、活动座，滑动设置于所述支座，所述光阑切换板设置于所述活动座；
21、微分头，所述微分头固定设置于所述支座与所述活动座其中之一，所述微分头的驱动端抵持于另一者，所述微分头用于推动所述活动座与所述支座沿x轴、y轴与z轴其中之一相对远离或靠近运动；
22、复位弹簧，至少与所述支座与所述活动座其中之一连接，用于使所述活动座与所述支座复位运动。
23、根据本技术的一些实施例，所述微分头与所述活动座相连接，所述微分头的驱动端与所述支座相抵接；所述复位弹簧的一端与所述支座相连接，另一端与所述活动座相连接。
24、第二方面，本申请实施例提供了一种检测设备，包括：
25、上述的光阑切换装置；
26、光源装置，所述光源装置设置有光源，所述光源朝向所述通光位的通光部设置。
27、从以上技术方案可以看出，本申请实施例具有以下优点：
28、1、在更换通光位的通光部时，可以采用遮挡件遮挡通光位的通光部，即遮挡住光线的照射路径，从而实现照明光路的关闭，由此可见，外部的光源始终保持稳定工作，无须调整外部的光源，保证了待检测元件的检测效率。
29、2、通过光阑切换板的设置，光阑切换板上设置有多组不同类型的通光部(形状与尺寸不同)，光线在通过不同类型的通光部时，光线对待检测元件的照射效果不同。可以理解的是，针对不同待检测元件的检测时，可以调节不同类型的通光部，从而对光线进行调整，进而使光线在照射至待检测元件时，能够较佳地对待检测元件的检测。
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1.一种光阑切换装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种光阑切换装置，其特征在于，所述光阑切换装置包括与所述遮挡件相连接的驱动组件，所述驱动组件用于驱动所述遮挡件在所述避让位与所述遮挡位之间转换。
3.根据权利要求2所述的一种光阑切换装置，其特征在于，所述驱动组件包括设置于所述支架的第一驱动件，所述第一驱动件与所述遮挡件相连接，用于驱动所述遮挡件在所述避让位与所述遮挡位之间转换；其中，所述第一驱动件至少为气缸与直线电机其中之一。
4.根据权利要求3所述的一种光阑切换装置，其特征在于，所述第一驱动件为气动滑台，所述气动滑台具有滑台；所述遮挡件具有翻边，所述翻边与所述滑台相连接。
5.根据权利要求2所述的一种光阑切换装置，其特征在于，所述驱动组件包括相连接的第二驱动件与传动结构，所述第二驱动件设置于所述支架，所述传动结构与所述遮挡件相连接，所述传动结构用于将所述第二驱动件输出的旋转运动转换为直线运动，所述第二驱动件通过所述传动结构驱动所述遮挡件在所述避让位与所述遮挡位之间转换。
6.根据权利要求5所述的一种光阑
7.根据权利要求2所述的一种光阑切换装置，其特征在于，所述光阑切换装置还包括第一传感器和/或第二传感器，所述第一传感器用于感应所述遮挡件运动至所述避让位，所述第二传感器用于感应所述遮挡件运动至所述遮挡位。
8.根据权利要求1所述的一种光阑切换装置，其特征在于，所述光阑切换装置还包括与所述光阑切换板相连接的第三驱动件，所述第三驱动件用于驱动所述光阑切换板旋转，以使各组通光部能够切换至所述通光位。
9.根据权利要求8所述的一种光阑切换装置，其特征在于，至少一个所述通光部为设置于所述光阑切换板的边沿的缺口。
10.根据权利要求1所述的一种光阑切换装置，其特征在于，所述光阑切换板与所述支架转动连接，以使各组通光部能够切换至所述通光位，其中，位于所述通光位的通光部设置于所述光阑切换板的下部。
11.根据权利要求1所述的一种光阑切换装置，其特征在于，所述遮挡件设置于所述光阑切换板靠近光源的一侧，以能够在所述遮挡位时挡住所述通光部的进光口。
12.根据权利要求1所述的一种光阑切换装置，其特征在于，所述光阑切换装置还包括设置于所述支架的调节组件，所述调节组件至少用于沿X轴、Y轴与Z轴其中之一调节所述光阑切换板。
13.根据权利要求12所述的一种光阑切换装置，其特征在于，所述调节组件包括至少一个调节结构，所述调节结构包括：
14.根据权利要求13所述的一种光阑切换装置，其特征在于，所述微分头与所述活动座相连接，所述微分头的驱动端与所述支座相抵接；所述复位弹簧的一端与所述支座相连接，另一端与所述活动座相连接。
15.一种检测设备，其特征在于，包括：
...【技术特征摘要】
1.一种光阑切换装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种光阑切换装置，其特征在于，所述光阑切换装置包括与所述遮挡件相连接的驱动组件，所述驱动组件用于驱动所述遮挡件在所述避让位与所述遮挡位之间转换。
3.根据权利要求2所述的一种光阑切换装置，其特征在于，所述驱动组件包括设置于所述支架的第一驱动件，所述第一驱动件与所述遮挡件相连接，用于驱动所述遮挡件在所述避让位与所述遮挡位之间转换；其中，所述第一驱动件至少为气缸与直线电机其中之一。
4.根据权利要求3所述的一种光阑切换装置，其特征在于，所述第一驱动件为气动滑台，所述气动滑台具有滑台；所述遮挡件具有翻边，所述翻边与所述滑台相连接。
5.根据权利要求2所述的一种光阑切换装置，其特征在于，所述驱动组件包括相连接的第二驱动件与传动结构，所述第二驱动件设置于所述支架，所述传动结构与所述遮挡件相连接，所述传动结构用于将所述第二驱动件输出的旋转运动转换为直线运动，所述第二驱动件通过所述传动结构驱动所述遮挡件在所述避让位与所述遮挡位之间转换。
6.根据权利要求5所述的一种光阑切换装置，其特征在于，所述传动结构至少为曲柄连杆结构、丝杆传动结构与齿轮齿条结构其中之一。
7.根据权利要求2所述的一种光阑切换装置，其特征在于，所述光阑切换装置还包括第一传感器和/或第二传感器，所述第一传感器用于感应所述遮挡件运动至所述避让位，所述第二传感器用于感...
【专利技术属性】
技术研发人员：韦康，靳丹，胡诗铭，张鹏斌，陈鲁，张嵩，
申请(专利权)人：深圳中科飞测科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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