【技术实现步骤摘要】
本申请涉及检测，具体涉及一种夹持开合结构、翻转装置以及检测设备。
技术介绍
1、在半导体检测
，有对待测件(例如晶圆)进行正反面检测的需求。在对待测件检查之前，需要先将待测件固定在相应的承载结构上，再通过检测结构对待测件进行检测。当待测件的正反面都需要检测时，通常会针对待测件的正面和背面分别设置一个对应的承载结构。这样就导致，对待测件的不同面进行检测时，需要更换承载结构，重新进行待测件的安装定位，无形中降低了待测件的检测效率。
2、为保障待测件进行正反面检测的效率，现有技术研发一种具有翻转结构的设备，通过对待测件进行翻转，使得同一套设备既能进行待测件的正面检测，又能进行待测件的反面检测。该设备上通常会设置一对夹爪，通过一对夹爪夹持固定其上的待测件，以便于后续进行翻转操作。但是目前所设计的夹爪，通常只能为一对夹爪中的任意一个相对另一个运动，无法一对夹爪同时相互靠近或相互远离，这样也会对夹爪的夹持工作效率产生一定的影响。或者，有些设备中能够同时驱动一对夹爪进行相互靠近或相互远离，但对应的需要给两个夹爪分别设置一个驱动件，这无形中会增加设备结构复杂度以及成本。
技术实现思路
1、本申请提供一种夹持开合结构、翻转装置以及检测设备，其主要目的在于简化夹持开合结构，并提高夹爪开合效率。
2、根据本申请的第一方面，提供一种夹持开合结构，包括：转接盘、开合机构以及夹爪机构；
3、所述开合机构设置于所述转接盘的一侧，所述夹爪机构设置于所述转接盘的另一侧；p>
4、所述开合机构包括开合动力件和一对开合板，一对所述开合板中的任意一个和所述开合动力件的动力端相连接，一对所述开合板中的另一个和所述开合动力件的主体部分相连接；
5、所述夹爪机构包括一对夹爪，所述开合板和所述夹爪相连接，所述开合机构用于通过一对所述开合板沿着第一方向同步驱动一对所述夹爪相互靠近或相互远离；一对所述夹爪沿着第一方向相互靠近以使得一对所述夹爪处于夹持状态，或者一对所述夹爪沿着第一方向相互远离以使得一对所述夹爪处于张开状态。
6、一种实施例中，所述开合机构还包括开合同步连接板，所述开合同步连接板具有沿长度方向依次分布的首部、中间部以及尾部，所述中间部和所述转接盘转动连接，所述首部和一对所述开合板中的任意一个转动连接，所述尾部和一对所述开合板中的另一个转动连接。
7、一种实施例中，所述开合机构还包括一对复位组件，一对所述复位组件对称分布于沿着所述开合板长度方向的两侧。
8、一种实施例中，所述复位组件包括第一复位体、第二复位体以及弹性复位件，所述第一复位体固定在一对所述开合板中的任意一个上，所述第二复位体固定在一对所述开合板中的另一个上，所述弹性复位件的两端分别与所述第一复位体和所述第二复位体相连接。
9、一种实施例中，还包括传动机构，所述开合机构和所述传动机构设置于所述转接盘的同一侧，所述传动机构一侧和所述开合板相连接，所述传动机构的另一侧和所述夹爪相连接。
10、一种实施例中，所述传动机构包括第一导向部、一对第二导向部以及一对连接件；所述第一导向部设置于所述转接盘上；每个所述开合板靠近所述第一导向部的一侧均设置有一个所述第二导向部；所述第一导向部和所述第二导向部相配合以实现一对所述开合板沿着第一方向相互靠近或相互远离；每个所述开合板靠近所述第一导向部的一侧均设置有一个所述连接件，所述转接盘上开设有开合孔，所述连接件穿过所述开合孔和所述夹爪相连接。
11、一种实施例中，所述开合机构还包括第一限位件，和/或，所述传动机构还包括第二限位件；所述第一限位件设置于所述转接盘上，所述第一限位件用于限制所述开合动力件的活动范围；所述第一导向部的两端分别设置有所述第二限位件，所述第二限位件用于限制所述第二导向部在所述第一导向部上的活动范围。
12、一种实施例中，所述开合动力件的动力端设置有第一安装体，所述第一安装体固定在一对所述开合板中的任意一个上，所述开合动力件的主体部分设置有第二安装体，所述第二安装体固定在一对所述开合板中的另一个上；和/或，所述夹爪机构还包括一对转接组件，所述转接组件包括对接板和安装板，所述对接板的一侧和所述开合板相连接，所述对接板的另一侧和所述安装板相连接，所述夹爪上开设有避让槽和连接位，所述避让槽用于和机械臂相配合以便于机械臂在所述夹爪上取放待测件，所述连接位用于将所述安装板和所述夹爪相连接。
13、一种实施例中，还包括第一位置检测组件，所述第一位置检测组件用于通过一对所述开合板中至少一个所述开合板的位置来检测所述夹爪的状态；和/或，所述夹爪机构还包括至少三个位置检测件，至少三个所述位置检测件用于检测所述夹爪上待测件的放置位置。
14、根据本申请的第二方面，提供一种翻转装置，包括：驱动机构、旋转机构以及上述夹持开合结构；所述旋转机构一端和所述夹持开合结构相连接，另一端和所述驱动机构相连接；所述驱动机构用于驱动所述旋转机构以180°为周期进行转动，所述旋转机构用于同步带动所述夹持开合结构转动。
15、一种实施例中，还包括装配件和支撑机构；所述驱动机构和所述支撑机构均设置于所述装配件上，所述旋转机构设置于所述支撑机构上。
16、一种实施例中，所述旋转机构包括旋转轴、第三限位件、缓冲件以及第二位置检测组件；所述旋转轴设置于所述支撑机构上，所述第三限位件设置于所述旋转轴上，所述缓冲件设置于所述装配件上，所述第三限位件用于和所述缓冲件相配合以限制所述旋转轴以180°为周期进行转动；所述第二位置检测组件用于检测所述旋转轴是否以180°为周期进行转动。
17、一种实施例中，所述第三限位件和所述缓冲件均设置于所述旋转轴靠近所述夹持开合结构的一侧，所述第二位置检测组件设置于所述旋转轴远离所述夹持开合结构的另一侧；所述旋转机构包括两对所述第二位置检测组件，两对所述第二位置检测组件沿着所述旋转轴的轴向间隔设置；所述第二位置检测组件包括第二检测件和第二感应件，所述第二感应件可拆卸设置于所述旋转轴上，两对所述第二位置检测组件中的所述第二检测件分别设置于所述旋转轴轴向上两侧的所述装配件上。
18、一种实施例中，所述驱动机构包括驱动件和同步带传动组件，所述驱动件和所述同步带传动组件相连接，所述同步带传动组件和所述旋转机构相连接；所述驱动件用于带动所述同步带传动组件转动，所述同步带传动组件用于带动所述旋转机构转动。
19、一种实施例中，还包括罩体，所述罩体上开设有通孔，所述驱动机构、旋转机构、开合机构均设置于所述罩体内，所述夹爪机构设置于所述罩体外，所述转接盘设置于所述通孔处；所述罩体的底部设置多个调平球垫，所述调平球垫包括第一调平件和第二调平件，所述第一调平件活动设置于所述罩体上，所述第一调平件靠近所述第二调平件的端面为凹型球面和凸型球面中的任意一个，所述第二调平件靠近所述第一调平件的端面为凹型球面和凸型球面中的另一个；所述第一调平件和所述第二调平件凹凸配本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种夹持开合结构，其特征在于，包括：转接盘(10)、开合机构(20)以及夹爪机构(30)；
2.如权利要求1所述的夹持开合结构，其特征在于，所述开合机构(20)还包括开合同步连接板(23)，所述开合同步连接板(23)具有沿长度方向依次分布的首部(231)、中间部(232)以及尾部(233)，所述中间部(232)和所述转接盘(10)转动连接，所述首部(231)和一对所述开合板(22)中的任意一个转动连接，所述尾部(233)和一对所述开合板(22)中的另一个转动连接。
3.如权利要求1所述的夹持开合结构，其特征在于，所述开合机构(20)还包括一对复位组件(40)，一对所述复位组件(40)对称分布于沿着所述开合板(22)长度方向的两侧。
4.如权利要求3所述的夹持开合结构，其特征在于，所述复位组件(40)包括第一复位体(41)、第二复位体(42)以及弹性复位件(43)，所述第一复位体(41)固定在一对所述开合板(22)中的任意一个上，所述第二复位体(42)固定在一对所述开合板(22)中的另一个上，所述弹性复位件(43)的两端分别与所述第一复位体(
5.如权利要求1所述的夹持开合结构，其特征在于，还包括传动机构(50)，所述开合机构(20)和所述传动机构(50)设置于所述转接盘(10)的同一侧，所述传动机构(50)一侧和所述开合板(22)相连接，所述传动机构(50)的另一侧和所述夹爪(31)相连接。
6.如权利要求5所述的夹持开合结构，其特征在于，所述传动机构(50)包括第一导向部(51)、一对第二导向部(52)以及一对连接件(53)；所述第一导向部(51)设置于所述转接盘(10)上；每个所述开合板(22)靠近所述第一导向部(51)的一侧均设置有一个所述第二导向部(52)；所述第一导向部(51)和所述第二导向部(52)相配合以实现一对所述开合板(22)沿着第一方向相互靠近或相互远离；每个所述开合板(22)靠近所述第一导向部(51)的一侧均设置有一个所述连接件(53)，所述转接盘(10)上开设有开合孔(11)，所述连接件(53)穿过所述开合孔(11)和所述夹爪(31)相连接。
7.如权利要求6所述的夹持开合结构，其特征在于，所述开合机构(20)还包括第一限位件(24)，和/或，所述传动机构(50)还包括第二限位件(54)；所述第一限位件(24)设置于所述转接盘(10)上，所述第一限位件(24)用于限制所述开合动力件(21)的活动范围；所述第一导向部(51)的两端分别设置有所述第二限位件(54)，所述第二限位件(54)用于限制所述第二导向部(52)在所述第一导向部(51)上的活动范围。
8.如权利要求1所述的夹持开合结构，其特征在于，所述开合动力件(21)的动力端(2101)设置有第一安装体(211)，所述第一安装体(211)固定在一对所述开合板(22)中的任意一个上，所述开合动力件(21)的主体部分(2102)设置有第二安装体(212)，所述第二安装体(212)固定在一对所述开合板(22)中的另一个上；和/或，所述夹爪机构(30)还包括一对转接组件(32)，所述转接组件(32)包括对接板(321)和安装板(322)，所述对接板(321)的一侧和所述开合板(22)相连接，所述对接板(321)的另一侧和所述安装板(322)相连接，所述夹爪(31)上开设有避让槽(311)和连接位(312)，所述避让槽(311)用于和机械臂相配合以便于机械臂在所述夹爪(31)上取放待测件(140)，所述连接位(312)用于将所述安装板(322)和所述夹爪(31)相连接。
9.如权利要求1所述的夹持开合结构，其特征在于，还包括第一位置检测组件(60)，所述第一位置检测组件(60)用于通过一对所述开合板(22)中至少一个所述开合板(22)的位置来检测所述夹爪(31)的状态；和/或，所述夹爪机构(30)还包括至少三个位置检测件(33)，至少三个所述位置检测件(33)用于检测所述夹爪(31)上待测件(140)的放置位置。
10.一种翻转装置，其特征在于，包括：驱动机构(70)、旋转机构(80)以及如权利要求1至9中任一项所述的夹持开合结构；所述旋转机构(80)一端和所述夹持开合结构相连接，另一端和所述驱动机构(70)相连接；所述驱动机构(70)用于驱动所述旋转机构(80)以180°为周期进行转动，所述旋转机构(80)用于同步带动所述夹持开合结构转动。
11.如权利要求10所述的翻转装置，其特征在于，还包括装配件(90)和支撑机构(100)；所述驱动机构(70)和所述支撑机构(100)均设置于所述装配件(...
【技术特征摘要】
1.一种夹持开合结构，其特征在于，包括：转接盘(10)、开合机构(20)以及夹爪机构(30)；
2.如权利要求1所述的夹持开合结构，其特征在于，所述开合机构(20)还包括开合同步连接板(23)，所述开合同步连接板(23)具有沿长度方向依次分布的首部(231)、中间部(232)以及尾部(233)，所述中间部(232)和所述转接盘(10)转动连接，所述首部(231)和一对所述开合板(22)中的任意一个转动连接，所述尾部(233)和一对所述开合板(22)中的另一个转动连接。
3.如权利要求1所述的夹持开合结构，其特征在于，所述开合机构(20)还包括一对复位组件(40)，一对所述复位组件(40)对称分布于沿着所述开合板(22)长度方向的两侧。
4.如权利要求3所述的夹持开合结构，其特征在于，所述复位组件(40)包括第一复位体(41)、第二复位体(42)以及弹性复位件(43)，所述第一复位体(41)固定在一对所述开合板(22)中的任意一个上，所述第二复位体(42)固定在一对所述开合板(22)中的另一个上，所述弹性复位件(43)的两端分别与所述第一复位体(41)和所述第二复位体(42)相连接。
5.如权利要求1所述的夹持开合结构，其特征在于，还包括传动机构(50)，所述开合机构(20)和所述传动机构(50)设置于所述转接盘(10)的同一侧，所述传动机构(50)一侧和所述开合板(22)相连接，所述传动机构(50)的另一侧和所述夹爪(31)相连接。
6.如权利要求5所述的夹持开合结构，其特征在于，所述传动机构(50)包括第一导向部(51)、一对第二导向部(52)以及一对连接件(53)；所述第一导向部(51)设置于所述转接盘(10)上；每个所述开合板(22)靠近所述第一导向部(51)的一侧均设置有一个所述第二导向部(52)；所述第一导向部(51)和所述第二导向部(52)相配合以实现一对所述开合板(22)沿着第一方向相互靠近或相互远离；每个所述开合板(22)靠近所述第一导向部(51)的一侧均设置有一个所述连接件(53)，所述转接盘(10)上开设有开合孔(11)，所述连接件(53)穿过所述开合孔(11)和所述夹爪(31)相连接。
7.如权利要求6所述的夹持开合结构，其特征在于，所述开合机构(20)还包括第一限位件(24)，和/或，所述传动机构(50)还包括第二限位件(54)；所述第一限位件(24)设置于所述转接盘(10)上，所述第一限位件(24)用于限制所述开合动力件(21)的活动范围；所述第一导向部(51)的两端分别设置有所述第二限位件(54)，所述第二限位件(54)用于限制所述第二导向部(52)在所述第一导向部(51)上的活动范围。
8.如权利要求1所述的夹持开合结构，其特征在于，所述开合动力件(21)的动力端(2101)设置有第一安装体(211)，所述第一安装体(211)固定在一对所述开合板(22)中的任意一个上，所述开合动力件(21)的主体部分(2102)设置有第二安装体(212)，所述第二安装体(212)固定在一对所述开合板(22)中的另一个上；和/或，所述夹爪机构(30)还包括一对转接组件(32)，所述转接组件(32)包括对接板(321)和安装板(322)，所述对接板(321)的一侧和所述开合板(22)相连接，所述对接板(321)的另一侧和所述安装板(322)相连接，所述夹爪(31)上开设有避让槽(311)和连接位(312)，所述避让槽(311)用于和机械臂相配合以便于机械臂在所述夹爪(31)上取放待测件(140)，所述连接位(312)用于将所述安装板(322)和所述夹爪(31)相连接。
9.如权利要求1所述的夹持开合结构，其特征在于，还包括第一位置检测组件(60)，所述第一位置检测组件(60)用于通过一对所述开合板(22)中至少一个所述开合板(22)的...
【专利技术属性】
技术研发人员：丁延贵，张鹏斌，陈鲁，
申请(专利权)人：深圳中科飞测科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。