【技术实现步骤摘要】
本公开总体涉及电子设备。本公开更具体地涉及基于相变材料的开关，该相变材料能够在导电的晶相与电绝缘的非晶相之间交替。
技术介绍
1、利用基于相变材料的开关或断续器来允许或防止电流在全部或部分电路中流动的许多应用是已知的。这种开关可以具体地实现在射频通信应用中，例如，以在发射模式和接收模式之间切换天线，以激活对应于频带的滤波器等。
技术实现思路
1、需要改进现有的基于相变材料的开关及其制造方法。
2、一个实施例克服了已知的基于相变材料的开关及其制造方法的全部或部分缺点。
3、一个实施例的一个方面更具体地旨在提供一种具有改进的热效率的开关。
4、另一个实施例的一个方面更具体地旨在提供一种具有减小的尺寸的开关。
5、又一个实施例的一个方面更具体地旨在提供一种具有增强的切换速度的开关。
6、为此目的，一个实施例提供了一种基于相变材料的开关，包括：
7、区域，由所述相变材料制成；
8、电加热元件，与所述相变材料区域绝缘
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【技术保护点】
1.一种基于相变材料的开关，包括：
2.根据权利要求1所述的开关，其中所述柱状件的所述材料电绝缘。
3.根据权利要求1所述的开关，其中所述柱状件的所述材料选自氮化铝和氮化硅。
4.根据权利要求1所述的开关，其中所述相变材料是硫族化物材料。
5.根据权利要求1所述的开关，其中电绝缘层被插入到所述加热元件与所述相变材料区域之间。
6.根据权利要求5所述的开关，其中所述电绝缘层由与所述柱状件相同的材料制成。
7.根据权利要求1所述的开关，其中所述相变材料区域比所述加热元件更靠近衬底，所述开关形成在所述衬...
【技术特征摘要】
1.一种基于相变材料的开关，包括：
2.根据权利要求1所述的开关，其中所述柱状件的所述材料电绝缘。
3.根据权利要求1所述的开关，其中所述柱状件的所述材料选自氮化铝和氮化硅。
4.根据权利要求1所述的开关，其中所述相变材料是硫族化物材料。
5.根据权利要求1所述的开关，其中电绝缘层被插入到所述加热元件与所述相变材料区域之间。
6.根据权利要求5所述的开关，其中所述电绝缘层由与所述柱状件相同的材料制成。
7.根据权利要求1所述的开关，其中所述相变材料区域比所述加热元件更靠近衬底，所述开关形成在所述衬底的内部和顶部上。
8.根据权利要求1所述的开关，其中所述加热元件比所述相变材料区域更靠近衬底，所述开关形成在所述衬底的内部和顶部上。
9.根据权利要求1所述的开关，其中所述相变材料区域覆盖有钝化层。
10.根据权利要求1所述的开关，其中所述相变材料区域将所...
【专利技术属性】
技术研发人员：S·蒙弗莱，A·弗勒雷，B·雷格，
申请(专利权)人：法国原子能及替代能源委员会，
类型：发明
国别省市：
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