一种直接型X射线探测器及其制备方法技术

本发明专利技术公开了一种直接型X射线探测器及其制备方法，包括基底、底电极、无机介电纳米颗粒层、钙钛矿X射线吸收层以及顶电极；基底设置在底电极的下表面；底电极的上表面设置所述无机介电纳米颗粒层；无机介电纳米颗粒层的上表面设置钙钛矿X射线吸收层；钙钛矿X射线吸收层上表面设置所述顶电极；无机介电纳米颗粒层采用低温工艺制备；钙钛矿X射线吸收层采用喷涂方法制备，且所用钙钛矿溶液中掺入一定体积比的均三甲苯。本发明专利技术具有制备工艺温度低、便于与驱动电路集成、厚膜表面平整致密、易于实现大面积器件制备的特点，能够实现X射线平板探测器的批量生产。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于x射线探测器，具体涉及一种直接型x射线探测器及其制备方法。

技术介绍

1、x射线是波长范围为10～0.01nm的电磁波，具有很强的穿透能力，被广泛应用于各种医学检查、工业探伤、材料检测、机场安检等各种无损检测中。

2、钙钛矿材料因其原子序数大、带隙可调、缺陷容忍度高、载流子迁移率寿命积高以及可溶液法大面积成膜的优势，在平板x射线探测器领域展现出巨大的应用潜力。在平板x射线探测器制备过程中，为了不破坏tft背板并且获得大敏感区，要求在不超过200摄氏度的温度下实现大面积均匀钙钛矿厚膜(厚度>10微米)的制备，因此我们使用喷涂工艺制备。但是雾化液滴在导电衬底表面浸润性差，导致喷涂膜表面粗糙，覆盖度差；且雾化液滴在衬底表面沉积存在咖啡环效应，严重影响了厚膜表面形貌并制约了x射线探测器的性能提升。因此，探索可低温大面积喷涂制备的x射线探测器件结构并抑制咖啡环效应对高性能x射线探测器具有重要的应用价值。

技术实现思路

1、本专利技术所要解决的技术问题在于针对上述现有技术中的不足，提供一种本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种直接型X射线探测器，其特征在于，包括基底(1)，基底(1)上设置有底电极(2)，底电极(2)上设置有无机介电纳米颗粒层(3)，无机介电纳米颗粒层(3)采用颗径10～200nm的无机介电纳米颗粒堆积形成，无机介电纳米颗粒层(3)上设置有X射线吸收层(4)，X射线吸收层(4)用于将X射线转换成电子-空穴对，X射线吸收层(4)上设置有顶电极(5)。

2.根据权利要求1所述的直接型X射线探测器，其特征在于，基底(1)为玻璃、聚酰亚胺或晶体管驱动电路。

3.根据权利要求1所述的直接型X射线探测器，其特征在于，底电极(2)的厚度为100～1000nm。

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【技术特征摘要】

1.一种直接型x射线探测器，其特征在于，包括基底(1)，基底(1)上设置有底电极(2)，底电极(2)上设置有无机介电纳米颗粒层(3)，无机介电纳米颗粒层(3)采用颗径10～200nm的无机介电纳米颗粒堆积形成，无机介电纳米颗粒层(3)上设置有x射线吸收层(4)，x射线吸收层(4)用于将x射线转换成电子-空穴对，x射线吸收层(4)上设置有顶电极(5)。

2.根据权利要求1所述的直接型x射线探测器，其特征在于，基底(1)为玻璃、聚酰亚胺或晶体管驱动电路。

3.根据权利要求1所述的直接型x射线探测器，其特征在于，底电极(2)的厚度为100～1000nm。

4.根据权利要求1所述的直接型x射线探测器，其特征在于，无机介电纳米颗粒层(3)的厚度为100～1000nm。

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【专利技术属性】
技术研发人员：焦博，李立博，崔兴，李淏淼，吴朝新，
申请(专利权)人：西安交通大学，
类型：发明
国别省市：