【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及准分子激光微加工领域，尤其涉及一种带气氛保护的准分子激光烧蚀装置。
技术介绍
1、在微加工领域，准分子激光以其深紫外波长输出和高脉冲能量的独特优势，可以实现极高分辨率的极微小特征加工，而高脉冲能量结合高重复频率，可以保证高产能，缩短生产时间。因此准分子激光在材料微加工领域具有不可替代的作用。
2、微加工过程中，部分被加工的材料需要在某种气氛条件下进行，比如准分子激光诱导黑硅需要在六氟化硫气氛中完成，准分子激光图案化氧化石墨烯通常需要在高真空或氮气环境下完成。因此，放置样品的气氛腔体是不可或缺的部件之一。目前，所用腔体大多是基于脉冲激光沉积系统的腔体，体积庞大，操作不便。同时，微加工领域，尤其是准分子激光打标过程中，目前大多是通过圆形光斑聚焦于样品表面，通过扫描形成图案，打标形式单一，尤其在防伪打标领域，效果仍需提高。
技术实现思路
1、本专利技术基于上述技术的不足提供了一种带气氛保护的准分子激光烧蚀装置。
2、为了克服上述现有技术中的缺陷，本专利技术提...
【技术保护点】
1.一种带气氛保护的准分子激光烧蚀装置，其特征在于，包括：准分子激光器(1)，所述准分子激光器(1)前端连接衰减匀光单元(2)，所述衰减匀光单元(2)能将所述准分子激光器(1)发射的激光射线进行能量调整和均匀化处理，处理后的激光射线通过图案可选的可调光阑(3)获取所需图案后，通过反光镜(4)进入精密成像单元(5)，所述图案可选的可调光阑(3)通过步进电机(31)的控制可以完成不同图案的选择，所述精密成像单元(5)用于对激光射线进行汇聚，并将光阑形状成像在样品台(61)上，所述样品台(61)位于气氛腔体(6)内，所述气氛腔体(6)置于三维移动平台(7)上，所述气氛腔体(...
【技术特征摘要】
1.一种带气氛保护的准分子激光烧蚀装置，其特征在于，包括：准分子激光器(1)，所述准分子激光器(1)前端连接衰减匀光单元(2)，所述衰减匀光单元(2)能将所述准分子激光器(1)发射的激光射线进行能量调整和均匀化处理，处理后的激光射线通过图案可选的可调光阑(3)获取所需图案后，通过反光镜(4)进入精密成像单元(5)，所述图案可选的可调光阑(3)通过步进电机(31)的控制可以完成不同图案的选择，所述精密成像单元(5)用于对激光射线进行汇聚，并将光阑形状成像在样品台(61)上，所述样品台(61)位于气氛腔体(6)内，所述气氛腔体(6)置于三维移动平台(7)上，所述气氛腔体(6)与ccd检测单元(8)相连，通过控制单元(9)可以控制所述准分子激光器(1)、所述三维移动平台(7)和所述ccd检测单元(8)。
2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述图案可选的可调光阑(3)由光阑片(32)和中心轴承(33)组成。
3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述光阑片(32)上设有不同形状和尺寸的大圆形光阑通孔(320)、大方形光阑通孔(321)、大心形光阑通孔(322)、大五角星形光阑通孔(323)、小圆形光阑通孔(324)、小方形光阑通孔(325)、小心形光阑通孔(326)、小五角星形光阑通孔(327)。
4.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述中心轴承(33)与所述步进机(31)相连，所述步进机(31)...
【专利技术属性】
技术研发人员：邵景珍，梁勖，林颖，沈启辉，任嘉成，韩金亮，
申请(专利权)人：中国科学院合肥物质科学研究院，
类型：发明
国别省市：
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