OLED结构及其制造方法技术

本发明专利技术技术方案中在OLED的有机层内部制作光栅微结构，避免了在电极上制作微结构造成的电场扭曲，可以适当提高OLED的击穿电压；再次，利用导电光刻胶制作光栅微结构，可以避免激光烧蚀的方法对OLED有机层光电性能的破坏；最后，二维光栅结构可以在平面内各个方向上都激发出器件的表面等离子体，减小波导模式的损耗。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及集成电路领域，尤其涉及一种oled结构及其制造方法。

技术介绍

1、在平板显示和固态照明方面，有机发光二极管(oled)具有非常大的应用潜力。oled具有很多的优点，比如说节能，可视角度大，工作电压低，响应快速并且比较轻便，因此，它被认为是未来光源的理想解决方案。

2、虽然现在oled的内量子效率可以达到100％，但是oled的外量子效率，除了受到内量子效率的制约外，还受到其光取出效率的制约。这是由于oled所发出来的光，有大概80％被其内部的波导模式(wg)，ito(铟锡氧化物)阳极，以及由有机层/金属阴极之间产生的表面等离子体(spp)所吸收，只有20％左右最后可以从oled出射出来。也就是说，oled的光取出效率很低。如果我们能解决oled的光取出效率的问题，那么我们就可以极大的提高oled的外量子效率。通过引入周期性微纳结构可以有效提高oled器件的光耦合输出效率，常用的周期性微纳结构有光子晶体、微透镜阵列及周期性光栅等。

3、如前所述，在各种提高oled光取出效率的方法中，在器件中引入周期性微结构是一种行之有本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种OLED结构的制造方法，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的制造方法，其特征在于，所述导电光刻胶的制作方法包括：

3.如权利要求1所述的制造方法，其特征在于，所述利用激光双光束干涉对所述导电光刻胶层曝光的步骤包括：利用丙酮对所述导电光刻胶层进行曝光。

4.如权利要求1所述的制造方法，其特征在于，在提供ITO玻璃衬底的步骤中还包括：对所述ITO玻璃衬底进行清洗的过程。

5.如权利要求1所述的制造方法，其特征在于，所述制造方法还包括：在所述二维光栅衬底形成之后，在所述二维光栅衬底上依次形成空穴传输层，发光层和复合阴极，形成带有二维...

【技术特征摘要】

1.一种oled结构的制造方法，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的制造方法，其特征在于，所述导电光刻胶的制作方法包括：

3.如权利要求1所述的制造方法，其特征在于，所述利用激光双光束干涉对所述导电光刻胶层曝光的步骤包括：利用丙酮对所述导电光刻胶层进行曝光。

4.如权利要求1所述的制造方法，其特征在于，在提供ito玻璃衬底的步骤中还包括：对所述ito玻璃衬底进行清洗的过程。

5.如权利要求1所述的制造方法，其特征在于，所述制造方法还包括：在所述二维光栅衬底形成之后，在所述二维光...

【专利技术属性】
技术研发人员：白昱，张朝举，揣雅惠，王洋，黄丹丹，王英志，白禹，
申请(专利权)人：长春理工大学，
类型：发明
国别省市：