【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及磁控溅射镀，尤其涉及连续纤维表面的磁控溅射镀膜装置及镀膜方法。
技术介绍
1、纤维表面镀膜技术是通过相关工艺在纤维表面沉积金属或化合物薄膜，在实际应用中可以有效提升纤维的各项性能。磁控溅射法作为一种先进的镀膜技术，所制备的薄膜组织均匀、晶粒细小、与纤维结合性好且性能优良。通过磁控溅射技术进行纤维表面镀膜，根据不同的需要，几乎可以将所有金属、合金和化合物材料沉积在纤维表面。在适当条件下亦可采用多靶共溅的方式调控薄膜的成分与组织。在溅射气氛中加入氮或其它活性气体，可沉积形成相应的化合物薄膜。另外，通过控制溅射时间、功率、温度、工作气压和气氛流量等参数可调控纤维表面薄膜的厚度、组织形貌及性能等。
2、现有的磁控溅射镀膜机在使用前需要对基材进行清洗，清洗完成后放置在干燥器内烘干备用，在基材进行清洗烘干时一般为人工操作，人工清洗时容易清洗不干净，同时在清洗完成后往干燥器中转运时，基材容易产生二次污染，操作繁琐的同时影响镀膜的效率。
3、为此，我们提出连续纤维表面的磁控溅射镀膜装置及镀膜方法。
【技术保护点】
1.连续纤维表面的磁控溅射镀膜装置，包括磁控溅射镀膜箱(1)、磁控溅射镀膜箱(1)上铰接的箱门(2)和箱门(2)上的顶部位置开设的密封玻璃窗(21),其特征在于：所述磁控溅射镀膜箱(1)上设有真空组件(3),磁控溅射镀膜箱(1)的中心位置处设有驱动组件(4)，驱动组件(4)包括驱动电机(41),磁控溅射镀膜箱(1)内腔与驱动电机(41)对应的位置上转动连接有转轴(42),驱动电机(41)的输出轴端以及转轴(42)上固定连接有放置框(6),放置框(6)内腔开设有通网(61)，磁控溅射镀膜箱(1)内腔的底部设置有清洗组件(7),清洗组件(7)包括蓄水盒(71),蓄水盒(7...
【技术特征摘要】
1.连续纤维表面的磁控溅射镀膜装置，包括磁控溅射镀膜箱(1)、磁控溅射镀膜箱(1)上铰接的箱门(2)和箱门(2)上的顶部位置开设的密封玻璃窗(21),其特征在于：所述磁控溅射镀膜箱(1)上设有真空组件(3),磁控溅射镀膜箱(1)的中心位置处设有驱动组件(4)，驱动组件(4)包括驱动电机(41),磁控溅射镀膜箱(1)内腔与驱动电机(41)对应的位置上转动连接有转轴(42),驱动电机(41)的输出轴端以及转轴(42)上固定连接有放置框(6),放置框(6)内腔开设有通网(61)，磁控溅射镀膜箱(1)内腔的底部设置有清洗组件(7),清洗组件(7)包括蓄水盒(71),蓄水盒(71)内腔的中心位置处安装有提升水泵，提升水泵出水端固定安装有连接管(72),连接管(72)上套接有软管(73),软管(73)的出水端固定连接有汇集管(74)，汇集管(74)的顶部等距离固定连接有若干个喷嘴(75)。
2.根据权利要求1所述的连续纤维表面的磁控溅射镀膜装置，其特征在于：所述放置框(6)的前后两个侧壁面设置有固定组件(8),固定组件(8)包括开设在放置框(6)前后两个侧壁面上的滑槽(81)，两个滑槽(81)的内腔侧壁面上均固定连接有连接杆(82)，两个连接杆(82)上均滑动连接有两个滑动块(83)，每组滑动...
【专利技术属性】
技术研发人员：舒波，程浩东，曹丽娟，李均平，
申请(专利权)人：安合鑫光电科技苏州有限公司，
类型：发明
国别省市：
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