下载连续纤维表面的磁控溅射镀膜装置及镀膜方法的技术资料

文档序号:40184947

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及磁控溅射镀技术领域,且公开了连续纤维表面的磁控溅射镀膜装置及镀膜方法,包括磁控溅射镀膜箱,磁控溅射镀膜箱上设有真空组件,磁控溅射镀膜箱上设有驱动组件,驱动组件包括驱动电机,磁控溅射镀膜箱内腔与驱动电机对应的位置上转动连接有转轴,驱...
该专利属于安合鑫光电科技(苏州)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过安合鑫光电科技(苏州)有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。