【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及反应釜领域，更具体地说，它涉及一种用于生产半导体材料的可视化反应釜。
技术介绍
1、目前，在化工的的生产过程中，需要用到反应釜，根据反应釜的工作状态不同，其反应釜内部的情况也是不同的，对于一些化工产品在反应釜内进行加工时需要时刻观察内部反应情况，而现有的反应釜都是在侧边直接设置观察窗，而在反应釜工作时，内部的化工产品容易对观察窗污染，导致观察不清楚，观察效果差。
2、现有采用内置摄像头的反应釜，通过摄像头能够实时的远程观察反应釜内物料反应进程，但是摄像头容易被反应时产生的水汽遮挡，导致无法有效的观察物料的反应进程，且无法进入到反应物质中对不同区域的物质进行图像采集。
技术实现思路
1、本专利技术的目的就在于为了解决上述问题而提供一种用于生产半导体材料的可视化反应釜。
2、本专利技术提供了一种用于生产半导体材料的可视化反应釜，包括釜体以及设于釜体上的搅拌机构，所述釜体内设有圆周移动机构、连接在圆周移动机构上的升降式图像数据采集机构和外壁清理机构，所述圆周移动机构用于驱使升降式图像数据采集机构和外壁清理机构绕釜体中轴线转动设定角度，所述升降式图像数据采集机构用于采集釜体不同高度处的图像数据，所述外壁清理机构用于清理升降式图像数据采集机构的外壁；
3、所述圆周移动机构包括贯穿连接釜体上的贯通式管道、连接在贯通式管道一端的环形轨道组件以及设于环形轨道组件上的环形移动组件，环形移动组件沿着环形轨道组件做圆周移动，所述升降式图像数据采集机构连接
4、所述升降式图像数据采集机构包括连接在环形移动组件上的底封式透明管道、设于底封式透明管道内的升降组件以及连接在升降组件上的摄像头，升降组件用于驱使摄像头沿着底封式透明管道的长度方向移动；
5、所述外壁清理机构包括连接在环形移动组件上的伸缩式包覆组件、连接在伸缩式包覆组件一端的膨胀式密封组件以及设于环形移动组件和环形轨道组件之间的可调式导液组件，可调式导液组件设有三个输出端，三个输出端分别与伸缩式包覆组件的内部空间、膨胀式密封组件的内部空间以及伸缩式包覆组件和底封式透明管道之间的区域连通。
6、作为本专利技术的进一步优化方案，所述环形轨道组件包括c字形上环体以及连接在c字形上环体内壁上的环形齿轮，c字形上环体固定连接在贯通式管道的一端。
7、作为本专利技术的进一步优化方案，所述环形移动组件包括与c字形上环体同轴设置的c字形下环体、连接在c字形下环体内壁上的支架、连接在支架上的第一电机以及连接在第一电机输出轴端的行走齿轮，所述c字形下环体与c字形上环体活动连接，行走齿轮与环形齿轮相啮合。
8、作为本专利技术的进一步优化方案，所述c字形上环体的内壁上连接有环形供电件，所述支架上连接有控制器和导电件，控制器通过导电件与环形供电件电连接。
9、作为本专利技术的进一步优化方案，所述升降组件包括连接在支架上的第二电机和导向杆、连接在第二电机输出轴端的螺杆以及滑动连接在导向杆上的滑块，摄像头连接在滑块上，滑块上设有与螺杆相配合的螺孔，所述c字形下环体上设有与底封式透明管道相配合的穿孔，所述螺杆和导向杆均穿过穿孔并延伸至底封式透明管道内部。
10、作为本专利技术的进一步优化方案，所述伸缩式包覆组件包括套设在底封式透明管道外部的清理环、连接在清理环和c字形下环体之间的内伸缩波纹管和外伸缩波纹管，所述清理环、内伸缩波纹管、外伸缩波纹管和c字形下环体之间形成一密封储液腔室。
11、作为本专利技术的进一步优化方案，所述膨胀式密封组件包括连接在清理环内圆面上的环形囊体以及设于清理环内部的通液腔道，通液腔道的两端分别与环形囊体内部空间和可调式导液组件的其中一个输出端连通。
12、作为本专利技术的进一步优化方案，所述可调式导液组件包括连接在c字形上环体内壁上的第一导液环、连接在c字形下环体内壁上的第二导液环、连接在第一导液环上的进液管、连接在第二导液环上的第一导液管、第二导液管和第三导液管、设于第一导液管上的第一控制阀、设于第二导液管上的第二控制阀以及设于第三导液管上的第三控制阀，所述第一导液管和第二导液管的输出端均与密封储液腔室连通，所述第一导液环和第二导液环上均设有环形导液槽，第一导液环和第二导液环活动连接，且第一导液环和第二导液环之间设有环形密封件，进液管与第一导液环的环形导液槽连通，第一导液管、第二导液管和第三导液管均与第二导液环的环形导液槽连通，第一控制阀、第二控制阀和第三控制阀均与控制器电连接。
13、作为本专利技术的进一步优化方案，所述第三导液管的输出端贯穿c字形下环体并延伸至底封式透明管道和内伸缩波纹管之间的区域。
14、作为本专利技术的进一步优化方案，所述第二导液管的输出端连接有柔性软管，柔性软管的另一端与通液腔道连接。
15、本专利技术的有益效果在于：本专利技术采用圆周移动机构、升降式图像数据采集机构和外壁清理机构，通过控制摄像头在密封的底封式透明管道中进行移动，可在不同深度对物料进行图像数据采集，搭配圆周移动机构可以绕釜体中轴线进行转动，可以对釜体内不同区域的物料反应进程进行图像数据采集，并且在移动之后，可以通过外壁清理机构将底封式透明管道外壁上沾附的前一个区域的物料进行清理，从而提高反应进程信息采集的准确性。
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1.一种用于生产半导体材料的可视化反应釜，包括釜体（1）以及设于釜体（1）上的搅拌机构（2），其特征在于，所述釜体（1）内设有圆周移动机构（3）、连接在圆周移动机构（3）上的升降式图像数据采集机构（4）和外壁清理机构（5），所述圆周移动机构（3）用于驱使升降式图像数据采集机构（4）和外壁清理机构（5）绕釜体（1）中轴线转动设定角度，所述升降式图像数据采集机构（4）用于采集釜体（1）不同高度处的图像数据，所述外壁清理机构（5）用于清理升降式图像数据采集机构（4）的外壁；
2.根据权利要求1所述的一种用于生产半导体材料的可视化反应釜，其特征在于，所述环形轨道组件包括C字形上环体（302）以及连接在C字形上环体（302）内壁上的环形齿轮（307），C字形上环体（302）固定连接在贯通式管道（301）的一端。
3.根据权利要求2所述的一种用于生产半导体材料的可视化反应釜，其特征在于，所述环形移动组件包括与C字形上环体（302）同轴设置的C字形下环体（303）、连接在C字形下环体（303）内壁上的支架（304）、连接在支架（304）上的第一电机（305）以及连接在第
4.根据权利要求3所述的一种用于生产半导体材料的可视化反应釜，其特征在于，所述C字形上环体（302）的内壁上连接有环形供电件（308），所述支架（304）上连接有控制器和导电件（309），控制器通过导电件（309）与环形供电件（308）电连接。
5.根据权利要求4所述的一种用于生产半导体材料的可视化反应釜，其特征在于，所述升降组件包括连接在支架（304）上的第二电机（402）和导向杆（404）、连接在第二电机（402）输出轴端的螺杆（403）以及滑动连接在导向杆（404）上的滑块（405），摄像头（406）连接在滑块（405）上，滑块（405）上设有与螺杆（403）相配合的螺孔，所述C字形下环体（303）上设有与底封式透明管道（401）相配合的穿孔（3030），所述螺杆（403）和导向杆（404）均穿过穿孔（3030）并延伸至底封式透明管道（401）内部。
6.根据权利要求5所述的一种用于生产半导体材料的可视化反应釜，其特征在于，所述伸缩式包覆组件包括套设在底封式透明管道（401）外部的清理环（501）、连接在清理环（501）和C字形下环体（303）之间的内伸缩波纹管（502）和外伸缩波纹管（503），所述清理环（501）、内伸缩波纹管（502）、外伸缩波纹管（503）和C字形下环体（303）之间形成一密封储液腔室。
7.根据权利要求6所述的一种用于生产半导体材料的可视化反应釜，其特征在于，所述膨胀式密封组件包括连接在清理环（501）内圆面上的环形囊体（5010）以及设于清理环（501）内部的通液腔道（514），通液腔道（514）的两端分别与环形囊体（5010）内部空间和可调式导液组件的其中一个输出端连通。
8.根据权利要求7所述的一种用于生产半导体材料的可视化反应釜，其特征在于，所述可调式导液组件包括连接在C字形上环体（302）内壁上的第一导液环（504）、连接在C字形下环体（303）内壁上的第二导液环（505）、连接在第一导液环（504）上的进液管（506）、连接在第二导液环（505）上的第一导液管（507）、第二导液管（509）和第三导液管（511）、设于第一导液管（507）上的第一控制阀（508）、设于第二导液管（509）上的第二控制阀（510）以及设于第三导液管（511）上的第三控制阀（512），所述第一导液管（507）和第二导液管（509）的输出端均与密封储液腔室连通，所述第一导液环（504）和第二导液环（505）上均设有环形导液槽，第一导液环（504）和第二导液环（505）活动连接，且第一导液环（504）和第二导液环（505）之间设有环形密封件，进液管（506）与第一导液环（504）的环形导液槽连通，第一导液管（507）、第二导液管（509）和第三导液管（511）均与第二导液环（505）的环形导液槽连通，第一控制阀（508）、第二控制阀（510）和第三控制阀（512）均与控制器电连接。
9.根据权利要求8所述的一种用于生产半导体材料的可视化反应釜，其特征在于，所述第三导液管（511）的输出端贯穿C字形下环体（303）并延伸至底封式透明管道（401）和内伸缩波纹管（502）之间的区域。
10.根据权利要求9所述的一种用于生产半导体材料的可视化反应釜，其特征在于，所述第二导液管（509）的输出端连接有柔...
【技术特征摘要】
1.一种用于生产半导体材料的可视化反应釜，包括釜体（1）以及设于釜体（1）上的搅拌机构（2），其特征在于，所述釜体（1）内设有圆周移动机构（3）、连接在圆周移动机构（3）上的升降式图像数据采集机构（4）和外壁清理机构（5），所述圆周移动机构（3）用于驱使升降式图像数据采集机构（4）和外壁清理机构（5）绕釜体（1）中轴线转动设定角度，所述升降式图像数据采集机构（4）用于采集釜体（1）不同高度处的图像数据，所述外壁清理机构（5）用于清理升降式图像数据采集机构（4）的外壁；
2.根据权利要求1所述的一种用于生产半导体材料的可视化反应釜，其特征在于，所述环形轨道组件包括c字形上环体（302）以及连接在c字形上环体（302）内壁上的环形齿轮（307），c字形上环体（302）固定连接在贯通式管道（301）的一端。
3.根据权利要求2所述的一种用于生产半导体材料的可视化反应釜，其特征在于，所述环形移动组件包括与c字形上环体（302）同轴设置的c字形下环体（303）、连接在c字形下环体（303）内壁上的支架（304）、连接在支架（304）上的第一电机（305）以及连接在第一电机（305）输出轴端的行走齿轮（306），所述c字形下环体（303）与c字形上环体（302）活动连接，行走齿轮（306）与环形齿轮（307）相啮合。
4.根据权利要求3所述的一种用于生产半导体材料的可视化反应釜，其特征在于，所述c字形上环体（302）的内壁上连接有环形供电件（308），所述支架（304）上连接有控制器和导电件（309），控制器通过导电件（309）与环形供电件（308）电连接。
5.根据权利要求4所述的一种用于生产半导体材料的可视化反应釜，其特征在于，所述升降组件包括连接在支架（304）上的第二电机（402）和导向杆（404）、连接在第二电机（402）输出轴端的螺杆（403）以及滑动连接在导向杆（404）上的滑块（405），摄像头（406）连接在滑块（405）上，滑块（405）上设有与螺杆（403）相配合的螺孔，所述c字形下环体（303）上设有与底封式透明管道（401）相配合的穿孔（3030），所述螺杆（403）和导向杆（404）均穿过穿孔（3030）并延伸至底封式透明管道（401）内部。
6.根据权利要求5所述的一种用于生产半导体材料的可视化反应釜，其特征在于，所述伸...
【专利技术属性】
技术研发人员：林铮，黄飞鸿，袁龙城，钟施恩，高运华，黄飞雁，吴国辉，兰应飞，冼景业，
申请(专利权)人：广东林工工业装备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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