【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于半导体检测，具体是指一种半导体检测用探针台。
技术介绍
1、探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路领域，在芯片生产过程中，通常会使用探针台对其进行检测，检测过程主要是通过放大镜观察芯片，通过探针台的定位机构调整芯片与探针的位置后，使用探针触碰芯片的电极，对其进行检测；根据检测产品不同，采用的探针台也不同，探针台主要包括手动探针台和自动探针台，在对数量较小的单颗芯片进行检测时，往往会采用价格更加低廉的手动探针台，而手动探针台每次更换芯片时都需要重新将芯片放到托盘上调整位置，从而使检测效率低下；同时，因芯片通常尺寸微小，对探针台整体的精密度要求较高，高精密度伴随而来的往往是高昂的造价与维护成本，会提升芯片生产的成本。
技术实现思路
1、针对上述情况，为克服现有技术的缺陷，本专利技术提供了一种半导体检测用探针台，有效解决了目前市场上手动半导体检测用探针台效率低下，对机器整体精密度需求较高的问题。
2、本专利技术采取的技术方案如下：本专利技术提供的一种半导体检测用探针台，包括主机、台体、显微镜、电极放大机构、吸附式探针和转运机构，所述主机设于台体一侧，所述转运机构设于台体另一侧，所述台体顶部设有背板，所述台体顶部设有滑槽一，所述滑槽一内设有滑杆，所述电极放大机构滑动设于滑槽一内，所述显微镜设于滑槽一上方，所述吸附式探针设于滑槽一上方。
3、进一步地，所述电极放大机构包括滑块、滑动挖孔、握把、放置板、支撑杆、u型架一和u型架二，所述滑块与滑槽一贴
4、作为优选的，当所述滑块滑动至滑槽靠近显微镜一侧的尽头时，所述吸附孔位于显微镜正下方。
5、进一步地，所述初级探针机构包括定位架、滑槽二和接触机构，所述定位架为矩形支架，所述定位架设于电动升降杆顶部，所述滑槽二对称开设于定位架内侧，所述滑槽二与滑杆轴线方向平行，所述接触机构滑动设于滑槽二内，所述接触机构包括定位杆、螺纹杆、针板、接触针、接触头、延伸杆、放大头和螺纹套筒，所述接触机构对称设置，所述螺纹套筒设于一组接触机构之间，所述螺纹套筒转动卡设于定位架中心，所述螺纹套筒轴线方向与滑杆平行，所述定位杆滑动卡设于滑槽二内，所述定位杆与滑槽二的方向垂直，所述螺纹杆设于定位杆靠近螺纹套筒的一侧，所述螺纹套筒内设有与螺纹杆螺纹啮合的螺纹孔，所述螺纹孔两端的螺纹方向相反，所述螺纹杆设于螺纹孔内，所述针板设于定位杆远离螺纹套筒的一侧，所述接触针滑动设于针板内，所述接触针贯穿设置，所述接触针线性阵列设置，通常情况下，芯片单侧设有三颗电极，因此，单个针板上设有三根接触针，所述接触头滑动设于接触针底壁内部，所述接触头与接触针通过弹簧连接，所述接触头的滑动设置与弹簧提供的减震能够在接触头接触芯片时提供缓冲，防止损伤芯片，所述针板远离螺纹杆的一侧、靠近滑槽二的两侧分别设有铰接件，所述接触针侧壁分别设有铰接件，所述延伸杆铰接设置，所述延伸杆设于接触针侧壁的铰接件与针板侧方的铰接件之间，所述放大头设于延伸杆顶端，所述放大头为球形设置。
6、作为优选的，所述接触针、接触头、延伸杆和放大头均为导电材料设置。
7、其中，所述螺纹套筒的筒壁设有环绕一周的从动齿环，所述螺纹套筒上方设有微型电机，所述微型电机的输出端设有主动齿轮，所述主动齿轮与从动齿环齿轮啮合，所述微型电机与螺纹套筒传动连接，当所述微型电机正转时，所述主动齿轮带动螺纹套筒旋转，所述螺纹套筒带动螺纹杆向螺纹套筒中心内运动，所述接触机构互相靠近，当微型电机反转时，所述螺纹杆向螺纹套筒两侧运动，所述接触机构互相远离，如此设置可适应不同芯片的尺寸，调整接触针的位置。
8、使用中，控制电动升降杆将接触机构升起，方便芯片放置，随后控制所述电动升降杆落下，随后通过主机与显微镜的观察，控制微型电机调整接触针的位置，使其位于芯片电极的正上方，完成定位。
9、作为优选的，所述背板靠近滑槽一一侧的侧壁设有汇总管，所述背板另一侧设有气泵二，所述汇总管下方设有连接管，所述连接管共有两根且对称设置，所述连接管下方设有三根探针软管，所述探针软管底端设有包裹头，所述探针软管分别朝向前、后与远离另一根连接管的方向弯折，所述包裹头内设有检测触点，所述汇总管、连接管、探针软管、包裹头均为中空设置且内部相通，当电极放大机构滑动至吸附式探针正下方时，所述气泵二启动，所述放大头受到负压作用附着于包裹头内，所述检测触点接触放大头，同时所述放大头带动延伸杆运动，所述延伸杆将接触针向下推动，所述接触头接触芯片的电极，所述检测触点对芯片进行检测。
10、进一步地，所述转运机构包括伸缩底座、旋转杆、气泵三、吸附板和气道，所述伸缩底座设于台体侧壁，所述旋转杆转动设于伸缩底座末端顶部，所述吸附板一端设于旋转杆顶部，所述气泵三设于吸附板顶部，所述吸附板另一端底部设有吸附口，所述气道设于吸附板内部，所述气道与吸附口相通，所述气泵三与气道相通，所述吸附口内设有海绵垫，当需要取出芯片时，推动伸缩底座将吸附口移动至芯片上方，启动所述气泵三，所述芯片受到负压影响附着于海绵垫上，随后，拉动伸缩底座，将吸附板抽出，转动旋转杆将吸附口移动至例如芯片收纳盒上方位置，关闭气泵三，芯片落下。
11、采用上述结构本专利技术取得的有益效果如下：本方案提供的一种半导体检测用探针台，u型架一与u型架二能够通过升降调整，对不同尺寸的芯片进行限位，配合气泵一的吸附，能够在对同型号第一颗芯片细致调整后，使后续的芯片更加便捷、准确地落入本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种半导体检测用探针台，其特征在于：包括主机（1）、台体（2）、显微镜（3）、电极放大机构（4）、吸附式探针（5）和转运机构（6），所述主机（1）设于台体（2）一侧，所述转运机构（6）设于台体（2）另一侧，所述台体（2）顶部设有背板（201），所述台体（2）顶部设有滑槽一（202），所述滑槽一（202）内设有滑杆（203），所述电极放大机构（4）滑动设于滑槽一（202）内，所述显微镜（3）设于滑槽一（202）上方，所述吸附式探针（5）设于滑槽一（202）上方；
2.根据权利要求1所述的一种半导体检测用探针台，其特征在于：所述U型架一（407）设于放置板（404）与滑块（401）之间，所述U型架二（408）设于放置板（404）与滑块（401）之间，所述U型架二（408）设于U型架一（407）的上方，所述U型架一（407）与U型架二（408）的端部分别滑动设于一组相对的定位挖孔（406）内，所述U型架一（407）与滑杆（203）轴线方向平行，所述U型架二（408）与滑杆（203）轴线方向垂直，U型架一（407）、U型架二（408）分别通过电动推杆与滑块（401）连接，
3.根据权利要求2所述的一种半导体检测用探针台，其特征在于：所述初级探针机构（409）包括定位架（410）、滑槽二（411）和接触机构（414），所述定位架（410）为矩形支架，所述定位架（410）设于电动升降杆（426）顶部，所述滑槽二（411）对称开设于定位架（410）内侧，所述滑槽二（411）与滑杆（203）轴线方向平行，所述接触机构（414）滑动设于滑槽二（411）内，所述接触机构（414）包括定位杆（415）、螺纹杆（416）、针板（417）、接触针（418）、接触头（419）、延伸杆（420）、放大头（421）和螺纹套筒（422），所述接触机构（414）对称设置，所述螺纹套筒（422）设于一组接触机构（414）之间，所述螺纹套筒（422）转动卡设于定位架（410）中心，所述螺纹套筒（422）轴线方向与滑杆（203）平行，所述定位杆（415）滑动卡设于滑槽二（411）内，所述定位杆（415）与滑槽二（411）的方向垂直，所述螺纹杆（416）设于定位杆（415）靠近螺纹套筒（422）的一侧，所述螺纹套筒（422）内设有与螺纹杆（416）螺纹啮合的螺纹孔，所述螺纹孔两端的螺纹方向相反，所述螺纹杆（416）设于螺纹孔内。
4.根据权利要求3所述的一种半导体检测用探针台，其特征在于：所述针板（417）设于定位杆（415）远离螺纹套筒（422）的一侧，所述接触针（418）滑动设于针板（417）内，所述接触针（418）贯穿设置，所述接触针（418）线性阵列设置。
5.根据权利要求4所述的一种半导体检测用探针台，其特征在于：所述接触头（419）滑动设于接触针（418）底壁内部，所述接触头（419）与接触针（418）通过弹簧连接，所述针板（417）远离螺纹杆（416）的一侧、靠近滑槽二（411）的两侧分别设有铰接件，所述接触针（418）侧壁分别设有铰接件，所述延伸杆（420）铰接设置，所述延伸杆（420）设于接触针（418）侧壁的铰接件与针板（417）侧方的铰接件之间，所述放大头（421）设于延伸杆（420）顶端，所述放大头（421）为球形设置。
6.根据权利要求5所述的一种半导体检测用探针台，其特征在于：所述螺纹套筒（422）的筒壁设有环绕一周的从动齿环（423），所述螺纹套筒（422）上方设有微型电机（424），所述微型电机（424）的输出端设有主动齿轮（425），所述主动齿轮（425）与从动齿环（423）齿轮啮合，所述微型电机（424）与螺纹套筒（422）传动连接。
7.根据权利要求6所述的一种半导体检测用探针台，其特征在于：所述背板（201）靠近滑槽一（202）一侧的侧壁设有汇总管（501），所述背板（201）另一侧设有气泵二（502），所述汇总管（501）下方设有连接管（503），所述连接管（503）对称设置，所述连接管（503）下方设有探针软管（504），所述探针软管（504）底端设有包裹头（505），所述包裹头（505）内设有检测触点（506），所述汇总管（501）、连接管（503）、探针软管（504）、包裹头（505）均为中空设置且内部相...
【技术特征摘要】
1.一种半导体检测用探针台，其特征在于：包括主机（1）、台体（2）、显微镜（3）、电极放大机构（4）、吸附式探针（5）和转运机构（6），所述主机（1）设于台体（2）一侧，所述转运机构（6）设于台体（2）另一侧，所述台体（2）顶部设有背板（201），所述台体（2）顶部设有滑槽一（202），所述滑槽一（202）内设有滑杆（203），所述电极放大机构（4）滑动设于滑槽一（202）内，所述显微镜（3）设于滑槽一（202）上方，所述吸附式探针（5）设于滑槽一（202）上方；
2.根据权利要求1所述的一种半导体检测用探针台，其特征在于：所述u型架一（407）设于放置板（404）与滑块（401）之间，所述u型架二（408）设于放置板（404）与滑块（401）之间，所述u型架二（408）设于u型架一（407）的上方，所述u型架一（407）与u型架二（408）的端部分别滑动设于一组相对的定位挖孔（406）内，所述u型架一（407）与滑杆（203）轴线方向平行，所述u型架二（408）与滑杆（203）轴线方向垂直，u型架一（407）、u型架二（408）分别通过电动推杆与滑块（401）连接，u型架一（407）与u型架二（408）的初始高度低于放置板（404）顶面，所述放置板（404）中心竖直贯穿设有吸附孔（412），所述放置板（404）底壁设有气泵一（413），所述气泵一（413）与吸附孔（412）相通，所述放置板（404）上方设有初级探针机构（409），所述初级探针机构（409）与放置板（404）之间设有电动升降杆（426）。
3.根据权利要求2所述的一种半导体检测用探针台，其特征在于：所述初级探针机构（409）包括定位架（410）、滑槽二（411）和接触机构（414），所述定位架（410）为矩形支架，所述定位架（410）设于电动升降杆（426）顶部，所述滑槽二（411）对称开设于定位架（410）内侧，所述滑槽二（411）与滑杆（203）轴线方向平行，所述接触机构（414）滑动设于滑槽二（411）内，所述接触机构（414）包括定位杆（415）、螺纹杆（416）、针板（417）、接触针（418）、接触头（419）、延伸杆（420）、放大头（421）和螺纹套筒（422），所述接触机构（414）对称设置，所述螺纹套筒（422）设于一组接触机构（414）之间，所述螺纹套筒（422）转动卡设于定位架（410）中心，所述螺纹套筒（422）轴线方向与滑杆（203）平行，所述定位杆（415）滑动卡设于滑槽二（411）内，所述定位杆（415）与滑槽二（411）的方向垂直，所述螺纹杆（416）设于定位杆（415）靠近螺纹套筒（422）的一侧，所述螺纹套筒（422）内设有与螺纹杆（416）螺纹啮合的螺纹...
【专利技术属性】
技术研发人员：赖生雄，
申请(专利权)人：扬州奕丞科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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